本申请实施例公开了一种显示面板、显示装置及显示面板的制作方法。显示面板包括衬底基板、无机层、薄膜晶体管层和阳极层，无机层设置在衬底基板上，薄膜晶体管层设置在无机层上，薄膜晶体管层上开设有第一开口，第一开口部分露出无机层，薄膜晶体管层包括源漏极层，阳极层部分位于第一开口露出的无机层上，阳极层与源漏极层电连接。本申请通过在衬底基板上设置无机层，使无机层与衬底基板整体形成平坦化层，并通过在薄膜晶体管层上开设第一开口，使阳极层部分位于第一开口露出的无机层上，从而保证位于无机层上的阳极层的平整性，以改善显示面板显示不均的问题。示面板显示不均的问题。示面板显示不均的问题。
【技术实现步骤摘要】
显示面板、显示装置及显示面板的制作方法
[0001]本申请涉及显示领域，具体涉及一种显示面板、显示装置及显示面板的制作方法。
技术介绍
[0002]现有显示面板在制作过程中，通常采用在阵列基板上制作平坦化层以对阵列基板表面进行平坦化处理，然后在平坦化层上形成阳极层和发光层。由于现有平坦化层自身表面的粗糙度较大，导致在其表面沉积而成的阳极层的平整度较差，从而影响发光层的厚度均匀性，最终导致显示面板整体显示不均。
技术实现思路
[0003]本申请实施例提供一种显示面板、显示装置及显示面板的制作方法，可以解决现有显示面板因阳极层平整度较差导致显示不均的问题。
[0004]本申请实施例提供一种显示面板，包括：
[0005]衬底基板；
[0006]无机层，设置在所述衬底基板上；
[0007]薄膜晶体管层，设置在所述无机层上；所述薄膜晶体管层上开设有第一开口，所述第一开口部分露出所述无机层；所述薄膜晶体管层包括源漏极层；
[0008]阳极层，部分位于所述第一开口露出的无机层上，所述阳极层与所述源漏极层电连接。
[0009]可选的，在本申请的一些实施例中，所述阳极层包括阳极，所述阳极包括依次连接的第一本体、连接部和第二本体，所述第一本体位于所述第一开口露出的无机层上，所述连接部位于所述第一开口的侧壁上，所述第二本体与所述源漏极层电连接。
[0010]可选的，在本申请的一些实施例中，所述显示面板包括遮光层，所述遮光层位于所述衬底基板和所述薄膜晶体管层之间；所述薄膜晶体管层包括沿远离所述遮光层的方向依次设置的缓冲层、有源层、第一绝缘层、栅极层、第二绝缘层和所述源漏极层，所述源漏极层包括源极，所述源极与所述遮光层电连接；
[0011]所述遮光层位于所述无机层上；或，
[0012]所述遮光层与所述无机层同层设置。
[0013]可选的，在本申请的一些实施例中，所述显示面板包括钝化层，所述钝化层设置在所述薄膜晶体管层上，所述钝化层上对应所述第一开口的位置开设有第二开口，所述钝化层上对应所述源极的位置开设有第三开口；
[0014]所述阳极的第二本体位于所述钝化层上，所述第二本体通过所述第三开口与所述源极电连接，所述阳极的连接部位于所述第一开口和所述第二开口的侧壁上。
[0015]可选的，在本申请的一些实施例中，所述显示面板还包括像素定义层和发光层，所述像素定义层位于所述钝化层上，所述像素定义层上开设有第四开口，所述第四开口露出所述第一本体，所述发光层位于所述第一本体上。
[0016]可选的，在本申请的一些实施例中，所述缓冲层上开设有第一子开口，所述第一子开口露出所述无机层，所述第二绝缘层上对应所述第一子开口的位置开设有第二子开口，所述第一子开口与所述第二子开口形成所述第一开口；
[0017]所述缓冲层上开设有第五开口，所述第五开口露出所述遮光层，所述阳极层的第二本体位于所述缓冲层上，所述第二本体通过所述第五开口与所述遮光层电连接，所述连接部位于所述第一子开口的侧壁上。
[0018]可选的，在本申请的一些实施例中，所述缓冲层上开设有第一子开口，所述第一子开口露出所述无机层，所述第二绝缘层上对应所述第一子开口的位置开设有第二子开口，所述第一子开口与所述第二子开口形成所述第一开口；
[0019]所述第二绝缘层上开设有第六开口，所述第六开口露出所述遮光层，所述阳极的第二本体位于所述第二绝缘层上，所述第二本体通过所述第六开口与所述遮光层电连接，所述连接部位于所述第一子开口和所述第二子开口的侧壁上。
[0020]可选的，在本申请的一些实施例中，所述无机层的材质包括无定形硅、氮化硅、氧化硅和氮氧化硅中的一种或多种。
[0021]可选的，在本申请的一些实施例中，所述无机层的厚度大于或等于50nm且小于或等于1000nm。
[0022]相应的，本申请实施例还提供一种显示装置，包括上述任一项所述的显示面板。
[0023]相应的，本申请实施例还提供一种显示面板的制作方法，所述方法包括：
[0024]提供一衬底基板；
[0025]在所述衬底基板上沉积一层无机层；
[0026]在所述无机层上形成薄膜晶体管层，并在所述薄膜晶体管层上形成第一开口，使所述第一开口部分露出所述无机层，所述薄膜晶体管层包括源漏极层；
[0027]沉积一层阳极层，使所述阳极层部分位于所述第一开口露出的无机层上，所述阳极层与所述源漏极层电连接。
[0028]可选的，在本申请的一些实施例中，所述源漏极层包括源极，所述阳极层包括阳极，所述阳极包括依次连接的第一本体、连接部和第二本体；所述沉积一层阳极层，使所述阳极层部分位于所述第一开口露出的无机层上，所述阳极层与所述源漏极层电连接，包括：
[0029]在所述薄膜晶体管层上形成一层钝化层，并在所述钝化层上对应所述第一开口的位置形成第二开口，在所述钝化层上对应所述源极的位置形成第三开口；
[0030]在所述钝化层上沉积一层阳极层，使所述第一本体位于所述第一开口露出的无机层上，使所述连接部位于所述第一开口和所述第二开口的侧壁上，使所述第二本体位于所述钝化层上，所述第二本体通过所述第三开口与所述源极电连接。
[0031]可选的，在本申请的一些实施例中，所述方法还包括：
[0032]在所述钝化层上形成像素定义层，并在所述像素定义层上形成第四开口，使所述第四开口露出所述第一本体；
[0033]在所述第一本体上形成发光层。
[0034]本申请实施例中显示面板包括衬底基板、无机层、薄膜晶体管层和阳极层，无机层设置在衬底基板上，薄膜晶体管层设置在无机层上，薄膜晶体管层上开设有第一开口，第一开口部分露出无机层，薄膜晶体管层包括源漏极层，阳极层部分位于第一开口露出的无机
层上，阳极层与源漏极层电连接。本申请通过在衬底基板上设置无机层，使无机层与衬底基板整体形成平坦化层，并通过在薄膜晶体管层上开设第一开口，使阳极层部分位于第一开口露出的无机层上，从而保证位于无机层上的阳极层的平整性，以改善显示面板显示不均的问题。
附图说明
[0035]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0036]图1是本申请实施例提供的一种显示面板的结构示意图；
[0037]图2是本申请实施例提供的另一种显示面板的结构示意图；
[0038]图3是本申请实施例提供的又一种显示面板的结构示意图；
[0039]图4是本申请实施例提供的一种显示装置的结构示意图；
[0040]图5是本申请实施例提供的一种显示面板的制作方法的流程图；
[0041]图6是本申请实施例提供的图5中步骤S300的结构示意图；
[0042]图本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种显示面板，其特征在于，包括：衬底基板；无机层，设置在所述衬底基板上；薄膜晶体管层，设置在所述无机层上；所述薄膜晶体管层上开设有第一开口，所述第一开口部分露出所述无机层；所述薄膜晶体管层包括源漏极层；阳极层，部分位于所述第一开口露出的无机层上，所述阳极层与所述源漏极层电连接。2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述阳极层包括阳极，所述阳极包括依次连接的第一本体、连接部和第二本体，所述第一本体位于所述第一开口露出的无机层上，所述连接部位于所述第一开口的侧壁上，所述第二本体与所述源漏极层电连接。3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板包括遮光层，所述遮光层位于所述衬底基板和所述薄膜晶体管层之间；所述薄膜晶体管层包括沿远离所述遮光层的方向依次设置的缓冲层、有源层、第一绝缘层、栅极层、第二绝缘层和所述源漏极层，所述源漏极层包括源极，所述源极与所述遮光层电连接；所述遮光层位于所述无机层上；或，所述遮光层与所述无机层同层设置。4.根据权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板包括钝化层，所述钝化层设置在所述薄膜晶体管层上，所述钝化层上对应所述第一开口的位置开设有第二开口，所述钝化层上对应所述源极的位置开设有第三开口；所述阳极的第二本体位于所述钝化层上，所述第二本体通过所述第三开口与所述源极电连接，所述阳极的连接部位于所述第一开口和所述第二开口的侧壁上。5.根据权利要求4所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括像素定义层和发光层，所述像素定义层位于所述钝化层上，所述像素定义层上开设有第四开口，所述第四开口露出所述第一本体，所述发光层位于所述第一本体上。6.根据权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述缓冲层上开设有第一子开口，所述第一子开口露出所述无机层，所述第二绝缘层上对应所述第一子开口的位置开设有第二子开口，所述第一子开口与所述第二子开口形成所述第一开口；所述缓冲层上开设有第五开口，所述第五开口露出所述遮光层，所述阳极层的第二本体位于所述缓冲层上，所述第二本体通过所述第五开口与所述遮光层电连接，所述连接部位于所述第一子开口的侧壁上。7.根据权利要求3所述的显示面板，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：覃事建，袁夏梁，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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