本实用新型专利技术公开了一种气缸抱紧装置、划片机定位装置以及划片机，其中，一种气缸抱紧装置包括可转动地设置在两根平行的定位支杆间的翻转气缸，所述定位支杆上设置有定位孔，所述气缸抱紧装置通过穿过所述定位孔的旋钮柱塞位置可调地设置在定位支杆上。本方案利用定位孔根据晶圆膜架尺寸实时调节气缸抱紧装置的位置，使用灵活，使该定位装置能够适应多种固定尺寸的晶圆膜架，同时，定位孔能够精准控制气缸抱紧装置的位置，确保定位准确。确保定位准确。确保定位准确。
【技术实现步骤摘要】
一种气缸抱紧装置、划片机定位装置以及划片机
[0001]本技术涉及划片机领域，尤其涉及一种气缸抱紧装置、划片机定位装置以及划片机。
技术介绍
[0002]在现有的划片机中，通常使用磁吸装置固定晶圆膜架，并将晶圆膜架在不同工序间转移，磁吸的固定方式较为牢固，但是在卸料时，难以将晶圆膜架取下。
[0003]同时，现有的晶圆膜架定位装置通常只能适应一种固定尺寸的晶圆膜架，需要提供一种可以针对不同尺寸的晶圆膜架的定位装置，确保晶圆膜架定位精准、稳定。
技术实现思路
[0004]因此，为解决上述问题，本技术提供了一种气缸抱紧装置、划片机定位装置以及划片机。
[0005]本技术是通过以下技术方案实现的：
[0006]一种气缸抱紧装置，包括可转动地设置在两根平行的定位支杆间的翻转气缸，所述翻转气缸通过旋钮柱塞与定位支杆固定，所述定位支杆上沿长度方向依次设置有多个定位孔，所述翻转气缸的外周连接有用于固定晶圆膜架的气缸摆臂，所述翻转气缸驱动气缸摆臂沿同一轴线转动，所述定位支杆的外侧连接有气缸保持架，所述气缸保持架上设置有安装孔，所述旋钮柱塞同时穿过所述安装孔与所述定位支杆上的其中一个定位孔，并与所述翻转气缸固定，所述气缸保持架内部设置有安装槽，所述翻转气缸和气缸摆臂可转动地设置在安装槽内。
[0007]优选的，所述定位孔包括6寸晶圆膜架定位孔、8寸晶圆膜架定位孔以及12寸晶圆膜架定位孔，所述旋钮柱塞可选择地穿过所述6寸晶圆膜架定位孔或8寸晶圆膜架定位孔或12寸晶圆膜架定位孔。
[0008]一种气缸抱紧装置，包括可转动地设置在两根平行的定位支杆间的翻转气缸，所述翻转气缸通过旋钮柱塞与定位支杆固定，所述定位支杆上沿长度方向设置有一条形的定位孔，所述翻转气缸的外周连接有用于固定晶圆膜架的气缸摆臂，所述翻转气缸驱动气缸摆臂沿同一轴线转动，所述定位支杆的外侧连接有气缸保持架，所述气缸保持架上设置有安装孔，所述旋钮柱塞同时穿过所述安装孔与定位孔，并与所述翻转气缸固定，所述气缸保持架内部设置有安装槽，所述翻转气缸和气缸摆臂可转动地设置在安装槽内。
[0009]优选的，所述条形的定位孔上依次设置有6寸晶圆膜架定位标记、8寸晶圆膜架定位标记以及12寸晶圆膜架定位标记。
[0010]划片机定位装置，包括如上所述的一种气缸抱紧装置，以及用于对晶圆膜架进行定位的工作平台，所述工作平台的四周连接有定位支杆，所述气缸抱紧装置位置可调地设置在定位支杆上。
[0011]优选的，所述气缸抱紧装置上设置有用于检测晶圆膜架固定状态的传感器。
[0012]划片机，包括上所述的划片机定位装置以及上料装置，所述上料装置至少包括沿第一导轨可平移地设置在工作平台上方的上机械臂，所述上机械臂底部设置有盛片盘，所述盛片盘底部设置有用于吸取晶圆膜架的真空吸盘。
[0013]优选的，所述上机械臂上设置有伸缩气缸，所述盛片盘通过伸缩气缸驱动上下运动。
[0014]优选的，还包括预对准平台，所述预对准平台上平行设置有导条，所述导条间的距离可调整。
[0015]优选的，所述上料装置还包括沿第二导轨平移的下机械臂，所述第二导轨平行设置在所述第一导轨底部，所述下机械臂底部设置有用于夹取晶圆膜架的夹取装置，所述夹取装置包括通过夹取气缸控制开合的夹片，以及通过摆动气缸控制翻转的夹取盒盖。
[0016]本技术技术方案的有益效果主要体现在：
[0017]1、利用定位孔根据晶圆膜架尺寸实时调节气缸抱紧装置的位置，使用灵活，使该定位装置能够适应多种固定尺寸的晶圆膜架，同时，定位孔能够精准控制气缸抱紧装置的位置，确保定位准确。
[0018]2、利用传感器实时检测晶圆膜架的固定状态，防止晶圆膜架因定位不准或固定不牢而掉落或损坏，提高晶圆膜架固定的精准性。
附图说明
[0019]图1：是划片机定位装置的结构示意图（此时晶圆膜架固定在工作平台上）；
[0020]图2：实施例一中的气缸抱紧装置与定位支杆的结构示意图（此时气缸摆臂抱紧）；
[0021]图3：实施例一中的气缸抱紧装置与定位支杆的结构示意图（此时气缸摆臂打开）；
[0022]图4：实施例二中的气缸抱紧装置与定位支杆的结构示意图（此时气缸摆臂抱紧）；
[0023]图5：是上料装置在预对准平台上的工作示意图。
具体实施方式
[0024]为使本技术的目的、优点和特点能够更加清楚、详细地展示，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。该实施例仅是应用本技术技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本技术要求保护的范围之内。
[0025]同时声明，在方案的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0026]此外，本方案中的术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或者暗示对重要性的排序，或者隐含指明所示的技术特征的数量。因此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术中，“多个”的含义是两个或者两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0027]本技术揭示了一种气缸抱紧装置2，如图1
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图3所示，在实施例一中，所述气缸抱紧装置2包括可转动地设置在两根平行的定位支杆3间的翻转气缸21，所述翻转气缸21通
过旋钮柱塞4与定位支杆3固定，所述定位支杆3上沿长度方向依次设置有多个定位孔31，所述翻转气缸21的外周连接有用于固定晶圆膜架10的气缸摆臂22，所述翻转气缸21驱动气缸摆臂22沿同一轴线转动，所述定位支杆3的外侧连接有气缸保持架23，所述气缸保持架23上设置有安装孔，所述旋钮柱塞4同时穿过所述安装孔与定位支杆3上的其中一个定位孔31，并与所述翻转气缸21固定，所述气缸保持架23内部设置有安装槽，所述翻转气缸21和气缸摆臂22可转动地设置在安装槽内。
[0028]所述定位孔包括6寸晶圆膜架定位孔、8寸晶圆膜架定位孔、12寸晶圆膜架定位孔，所述旋钮柱塞可选择地穿过所述6寸晶圆膜架定位孔或8寸晶圆膜架定位孔或12寸晶圆膜架定位孔，在对晶圆膜架10定位前，预先根据晶圆膜架10的尺寸将所述旋钮柱塞4可选择地穿过所述6寸晶圆膜架定位孔或8寸晶圆膜架定位孔或12寸晶圆膜架定位孔，然后，将旋钮柱塞4旋紧并与气缸抱紧装置2固定，完成气缸抱紧装置2的定位。
[0029]如图1、图4所示，在实施例二中，所述气缸抱紧装置2包括可转动地设置在两根平行的定位支杆3间的翻转气缸21，所述翻转气缸21通过旋钮柱塞4与定位支杆3固定，所述定位支杆3上沿长度方向设置有一条形的定位孔31，所述气缸抱紧装置2通本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种气缸抱紧装置，其特征在于：包括可转动地设置在两根平行的定位支杆间的翻转气缸，所述翻转气缸通过旋钮柱塞与定位支杆固定，所述定位支杆上沿长度方向依次设置有多个定位孔，所述翻转气缸的外周连接有用于固定晶圆膜架的气缸摆臂，所述翻转气缸驱动气缸摆臂沿同一轴线转动，所述定位支杆的外侧连接有气缸保持架，所述气缸保持架上设置有安装孔，所述旋钮柱塞同时穿过所述安装孔与所述定位支杆上的其中一个定位孔，并与所述翻转气缸固定，所述气缸保持架内部设置有安装槽，所述翻转气缸和气缸摆臂可转动地设置在安装槽内。2.根据权利要求1所述的一种气缸抱紧装置，其特征在于：所述定位孔包括6寸晶圆膜架定位孔、8寸晶圆膜架定位孔以及12寸晶圆膜架定位孔，所述旋钮柱塞可选择地穿过所述6寸晶圆膜架定位孔或8寸晶圆膜架定位孔或12寸晶圆膜架定位孔。3.一种气缸抱紧装置，其特征在于：包括可转动地设置在两根平行的定位支杆间的翻转气缸，所述翻转气缸通过旋钮柱塞与定位支杆固定，所述定位支杆上沿长度方向设置有一条形的定位孔，所述翻转气缸的外周连接有用于固定晶圆膜架的气缸摆臂，所述翻转气缸驱动气缸摆臂沿同一轴线转动，所述定位支杆的外侧连接有气缸保持架，所述气缸保持架上设置有安装孔，所述旋钮柱塞同时穿过所述安装孔与定位孔，并与所述翻转气缸固定，所述气缸保持架内部设置有安装槽，所述翻转气缸和气缸摆臂可转动地设置在安装槽内。4.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：于光明，尹冰涛，孙志超，刘炳先，
申请(专利权)人：江苏京创先进电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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