一种MOCVD加热组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种MOCVD加热组件，包括加热基座、可调式支撑机构、限位锁止机构，可调式支撑机构设于加热基座的一侧，可调式支撑机构包括可调式支撑柱，可调式支撑柱远离加热基座的一侧设有限位基座，限位基座内连接有调节转轴，调节转轴与可调式支撑柱之间设有一对调节支撑杆，限位锁止机构设于调节转轴位于限位基座外的一侧，限位锁止机构包括锁止限位盒，锁止限位盒套设于调节转轴的外侧，锁止限位盒内设有卡合内齿圈。本实用新型专利技术通过对MOCVD加热组件设置相应的可调式支撑机构，可根据实际情况对MOCVD加热组件前期到高度调节的作用，简化了后续对MOCVD加热组件进行维修与调节的过程，提高了MOCVD加热组件的使用便捷性。捷性。捷性。

【技术实现步骤摘要】
一种MOCVD加热组件


[0001]本技术属于MOCVD
，具体涉及一种MOCVD加热组件。

技术介绍

[0002]MOCVD是在气相外延生长的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术，MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、
Ⅵ
族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种
Ⅲ‑
V主族、
Ⅱ‑Ⅵ
副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。
[0003]目前常见的MOCVD设备一般由源供给系统、气体输运和流量控制系统、反应室及加热系统、尾气处理及安全防护报警系统、自动操作及电控系统，为了生长出多组分、大面积、薄层和超薄层化合物半导体材料，MOCVD设备除了要考虑系统密封性、流量、组分变换迅速等，最重要的是反应腔的温度控制，精确的温度控制是产品良率的重要保障。
[0004]一般的MOCVD加热组件通常由热辐射防护组件、陶瓷支撑组件、基板、反射板、加热盘以及导电组件几部分组成，现有的MOCVD加热组件由于缺乏相应的可调式工作基座，不能根据实际情况对MOCVD加热组件进行高度调节，使得MOCVD加热组件的使用便捷性较差。
[0005]因此，针对上述技术问题，有必要提供一种MOCVD加热组件。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种MOCVD加热组件，以解决上述MOCVD加热组件使用便捷性差的问题。
[0007]为了实现上述目的，本技术一实施例提供的技术方案如下：
[0008]一种MOCVD加热组件，包括：加热基座、可调式支撑机构、限位锁止机构；
[0009]所述可调式支撑机构设于所述加热基座的一侧，所述可调式支撑机构包括可调式支撑柱，所述可调式支撑柱远离加热基座的一侧设有限位基座，所述限位基座内连接有调节转轴，所述调节转轴与可调式支撑柱之间设有一对调节支撑杆；
[0010]所述限位锁止机构设于所述调节转轴位于限位基座外的一侧，所述限位锁止机构包括锁止限位盒，所述锁止限位盒套设于调节转轴的外侧，所述锁止限位盒内设有卡合内齿圈，所述卡合内齿圈内啮合有锁止齿轮，所述锁止齿轮与调节转轴固定连接。
[0011]进一步地，所述可调式支撑柱与加热基座之间连接有减震缓冲垫，通过减震缓冲垫提高了可调式支撑柱与加热基座的连接稳定性，同时，便于通过减震缓冲垫对可调式支撑柱与加热基座起到减震缓冲的作用，所述限位基座远离可调式支撑柱的一侧连接有多个均匀分布的支撑脚，便于通过支撑脚对限位基座起到支撑限位的作用。
[0012]进一步地，一对所述调节支撑杆与可调式支撑柱之间均铰接有限位连接座，限位连接座起到连接调节支撑杆与可调式支撑柱的作用，通过限位连接座对可调式支撑柱起到支撑限位的作用，同时便于通过限位连接座的移动对可调式支撑柱起到位置调节的作用，所述调节支撑杆远离限位连接座的一侧均铰接有螺纹套筒，螺纹套筒对限位连接座起到支
撑限位与移动控制的作用。
[0013]进一步地，所述螺纹套筒内开凿有内螺纹，所述调节支撑杆的两侧开凿有方向相反的外螺纹，通过内外螺纹的相互配合使得调节支撑杆在螺纹套筒的作用下随调节转轴的旋转进行移动，从而便于对可调式支撑柱起到位置调节的作用，所述调节支撑杆位于限位基座外的一端连接有调节手轮，便于通过向调节手轮施加作用力的方式对调节转轴起到旋转驱动的作用。
[0014]进一步地，所述卡合内齿圈远离锁止限位盒的一侧连接有多个均匀分布的移动控制杆，便于通过向移动控制杆施加作用力的方式对卡合内齿圈起到移动控制的作用，多个所述移动控制杆位于锁止限位盒外的一端连接有驱动圈，通过向驱动圈施加作用力的方式对移动控制杆起到移动控制的作用。
[0015]进一步地，所述卡合内齿圈远离移动控制杆的一侧连接有支撑环，支撑环对卡合内齿圈起到支撑复位的作用，所述支撑环的外侧设有限位盒，限位盒对支撑环起到移动限位的作用，所述支撑环与限位盒之间连接有复位弹簧，复位弹簧起到连接支撑环与限位盒的作用，便于通过复位弹簧的收缩与复位对卡合内齿圈起到复位的作用。
[0016]与现有技术相比，本技术具有以下优点：
[0017]本技术通过对MOCVD加热组件设置相应的可调式支撑机构，可根据实际情况对MOCVD加热组件前期到高度调节的作用，简化了后续对MOCVD加热组件进行维修与调节的过程，提高了MOCVD加热组件的使用便捷性。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本技术一实施例中一种MOCVD加热组件的部分结构示意图；
[0020]图2为图1中A处结构示意图；
[0021]图3为图1中B处结构示意图；
[0022]图4为本技术一实施例中一种MOCVD加热组件的立体图。
[0023]图中：1.加热基座、2.可调式支撑机构、201.可调式支撑柱、202.限位基座、203.调节转轴、204.调节支撑杆、205.减震缓冲垫、206.支撑脚、207.限位连接座、208.螺纹套筒、209.调节手轮、3.限位锁止机构、301.锁止限位盒、302.卡合内齿圈、303.锁止齿轮、304.移动控制杆、305.驱动圈、306.支撑环、307.限位盒、308.复位弹簧。
具体实施方式
[0024]以下将结合附图所示的各实施方式对本技术进行详细描述。但该等实施方式并不限制本技术，本领域的普通技术人员根据该等实施方式所做出的结构、方法或功能上的变换均包含在本技术的保护范围内。
[0025]本技术公开了一种MOCVD加热组件，参图1
‑
图4所示，包括加热基座1、可调式支撑机构2、限位锁止机构3。
[0026]参图1所示，可调式支撑机构2设于加热基座1的一侧，便于通过可调式支撑机构2对加热基座1起到可调式支撑的作用，提高了对加热基座1进行调节与维修的便捷性。
[0027]参图1
‑
图2所示，可调式支撑机构2包括可调式支撑柱201，可调式支撑柱201对加热基座1起到支撑限位与移动调节的作用。
[0028]参图1
‑
图2所示，可调式支撑柱201远离加热基座1的一侧设有限位基座202，限位基座202对可调式支撑柱201起到移动限位的作用。
[0029]参图1
‑
图2所示，限位基座202内连接有调节转轴203，通过调节转轴203的移动对调节支撑杆204起到移动控制的作用。
[0030]参图1
‑
图2所示，调节转轴203与可调式支撑柱201之间设有一对调节支撑杆204，通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MOCVD加热组件，其特征在于，包括：加热基座(1)；可调式支撑机构(2)，设于所述加热基座(1)的一侧，所述可调式支撑机构(2)包括可调式支撑柱(201)，所述可调式支撑柱(201)远离加热基座(1)的一侧设有限位基座(202)，所述限位基座(202)内连接有调节转轴(203)，所述调节转轴(203)与可调式支撑柱(201)之间设有一对调节支撑杆(204)；限位锁止机构(3)，设于所述调节转轴(203)位于限位基座(202)外的一侧，所述限位锁止机构(3)包括锁止限位盒(301)，所述锁止限位盒(301)套设于调节转轴(203)的外侧，所述锁止限位盒(301)内设有卡合内齿圈(302)，所述卡合内齿圈(302)内啮合有锁止齿轮(303)，所述锁止齿轮(303)与调节转轴(203)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种MOCVD加热组件，其特征在于，所述可调式支撑柱(201)与加热基座(1)之间连接有减震缓冲垫(205)，所述限位基座(202)远离可调式支撑柱(201)的一侧连接有多个均匀分布的支撑脚(206)。3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎静，田青林，
申请(专利权)人：江苏实为半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：