【技术实现步骤摘要】
一种用于分析六氟化钼产品中杂质的气相色谱检测系统和方法
[0001]本专利技术属于化工产品分析装置
，具体涉及一种用于分析六氟化钼产品中杂质的气相色谱检测系统和方法。
技术介绍
[0002]氟及氟化物泛指所有含氟元素及其衍生品，被广泛的应用于各行各业，六氟化钼作为一种金属氟化物主要应用于钼的同位素分离，可在微电工业中用作气相沉积硅化钼或钼，以制作低电阻、高熔点的互连线，具有广阔的用途和需求。
[0003]工业上生产的六氟化钼往往含有一些杂质，包括H2、N2、O2、CO、CO2和CF4等，这些杂质的存在会严重影响其使用性能，因此对于其中杂质组分和含量分析研究是一项必不可少的工作，根据检测结果来判断其纯度或者对进行深度纯化来满足使用要求，但目前关于六氟化钼产品杂质分析方法很少。因此，建立简便、准确、快速、可靠的分析方法对于生产控制和产品质量控制具有重要的意义。
技术实现思路
[0004]本专利技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种用于分析六氟化钼产品中杂质的气相色谱检测系统方法，用于检测该六氟化钼产品的杂质含量是否达到了实用标准，为六氟化钼产品的检验提供一种可靠的检测方法。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：一种用于分析六氟化钼产品中杂质的气相色谱检测系统，其特征在于，包括载气第一支路、载气第二支路、载气第三支路和载气第四支路，第一色谱柱、第二色谱柱、第三色谱柱和第四色谱柱，以及第一切换阀、第二切换阀和第三切换阀；
[0006]所...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于分析六氟化钼产品中杂质的气相色谱检测系统，其特征在于，包括载气第一支路(1)、载气第二支路(5)、载气第三支路(11)和载气第四支路(13)，第一色谱柱(4)、第二色谱柱(7)、第三色谱柱(12)和第四色谱柱(15)，以及第一切换阀(18)、第二切换阀(19)和第三切换阀(20)；所述第二色谱柱(7)的两端分别连接所述第一切换阀(18)和第三切换阀(20)，所述第四色谱柱(15)的两端分别连接所述第二切换阀(19)和第三切换阀(20)。2.根据权利要求1所述的一种用于分析六氟化钼产品中杂质的气相色谱检测系统，其特征在于，所述载气第一支路(1)与所述第一切换阀(18)的
④
号接口连接，所述载气第二支路(5)与所述第一切换阀(18)的
⑦
号接口连接，样品进口(2)与所述第一切换阀(18)的
①
号接口连接，所述第一切换阀(18)的
③
号和
⑩
号接口通过第一定量环(3)连接，所述第一切换阀(18)的
②
号接口与所述第二切换阀(19)连接，所述第一切换阀(18)的
⑥
号接口通过管路连接所述第三切换阀(20)，该管路上设置有所述第二色谱柱(7)；所述第一切换阀(18)的
⑤
号接口和
⑨
号接口通过管路连接，该管路上设置有所述第一色谱柱(4)，所述第一切换阀(18)的
⑧
号接口连接有第一放空针阀(6)。3.根据权利要求1所述的一种用于分析六氟化钼产品中杂质的气相色谱检测系统，其特征在于，所述载气第三支路(11)与所述第二切换阀(19)的
④
号接口连接，所述载气第四支路(13)与所述第二切换阀(19)的
⑦
号接口连接，样品出口(10)与所述第二切换阀(19)的
②
号接口连接，所述第二切换阀(19)的
③
号和
⑩
号接口通过管路连接，该管路上设置有第二定量环(9)；所述第二切换阀(19)的
①
号接口与所述第一切换阀(18)连接，所述第二切换阀(19)的
⑥
号接口通过管路连接所述第三切换阀(20)，该管路上设置有所述第四色谱柱(15)；所述第二切换阀(19)的
⑤
号接口和
⑨
号接口通过管路连接，该管路上设置有所述第三色谱柱(12)，所述第二切换阀(19)的
⑧
号接口连接有第二放空针阀(14)。4.根据权利要求1所述的一种用于分析六氟化钼产品中杂质的气相色谱检测系统，其特征在于，所述第三切换阀(20)的
①
号接口与所述第一切换阀(18)通过管路连接，该管路上设置有所述第二色谱柱(7)；所述第三切换阀(20)的
⑤
号接口与所述第二切换阀(19)通过管路连接，该管路上设置有所述第四色谱柱(15)，所述第三切换阀(20)的
④
号接口连接有第三放空针阀(16)，所述第三切换阀(20)的
②
号接口连接有第四放空针阀(17)，所述第三切换阀(20)的
②
号接口和
③
号接口连接，所述第三切换阀(20)的
⑥
号接口连接氦离子化检测器(8)。5.根据权利要求1所述的一种用于分析六氟化钼产品中杂质的气相色谱检测系统，其特征在于，所述第一色谱柱(4)为碳分子筛色谱柱，所述第二色谱柱(7)为5A分子筛色谱柱，所述第三色谱柱(12)和第四色谱柱(15)为Hayesep Q色谱柱。6.根据权利要求1所述的一种用于分析六氟化钼产品中杂质的气相色谱检测系统，其特征在于，所述第一切换阀(18)和第二切换阀(19)为十通阀，所述第三切换阀(20)为六通阀。7.一种用于分析六氟化钼产品中杂质的方法，其特征在于，使用权利要求1
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【专利技术属性】
技术研发人员：倪珊珊，张乾程，郑秋艳，解晓虎，崔雯，李利霞，孙加其，王佳佳，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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