一种蒸镀用金属腔加料装置制造方法及图纸

一种蒸镀用金属腔加料装置，包括：外腔室和内腔室；所述内腔室设于外腔室内；一加料置换腔盖同时遮盖于外腔室和内腔室的上方；内腔室内设有压料板、承料挡板、滑轨和填料通道；设计一种小胶囊，将待加料的活泼金属包裹入小胶囊之后，将小胶囊抽真空，打开加料置换腔盖，将小胶囊投入内腔室中；将小胶囊顶破，小胶囊内的金属颗粒落入内腔室，金属颗粒顺着填料通道落入坩埚内。本实用新型专利技术在加料过程中可以使得活泼金属全程隔绝空气，保护操作人员的人身安全；免开腔加料可避免金属氧化产生粉尘杂质，从而减少金属腔的粉尘污染和减少点源金属腔的开腔频率，既提高了产品良率，也降低了生产成本。成本。成本。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀用金属腔加料装置


[0001]本技术属于显示设备的制造
，具体是指一种蒸镀用金属腔加料装置。

技术介绍

[0002]有机发光二级管(Organic Light Emitting Diode，OLED)因具有响应速度快、高对比度、可柔性化、低功耗、宽视角、广色域、超轻薄等特点，在高性能的显示区域，作为自主发光的器件发展越来越迅速。
[0003]目前OLED器件采用的主流制备方式可分为两种，蒸镀和喷墨打印，蒸镀由于其技术成熟，良率高，至今仍为主要的制备方法。一般蒸镀机根据蒸镀源的分类，可分为点源、线源、面源。其中点源主要用于中小型尺寸的面板，线源和面源用于中型和大型面板的生产。蒸镀法是一种属于物理气相沉积的真空镀膜技术，其原理为将蒸镀的材料置于真空蒸发源装置的坩埚内，通过对坩埚加热，使材料从固态转化为气态的原子、原子团或分子，然后凝聚到待镀膜的基板表面形成薄膜。
[0004]由于OLED蒸镀过程中所用的金属包含锂、钠、钾、铷、铯、铝、镁、钇等金属单质，对于实验用蒸镀机中为坩埚加料的金属腔，此类活泼金属在开腔加料时遇到空气极易氧化，影响材料纯度，对于超高活性的金属可能还有自燃或反应放热的风险，可能对操作人员或机台造成伤害，且腔内的防着板由于镀上的材料膜厚很薄，其化学活性极高，开腔后容易与氧气发生反应形成金属氧化物，金属氧化物一旦脱离防着板表面就会形成粉尘掉落在腔体中，污染腔体环境。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题在于提供一种免开强加料的蒸镀用金属腔加料装置。r/>[0006]本技术是这样实现的:
[0007]一种蒸镀用金属腔加料装置，该金属腔加料装置设置于蒸镀腔内坩埚的斜上方，包括：外腔室和内腔室；所述内腔室设于所外腔室内；一加料置换腔盖同时遮盖于所述外腔室和所述内腔室的上方；
[0008]所述内腔室内设有压料板、承料挡板、滑轨和填料通道；
[0009]所述加料置换腔盖与所述压料板之间通过一压料推杆相连，所述加料置换腔盖还连接一马达；
[0010]所述承料挡板位于所述压料板的下方，所述承料挡板的中部设置一网状破袋小锥；所述压料板的底部设有与所述破袋小锥形状相适配的凹槽；
[0011]所述滑轨斜置于所述承料挡板下方；
[0012]所述滑轨上设有可滑动的所述填料通道，所述填料通道连接一滑动电机；
[0013]所述填料通道的底部相对的所述内腔室的部位设有开口，在相对应的所述外腔室
的部位设有一可旋转的门。
[0014]进一步地，所述内腔体的底部为斜置面，所述斜置面上设有所述滑轨。
[0015]进一步地，所述内腔体的底部的斜置面呈45
°
角。
[0016]进一步地，所述承料挡板为镂空设计。
[0017]本技术的优点在于：本技术在加料过程中可以使得活泼金属全程隔绝空气，保护操作人员的人身安全；免开腔加料可避免金属氧化产生粉尘杂质，从而减少金属腔的粉尘污染和减少点源金属腔的开腔频率，不打开金属腔体，既保证了金属材料的纯度，也避免了腔体与大气接触发生腔体污染的风险，既提高了产品良率，也降低了生产成本。
附图说明
[0018]下面参照附图结合实施例对本技术作进一步的描述。
[0019]图1是本技术的使用状态示意图。
具体实施方式
[0020]如图1所示，一种蒸镀用金属腔加料装置，该金属腔加料装置设置于蒸镀腔内坩埚的斜上方，包括：外腔室1和内腔室2；所述内腔室1设于所外腔室2内；一加料置换腔盖3同时遮盖于所述外腔室1和所述内腔室2的上方；
[0021]所述内腔室2内设有压料板4、承料挡板5、滑轨6和填料通道7；
[0022]所述加料置换腔盖3与所述压料板4之间通过一压料推杆8相连，所述加料置换腔盖3还连接一马达9；
[0023]所述承料挡板5位于所述压料板4的下方，所述承料挡板5(其为镂空设计)的中部设置一网状破袋小锥10；所述压料板4的底部设有与所述破袋小锥10形状相适配的凹槽41；
[0024]所述滑轨6斜置于所述承料挡板5下方；
[0025]所述滑轨6上设有可滑动的填料通道7，填料通道7连接一滑动电机11；
[0026]填料通道7的底部相对的所述内腔室2的部位设有开口，在相对应的所述外腔室1的部位设有一可旋转的门12。
[0027]所述内腔体1的底部为45
°
角斜置面，所述斜置面上设有所述滑轨6。
[0028]在使用时，设计一种小胶囊100，可以是PET或PVC等材质，此小胶囊100用于包裹活泼的金属颗粒，包裹之后将胶囊100抽真空，防止活泼金属发生氧化。
[0029]打开加料置换腔盖3，将金属小胶囊100投入内腔室2中，对置换腔进行N2置换三次；然后外腔室1进行抽真空至与金属腔体达到相同量级的真空度(一般是10
‑
5pa以下)，门12打开，填料通道7通过滑轨到达坩埚口，在马达9的作用下，压料推杆8将压料板4向下推，对小胶囊100进行挤压，破袋小锥10将胶囊100顶破，小胶囊100内的金属颗粒落入内腔到2底部，金属颗粒顺着45
°
斜置的填料通道7落入坩埚内。填料完成后，滑动电机11带动填料通道7，将填料通道7收回内腔室2内，门12关闭，外腔室1充氮气至一个大气压，打开开加料置换腔盖3，取出破碎的胶囊袋，加料完成。
[0030]本技术在加料过程中可以使得活泼金属全程隔绝空气，保护操作人员的人身安全；免开腔加料可避免金属氧化产生粉尘杂质，从而减少金属腔的粉尘污染和减少点源金属腔的开腔频率，不打开金属腔体，既保证了金属材料的纯度，也避免了腔体与大气接触
发生腔体污染的风险，既提高了产品良率，也降低了生产成本。
[0031]上述实施例和图式并非限定本技术的形态和式样，任何所属
的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰，皆应视为不脱离本技术的专利范畴。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀用金属腔加料装置，其特征在于：该金属腔加料装置设置于蒸镀腔内坩埚的斜上方，包括：外腔室和内腔室；所述内腔室设于所外腔室内；一加料置换腔盖同时遮盖于所述外腔室和所述内腔室的上方；所述内腔室内设有压料板、承料挡板、滑轨和填料通道；所述加料置换腔盖与所述压料板之间通过一压料推杆相连，所述加料置换腔盖还连接一马达；所述承料挡板位于所述压料板的下方，所述承料挡板的中部设置一网状破袋小锥；所述压料板的底部设有与所述破袋小锥形状相适配的凹槽；所述滑轨斜置于所述承料挡板下方；所述滑轨...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄丹丹，孙玉俊，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：