蒸镀装置及蒸镀方法制造方法及图纸

本公开实施例提供了一种蒸镀装置及蒸镀方法，属于蒸镀技术领域。该蒸镀装置包括蒸镀掩膜板和多个蒸镀源。其中，该蒸镀掩膜板中，每个蒸镀区域包括多个蒸镀开口和间隔每相邻两个蒸镀开口的遮挡部。多个蒸镀源能够通过该多个蒸镀开口在待蒸镀基板上蒸镀形成不同颜色的发光层。并且，多个蒸镀开口相交，每个蒸镀开口与待蒸镀基板的夹角小于蒸镀掩膜板的厚度与通过该蒸镀开口形成的发光层的宽度的比值的反正切值，每个蒸镀源与待蒸镀基板的夹角等于或是近似等于蒸镀开口与待蒸镀基板的夹角。如此，可以通过该一个蒸镀掩膜板配合控制蒸镀源的蒸镀角，一次对位后，在待蒸镀基板上可靠形成所需的不同颜色的发光层。进而，提高了蒸镀效率，加快了产能。加快了产能。加快了产能。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置及蒸镀方法


[0001]本公开涉及蒸镀
，特别涉及一种蒸镀装置及蒸镀方法。

技术介绍

[0002]有机发光二极管(organic light emitting diode，OLED)显示面板的制备过程中，常采用蒸镀工艺在待蒸镀基板上形成发光层(emission layer，EML)。
[0003]其中，蒸镀工艺是指采用蒸镀源将所需蒸镀的材料(如，发光材料)，通过掩膜板具有的蒸镀开口蒸镀至显示面板中的待蒸镀基板上，以形成所需膜层的工艺，相应的，蒸镀源与掩膜板需要预先对位。并且，目前的蒸镀源一次仅能蒸镀一种颜色的发光材料，掩膜板仅具有一个蒸镀开口。为此，针对包括多种不同颜色像素的OLED显示面板而言，通常需要使用多张掩膜板进行多次对位，才能完成不同颜色像素中发光层的蒸镀。这极大的影响了产能，效率较低。

技术实现思路

[0004]提供了一种蒸镀装置及蒸镀方法，可以解决相关技术中蒸镀效率较低的问题，所述技术方案如下：
[0005]一方面，提供了一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括：
[0006]蒸镀掩膜板，所述蒸镀掩膜板位于显示面板中待蒸镀基板的一侧，且所述蒸镀掩膜板具有多个蒸镀区域，每个蒸镀区域包括沿平行于所述待蒸镀基板的方向依次排布的多个蒸镀开口，以及用于间隔每相邻两个蒸镀开口的遮挡部；
[0007]多个蒸镀源，所述多个蒸镀源位于所述蒸镀掩膜板远离所述待蒸镀基板的一侧，且每个蒸镀源的喷嘴朝向所述蒸镀掩膜板，所述多个蒸镀源与所述多个蒸镀开口一一对应，并用于通过所述多个蒸镀开口在所述待蒸镀基板上蒸镀形成不同颜色的发光层；
[0008]其中，所述多个蒸镀开口的延伸方向相交，每个蒸镀开口与所述待蒸镀基板形成有第一夹角，每个蒸镀源的喷嘴与所述待蒸镀基板形成有第二夹角；
[0009]并且，对于每个蒸镀开口而言，所述第一夹角小于所述蒸镀掩膜板的厚度与通过所述蒸镀开口形成的发光层的宽度的比值的反正切值；对于每个蒸镀源而言，所述第二夹角与对应的蒸镀开口的第一夹角的差值小于等于差值阈值。
[0010]可选的，对于每个蒸镀源而言，所述第二夹角与对应的蒸镀开口的第一夹角相等。
[0011]可选的，所述多个蒸镀开口中，一个目标蒸镀开口与所述待蒸镀基板形成的第一夹角为90度；
[0012]并且，通过所述目标蒸镀开口形成的发光层的宽度小于所述蒸镀掩膜板的厚度与目标夹角的正切值的比值，所述目标夹角包括除所述目标蒸镀开口外，其余蒸镀开口与所述待蒸镀基板形成的第一夹角。
[0013]可选的，每个蒸镀区域包括三个蒸镀开口，所述蒸镀装置包括三个蒸镀源；
[0014]其中，所述三个蒸镀源用于通过所述三个蒸镀开口在所述待蒸镀基板上蒸镀形成
红色发光层、绿色发光层和蓝色发光层。
[0015]可选的，沿平行于所述待蒸镀基板的方向，形成的所述红色发光层、所述蓝色发光层和所述绿色发光层间隔排布。
[0016]可选的，所述三个蒸镀开口中，位于中间的蒸镀开口与所述待蒸镀基板形成的第一夹角为90度，且位于两侧的蒸镀开口均沿远离所述待蒸镀基板的方向，向靠近中间的蒸镀开口的方向倾斜。
[0017]可选的，所述蒸镀掩膜板的材料包括：金属合金、玻璃或硅。
[0018]可选的，所述显示面板还包括：位于所述待蒸镀基板一侧的像素界定层；
[0019]其中，所述像素界定层具有多个开口，所述像素界定层用于将不同的发光层限定于不同的开口内，所述蒸镀掩膜板复用所述像素界定层。
[0020]可选的，所述多个蒸镀开口中，每个蒸镀开口在所述待蒸镀基板上的正投影呈矩形，每个蒸镀开口不同位置处的孔径相同，且各个蒸镀开口的孔径相同。
[0021]另一方面，提供了一种蒸镀方法，所述蒸镀方法包括：
[0022]提供待蒸镀基板；
[0023]采用如上述方面所述的蒸镀装置，在所述待蒸镀基板上蒸镀形成不同颜色的发光层。
[0024]综上所述，本公开实施例提供的技术方案带来的有益效果至少可以包括：
[0025]提供了一种蒸镀装置及蒸镀方法。该蒸镀装置包括蒸镀掩膜板和多个蒸镀源。其中，该蒸镀掩膜板中，每个蒸镀区域包括多个蒸镀开口和间隔每相邻两个蒸镀开口的遮挡部。多个蒸镀源能够通过该多个蒸镀开口在待蒸镀基板上蒸镀形成不同颜色的发光层。并且，多个蒸镀开口相交，每个蒸镀开口与待蒸镀基板的夹角小于蒸镀掩膜板的厚度与通过该蒸镀开口形成的发光层的宽度的比值的反正切值，每个蒸镀源与待蒸镀基板的夹角等于或是近似等于蒸镀开口与待蒸镀基板的夹角。如此，可以通过该一个蒸镀掩膜板配合控制蒸镀源的蒸镀角，一次对位后，在待蒸镀基板上可靠形成所需的不同颜色的发光层。进而，提高了蒸镀效率，加快了产能。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0027]图1是本公开实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图；
[0028]图2是本公开实施例提供的另一种蒸镀装置的结构示意图；
[0029]图3是本公开实施例提供的一种采用蒸镀装置蒸镀蓝色发光层的示意图；
[0030]图4是本公开实施例提供的一种采用蒸镀装置蒸镀绿色发光层的示意图；
[0031]图5是本公开实施例提供的一种采用蒸镀装置蒸镀红色发光层的示意图；
[0032]图6是本公开实施例提供的一种蒸镀效果图；
[0033]图7是本公开实施例提供的一种包括像素界定层的显示面板示意图；
[0034]图8是本公开实施例提供的一种复用像素界定层作为蒸镀掩膜板的蒸镀装置示意
图；
[0035]图9是本公开实施例提供的一种扫描电子显微镜下的蒸镀掩膜板示意图；
[0036]图10是本公开实施例提供的一种蒸镀方法的流程图。
具体实施方式
[0037]为了使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本公开实施方式作进一步地详细描述。
[0038]OLED显示面板中通常至少包括位于不同位置的红色(red，R)像素、绿色 (green，G)像素和蓝色(blue，B)像素。为此，采用目前的蒸镀源与掩膜板蒸镀红色R像素的发光层，绿色G像素的发光层，以及蓝色B像素的发光层，至少需要三张掩膜板，并进行至少三次对位，制备效率较低，影响产能。
[0039]本公开实施例提供了一种新的蒸镀装置，该蒸镀装置仅需提供一张蒸镀掩膜板，进行一次对位，即可完成OLED显示面板中不同颜色像素的发光层的蒸镀制备，效率较高，相应的，即可以提高产能。
[0040]图1是本公开实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图。如图1所示，该蒸镀装置包括：
[0041]蒸镀掩膜(mask)板01。该蒸镀掩膜板01位于显示面板中待蒸镀基板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：蒸镀掩膜板，所述蒸镀掩膜板位于显示面板中待蒸镀基板的一侧，且所述蒸镀掩膜板具有多个蒸镀区域，每个蒸镀区域包括沿平行于所述待蒸镀基板的方向依次排布的多个蒸镀开口，以及用于间隔每相邻两个蒸镀开口的遮挡部；多个蒸镀源，所述多个蒸镀源位于所述蒸镀掩膜板远离所述待蒸镀基板的一侧，且每个蒸镀源的喷嘴朝向所述蒸镀掩膜板，所述多个蒸镀源与所述多个蒸镀开口一一对应，并用于通过所述多个蒸镀开口在所述待蒸镀基板上蒸镀形成不同颜色的发光层；其中，所述多个蒸镀开口的延伸方向相交，每个蒸镀开口与所述待蒸镀基板形成有第一夹角，每个蒸镀源的喷嘴与所述待蒸镀基板形成有第二夹角；并且，对于每个蒸镀开口而言，所述第一夹角小于所述蒸镀掩膜板的厚度与通过所述蒸镀开口形成的发光层的宽度的比值的反正切值；对于每个蒸镀源而言，所述第二夹角与对应的蒸镀开口的第一夹角的差值小于等于差值阈值。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，对于每个蒸镀源而言，所述第二夹角与对应的蒸镀开口的第一夹角相等。3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述多个蒸镀开口中，一个目标蒸镀开口与所述待蒸镀基板形成的第一夹角为90度；并且，通过所述目标蒸镀开口形成的发光层的宽度小于所述蒸镀掩膜板的厚度与目标夹角的正切值的比值，所述目标夹角包括除所述目标蒸镀开口外，其余蒸镀开口与所述待蒸镀基板形成的第一夹角。4.根据权利要求1至3...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓虎，王路，王伟杰，焦志强，袁广才，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：