一种可旋转镀环的镀锅机构及蒸镀机制造技术

本申请公开一种可旋转镀环的镀锅机构及蒸镀机，包括：设于蒸镀机外壳上的电机，设于蒸镀机腔体内的镀锅；所述镀锅内设有至少一个镀环结构，所述镀环结构包括多个用于放置晶圆的镀环，多个所述镀环沿水平方向呈直线排列，相邻两个所述镀环之间通过连接杆固定连接，每个所述镀环上设有用于活动夹持所述晶圆的固定件，所述镀锅外部设有与蒸镀机腔体的顶部固定连接的伞架，所述镀锅与所述伞架可拆卸连接；所述电机与所述镀锅之间设有旋转机构，所述旋转机构一端与所述电机的输出轴连接，所述旋转机构的另一端穿过所述伞架后与所述镀环结构固定连接，所述电机用于驱动旋转机构带动所述镀环结构沿所述镀环排列方向做周向旋转运动。镀环结构沿所述镀环排列方向做周向旋转运动。镀环结构沿所述镀环排列方向做周向旋转运动。

【技术实现步骤摘要】
一种可旋转镀环的镀锅机构及蒸镀机


[0001]本申请实施例涉及半导体加工
，特别涉及一种可旋转镀环的镀锅机构及蒸镀机。

技术介绍

[0002]蒸镀，属于一种物理沉积，是通过某种方式将蒸镀材料升华使其变成气体分子蒸镀材料，气体分子蒸镀材料在真空环境中运动附着在待蒸镀物表面，从而在待蒸镀物表面形成薄膜的过程。有机发光二极管(0rganicLight
‑
EmittingDiode，简称OLED)具有自发光，轻薄，易于实现柔性显示等特点，是一种具有良好发展前景的新一代显示技术。目前在OLED面板制程中，经常采用OLED蒸镀技术进行各个功能膜层的制作。
[0003]现有技术的真空蒸镀装置中，一般均为真空蒸镀，用于蒸镀的设备为蒸发源，而蒸发源又分为有机蒸发源和无机蒸发源，对于蒸镀不同材料的蒸渡源的设计会有所差别。从蒸镀源出来的气体分子蒸镀材料升华至蒸镀锅上，蒸镀设备的蒸镀锅用于放置和固定待蒸镀物，待蒸镀物比如晶圆。OLED蒸镀技术的大致原理为：将OLED有机材料和被蒸镀基板存放于真空环境下，加热有机材料，使有机材料蒸发或升华本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可旋转镀环的镀锅机构，其特征在于，包括：设于蒸镀机外壳上的电机(1)，设于蒸镀机腔体内的镀锅(2)；所述镀锅(2)内设有至少一个镀环结构(21)，所述镀环结构(21)包括多个用于放置晶圆的镀环(211)，多个所述镀环(211)沿水平方向呈直线排列，相邻两个所述镀环(211)之间通过连接杆固定连接，每个所述镀环(211)上设有用于活动夹持所述晶圆的固定件(212)，所述镀锅(2)外部设有与蒸镀机腔体的顶部固定连接的伞架(4)，所述镀锅(2)与所述伞架(4)可拆卸连接；所述电机(1)与所述镀锅(2)之间设有旋转机构(3)，所述旋转机构(3)一端与所述电机(1)的输出轴连接，所述旋转机构(3)的另一端穿过所述伞架(4)后与所述镀环结构(21)固定连接，所述电机(1)用于驱动旋转机构(3)带动所述镀环结构(21)沿所述镀环(211)排列方向做周向旋转运动。2.根据权利要求1所述的一种可旋转镀环的镀锅机构，其特征在于，所述固定件(212)包括设置在所述镀环(211)外圆周侧的至少两个弹簧卡箍，所述弹簧卡箍分别向所述镀环(211)中心的方向抵压所述镀环(211)。3.根据权利要求1所述的一种可旋转镀环的镀锅机构，其特征在于，所述旋转机构(3)包括齿轮箱(9)和旋转操纵杆，所述齿轮箱(9)内设有主动轮(91)和多个从动轮(92)，所述主动(91)与所述电机(1)的输出轴连接，所述从动轮(92)靠近所述镀锅(2)的一侧与所述旋转操纵杆固定连接，所述主动轮(91)与所述从动轮(92)啮合，且通过转轴固定安装在所述齿轮箱(9)内，所述旋转操纵杆水平设置且连接至所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴爱明，许康，黄鑫，曹玉飞，卓昌正，
申请(专利权)人：聚灿光电科技宿迁有限公司，
类型：发明
国别省市：