蒸发源装置以及蒸镀设备制造方法及图纸

本申请公开了一种蒸发源装置以及蒸镀设备，该蒸发源装置包括：坩埚，设有空腔，空腔用于容置蒸镀材料；多个喷嘴，设置在坩埚的顶面上且与空腔连通，其中，多个喷嘴包括第一喷嘴；引导件，至少部分位于第一喷嘴的喷射路径上。本申请所提供的蒸发源装置能够提高蒸镀材料的利用率。的利用率。的利用率。

【技术实现步骤摘要】
蒸发源装置以及蒸镀设备


[0001]本申请属于蒸镀
，特别是涉及一种蒸发源装置以及蒸镀设备。

技术介绍

[0002]OLED(Organic Light
‑
Emitting Diode，有机发光二极管)显示面板由于同时具有独特的自发光性、广视角、高对比、高亮度、低功耗、响应速度快和面板薄等优点，已成为最热门的显示技术之一。其中OLED显示面板的核心部分由阳极金属膜层、有机材料膜层以及阴极金属膜层构成。而有机材料膜层需要采用蒸镀工艺形成。目前在采用蒸镀工艺形成有机材料膜层时，经过会造成蒸镀材料的浪费。

技术实现思路

[0003]本申请提供一种蒸发源装置以及蒸镀设备，能够提高蒸镀材料的利用率。
[0004]本申请实施例第一方面提供一种蒸发源装置，所述蒸发源装置包括：坩埚，设有空腔，所述空腔用于容置蒸镀材料；多个喷嘴，设置在所述坩埚的顶面上且与所述空腔连通，其中，所述多个喷嘴包括第一喷嘴；引导件，至少部分位于所述第一喷嘴的喷射路径上。
[0005]其中，从所述坩埚的顶面的中心位置向边缘位置的方向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源装置包括：坩埚，设有空腔，所述空腔用于容置蒸镀材料；多个喷嘴，设置在所述坩埚的顶面上且与所述空腔连通，其中，所述多个喷嘴包括第一喷嘴；引导件，至少部分位于所述第一喷嘴的喷射路径上。2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，从所述坩埚的顶面的中心位置向边缘位置的方向，多个所述喷嘴的中轴线与所述坩埚的顶面的夹角减小，其中，所述第一喷嘴为所述多个喷嘴中，从所述坩埚的顶面的中心位置向边缘位置的方向上处于最外侧的所述喷嘴。3.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，多个所述喷嘴以及所述引导件排列成一行，所述引导件位于所述第一喷嘴背离其他所述喷嘴的一侧，其中，所述引导件的至少部分超出所述第一喷嘴的出射面，且所述引导件超出所述出射面的凸出部的至少部分位于所述第一喷嘴的喷射路径上。4.根据权利要求3所述的蒸发源装置，其特征在于，所述引导件朝向所述第一喷嘴的至少部分表面与所述第一喷嘴朝向所述引导件...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄俊允，彭兆基，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：