镀膜机及石墨舟制造技术

技术编号:35338618 阅读:18 留言:0更新日期:2022-10-26 12:01
镀膜机及石墨舟,属于太阳能电池技术领域。镀膜机包括炉体,以及设置于炉体内的支撑件和两组导电件。支撑件用于支撑石墨舟,两组导电件间隔设置于支撑件并凸出其表面预设距离,以用于与石墨舟中的舟脚导电连接。由于导电件凸出支撑件表面一定高度,能够在一定程度上避免堆积于支撑件表面的杂质附着在导电件与舟脚导电接触的接触部分,且导电件中的部分与舟脚中的凹槽相契合,而凹槽的槽底为斜面或曲面,则杂质附着于导电件的机率较小,进而减小石墨舟的打弧频次,提高镀膜质量。提高镀膜质量。提高镀膜质量。

【技术实现步骤摘要】
镀膜机及石墨舟


[0001]本申请涉及太阳能电池
,具体而言,涉及镀膜机及石墨舟。

技术介绍

[0002]常用的PERC电池制造工艺流程为:制绒

磷扩散

背面刻蚀

退火

Al2O3镀膜

背面SiNx镀膜

正面SiNx镀膜

背面激光开槽

丝网印刷

烧结。背镀膜又作为PERC的主要工序,目前业内常见的背镀膜工序生产机台主要为管式镀膜机型,射频放电方式主要为石墨舟的舟脚与炉管内陶瓷支撑杆上安装的导电片导电接触。但是现有的石墨舟打弧频次较高,从而导致产线的损耗较高。

技术实现思路

[0003]基于上述的不足,本申请提供了一种镀膜机及石墨舟,以部分或全部地改善、甚至解决相关技术中石墨舟打弧频次较高的问题。
[0004]本申请是这样实现的:
[0005]在第一方面,本申请的示例提供了一种镀膜机,包括炉体,以及设置于炉体内的支撑件和两组导电件:
[0006]支撑件配备为支撑石墨舟,石墨舟包括至少两个舟脚,舟脚具有凹槽,凹槽的槽底为斜面或曲面;
[0007]两组导电件间隔设置于支撑件,两组导电件分别沿第一预设方向凸出支撑件的表面第一预设距离;导电件配备为与舟脚导电连接,且导电件用于与舟脚接触的部分与凹槽契合。
[0008]在上述实现过程中,在镀膜机中用于支撑石墨舟的支撑件处间隔设置两组导电件,将石墨舟的通过支撑件放置于炉体内,并且石墨舟的两个舟脚分别与两组导电件接触,使石墨舟内形成电场对放置于石墨舟中的电池片进行镀膜。由于导电件沿第一预设方向凸出支撑件的表面预设距离,则舟脚与导电件导电连接的连接部与支撑件之间形成一定的间隙,能够避免堆积于支撑件表面的杂质附着在舟脚与导电件导电连接的连接部分而增加舟脚的打弧频次,进行降低镀膜机工作过程中的损耗,提高镀膜质量。
[0009]除此之外,导电件用于与舟脚的凹槽接触的部分与舟脚的凹槽相契合,能够提高导电件与舟脚导电接触的接触面积,提高镀膜机镀膜工艺过程中的稳定性。由于凹槽的槽底为斜面或曲面,则与凹槽相契合的导电件的部分也为相应的斜面或曲面。因此当堆积于支撑件处的杂质掉落在该斜面或曲面时,掉落的杂质会沿着该斜面或曲面滑动,进而滑离导电件用于与舟脚导电连接的部分。即导电件与舟脚导电连接的接触部分能够沉积杂质的机率较小,因此能够降低石墨舟的打弧频次,提高镀膜机的使用稳定性。
[0010]结合第一方面,在第一方面的第一种可能的实施方式中,第一预设距离为6

9mm。
[0011]在上述实现过程中,将导电件凸出支撑件表面的凸出高度设置为6

9mm,能够在保证石墨舟的稳定性的前提下降低石墨舟的打弧频次。若导电件凸出支撑件表面的凸出高度
过低,堆积于支撑件表面的杂质附着在导电件与舟脚导电接触的接触部的机率会相对增大,影响镀膜质量。
[0012]由于石墨舟的其中两个舟脚与具有一定凸出高度的导电件接触,其余不需要与导电件接触的舟脚或石墨舟其它部件与支撑件接触。若导电件凸出支撑件表面的凸出高度过高,石墨舟中的不同舟脚与支撑件之间的间隙差异过大,进而会影响放置于支撑件处的石墨舟的稳定性(石墨舟可能会发生晃动等)。
[0013]结合第一方面,在第一方面的第二种可能的实施方式中,当凹槽的槽底为曲面时,导电件用于与凹槽契合的部分呈半圆柱结构,且半圆柱结构的弧面用于与凹槽契合。
[0014]结合第一方面,在第一方面的第三种可能的实施方式中,半圆柱结构的直径为10

15mm。
[0015]在上述实现过程中,将导电件用于与石墨舟的舟脚中的凹槽相契合的部分设置成半圆柱结构,且半圆柱结构的弧面用于与舟脚的凹槽契合,由于曲面的光滑性,能够在较好地避免杂质在光滑曲面上的沉积。
[0016]并且,利用半圆柱结构的弧面与舟脚的凹槽契合,光滑的弧面结构在承受石墨舟的压力时,受力更加均匀,能够增加导电件以及石墨舟的耐用性。
[0017]除此之外,利用半圆柱结构的弧面与舟脚的凹槽契合,圆滑性的弧面与倾斜的斜面相比,在一定程度上,弧面的面积更大,能够增加导电件与舟脚的接触面积,进而提高导电件与石墨舟之间的导电性能(例如,避免接触不良或者电压过大而造成导电件的损耗,或者对电弧稳定性的影响),提高镀膜质量。将半圆柱结构的直径限制为10

15mm,能够使导电件所受的作用力更加均匀,适当提高接触面积(若接触面积过大,接触电阻可能也会越大)。
[0018]结合第一方面,在第一方面的第四种可能的实施方式中,支撑件包括间隔设置的第一支撑杆和第二支撑杆,两组导电件分别设置于第一支撑杆和第二支撑杆,第一预设方向与第一支撑杆的轴线和第二支撑杆的轴线所构成的平面相交。
[0019]在上述实现过程中,将支撑件设置成间隔设置的第一支撑杆和第二支撑杆,能够方便两组导电件的间隔设置。若支撑件例如为支撑板状的一个整体,在更换导电件前后,导电件的位置可能会发生改变,即导电件之间的距离可能会发生变化。为了满足同一尺寸规格的石墨舟的放置(一般情况下,石墨舟的舟脚位置之间的距离固定不变),需要精确调整,影响镀膜机的使用便利性。
[0020]并且,将支撑件设置成间隔设置的第一支撑杆和第二支撑杆,能够使得石墨舟的受热或温度变化更加均匀。若将支撑件设置成例如板状结构,支撑板的面积较大,石墨舟与支撑板相接触部分的例如温度等变化会受到支撑件的影响(例如,在支撑件的导热性能低于石墨舟的导热性能时,石墨舟中与支撑件相靠近的部分的升温速率或降温速率与其它部分不同,进而影响石墨舟的温度均匀性)。
[0021]结合第一方面,在第一方面的第五种可能的实施方式中,第一支撑杆和第二支撑杆平行设置,且第一支撑杆和第二支撑杆之间的距离不大于200mm。
[0022]石墨舟通常为沿一定方向延伸的类似长方体的框架结构,石墨舟的底板为类似于具有两平行边的矩形平板。在上述实现过程中,将第一支撑杆和第二支撑杆平行设置,以便于石墨舟底板的两个长边能够分别与第一支撑杆和第二支撑杆接触,提高石墨舟的支撑稳定性。若两支撑杆的轴线相交,则在放置于支撑杆上的石墨舟中,分别与支撑杆接触的两接
触部之间形成的支撑面大小不一,降低石墨舟在镀膜机中的安装稳定性。
[0023]另外,两支撑杆之间的间隙不大于200mm,能够提高两组导电件中的电场性能,提高镀膜性能。
[0024]结合第一方面,在第一方面的第六种可能的实施方式中,半圆柱结构的直径不大于第一支撑杆或第二支撑杆的直径。
[0025]在上述实现过程中,半圆柱结构的直径不大于第一支撑杆或第二支撑杆的直径,使得第一支撑杆或第二支撑杆能够为导电件提供足够的支撑位置,提高导电件的稳定性。
[0026]结合第一方面,在第一方面的第七种可能的实施方式中,导电本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜机,其特征在于,包括炉体,以及设置于所述炉体内的支撑件和两组导电件:所述支撑件配备为支撑石墨舟,所述石墨舟包括至少两个舟脚,所述舟脚具有凹槽,所述凹槽的槽底为斜面或曲面;两组所述导电件间隔设置于所述支撑件,两组所述导电件分别沿第一预设方向凸出所述支撑件的表面第一预设距离;所述导电件配备为与所述舟脚导电连接,且所述导电件用于与所述舟脚接触的部分与所述凹槽契合。2.根据权利要求1所述的镀膜机,其特征在于,所述第一预设距离为6

9mm。3.根据权利要求1所述的镀膜机,其特征在于,当所述凹槽的槽底为曲面时,所述导电件用于与所述凹槽契合的部分呈半圆柱结构,且所述半圆柱结构的弧面用于与所述凹槽契合。4.根据权利要求3所述的镀膜机,其特征在于,所述半圆柱结构的直径为10

15mm。5.根据权利要求4所述的镀膜机,其特征在于,所述支撑件包括间隔设置的第一支撑杆和第二...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘泽文刘冰
申请(专利权)人:通合新能源金堂有限公司
类型:新型
国别省市:

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