本实用新型专利技术公开了一种用于晶体生长炉的加热器组件及晶体生长炉，晶体生长炉包括炉体和坩埚，坩埚设在炉体内，加热器组件设在炉体内，且包括多个固定加热器和多个活动加热器，固定加热器适于围绕坩埚设置，多个活动加热器沿固定加热器的径向依次设置，且多个活动加热器和多个固定加热器沿固定加热器的径向交替设置，每个活动加热器可沿固定加热器的轴向相对于固定加热器在第一高度位置和第二高度位置之间上下移动。根据本实用新型专利技术的用于晶体生长炉的加热器组件，可以调整对坩埚轴向上不同区域输出的加热功率，满足了晶体生长炉的不同的热场需求。的热场需求。的热场需求。
【技术实现步骤摘要】
用于晶体生长炉的加热器组件及晶体生长炉
[0001]本技术涉及单晶硅生产设备领域领域，尤其是涉及一种用于晶体生长炉的加热器组件及晶体生长炉。
技术介绍
[0002]晶体生长炉内设有加热器以在炉体内形成热场，热场是否合理对单晶硅的质量有很大影响。
[0003]相关技术中，坩埚的外侧设有环形的加热器，以利用加热器对坩埚内的硅料进行加热；当需要调节对坩埚的加热功率时，仅能通过调节加热器的整体输出功率来实现，使得对坩埚的加热功率调节受限，无法满足实际差异化需求。
技术实现思路
[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种用于晶体生长炉的加热器组件，所述加热器组件可以调整对坩埚轴向上不同区域输出的加热功率，满足了晶体生长炉的不同的热场需求。
[0005]本技术还提出一种具有上述加热器组件的晶体生长炉。
[0006]根据本技术第一方面实施例用于晶体生长炉的的加热器组件，所述晶体生长炉包括炉体和坩埚，所述坩埚设在所述炉体内，所述加热器组件设在所述炉体内，且包括：多个固定加热器，所述固定加热器适于围绕所述坩埚设置；多个活动加热器，多个所述活动加热器沿所述固定加热器的径向依次设置，且多个所述活动加热器和多个所述固定加热器沿所述固定加热器的径向交替设置，每个所述活动加热器可沿所述固定加热器的轴向相对于所述固定加热器在第一高度位置和第二高度位置之间上下移动。
[0007]根据本技术实施例的用于晶体生长炉的加热器组件，设置多个固定加热器和多个活动加热器，并使得多个活动加热器可沿轴向上下移动，可以调整整个加热器组件在轴向上输出功率的分布；当加热器组件用于对坩埚进行加热时，可以调整加热器组件在坩埚的轴向上对坩埚加热功率的分布，以便于调整加热器组件向坩埚轴向上不同区域输出的加热功率，有利于根据晶体的生长需求形成不同的热场，以适应实际差异化需求。
[0008]在一些实施例中，所述加热器组件还包括：多个第一驱动机构，每个所述第一驱动机构连接在一个所述活动加热器的下端，以使多个所述活动加热器沿所述固定加热器的轴向分别独立移动。
[0009]在一些实施例中，所述加热器组件还包括：耐热传动件，所述耐热传动件连接在所述第一驱动机构与对应所述活动加热器之间。
[0010]在一些实施例中，在所述固定加热器的轴向上，所述固定加热器的长度大于所述活动加热器的长度，所述耐热传动件的长度大于等于所述固定加热器与所述活动加热器的长度差的最大值。
[0011]在一些实施例中，在所述第一高度位置，所述活动加热器的上端与所述固定加热
器的上端齐平，在所述第二高度位置，所述活动加热器的下端与所述固定加热器的下端齐平。
[0012]在一些实施例中，所述活动加热器具有多个高度位置，多个所述高度位置包括所述第一高度位置、所述第二高度位置和所述第三高度位置，所述第三高度位置位于所述第一高度位置和所述第二高度位置之间，在所述固定加热器的纵截面上，多个所述高度位置的正投影不重叠。
[0013]在一些实施例中，所述活动加热器包括多个加热段和多个连接段，多个加热段沿所述固定加热器的周向间隔设置，相邻两个所述加热段通过所述连接段可拆卸相连。
[0014]在一些实施例中，至少一个所述活动加热器可沿所述固定加热器的周向相对于所述固定加热器转动。
[0015]在一些实施例中，所述的用于晶体生长炉的加热器组件还包括多个第二驱动机构，每个所述第二驱动机构连接在一个所述活动加热器的下端，以使多个所述活动加热器沿所述固定加热器的周向分别独立转动。
[0016]在一些实施例中，所述加热器组件具有第一工作模式和第二工作模式，在所述第一工作模式下，至少一个所述活动加热器与其余所述活动加热器的高度不同；在所述第二工作模式下，多个所述活动加热器的高度相同。
[0017]在一些实施例中，所述活动加热器为三个或三个以上，每个所述活动加热器具有多个高度位置，在所述固定加热器的纵截面上，多个所述高度位置的正投影不重叠，在所述第一工作模式下，至少一个所述活动加热器与其余所述活动加热器处于不同的高度位置。
[0018]在一些实施例中，所述第一工作模式具有第一工作状态和第二工作状态，在所述第一工作状态下，多个所述活动加热器中的至少两个所述活动加热器处于同一所述高度位置；在所述第二工作状态下，多个所述活动加热器分别处于不同的所述高度位置。
[0019]在一些实施例中，所述活动加热器为三个，三个所述活动加热器分别为第一活动加热器、第二活动加热器和第三活动加热器，在所述加热器组件的径向由外至内的方向上，所述第一活动加热器、第二活动加热器和第三活动加热器依次排布，多个所述高度位置包括所述第一高度位置、所述第二高度位置和第三高度位置，所述第三高度位置位于所述第一高度位置和所述第二高度位置之间，所述第一工作状态包括第一子状态和第二子状态，在所述第一子状态下，所述第一活动加热器和所述第三活动加热器位于所述第一高度位置、所述第二活动加热器位于所述第三高度位置；在所述第二子状态下，所述第一活动加热器和所述第二活动加热器位于所述第一高度位置、所述第三活动加热器位于所述第三高度位置。
[0020]在一些实施例中，所述第二工作状态包括第三子状态和第四子状态，在所述第三子状态下，多个所述活动加热器沿所述固定加热器的径向由外向内、自下向上依次设置；在所述第四子状态下，多个所述活动加热器沿所述固定加热器的径向由外向内、自上向下依次设置。
[0021]在一些实施例中，至少一个所述活动加热器可沿所述固定加热器的周向相对于所述固定加热器转动，所述加热器组件还具有第三工作模式，在所述第三工作模式下，至少一个所述活动加热器相对于所述固定加热器转动，且所述至少一个所述活动加热器的转动方向与所述坩埚的转动方向相反。
[0022]根据本技术第二方面实施例的晶体生长炉，包括：炉体；坩埚，所述坩埚设在所述炉体内；加热器组件，所述加热器组件为根据本技术上述第一方面实施例的用于晶体生长炉的加热器组件，所述加热器组件设在所述炉体内且围绕所述坩埚设置。
[0023]根据本技术实施例的晶体生长炉，通过采用上述的加热器组件，可以调整对坩埚轴向不同区域的加热功率，以实现不同的热场，从而提高晶体生长炉的适用性。
[0024]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0025]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0026]图1是根据技术一个实施例的晶体生长炉的剖视图；
[0027]图2是图1中所示的加热器组件和坩埚的装配示意图；
[0028]图3是图1中所示的加热器组件的剖视图；
[0029]图4是图3中所示的加热器组件的另一个剖视图；
[0030]图5是图3中所示本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，所述晶体生长炉包括炉体和坩埚，所述坩埚设在所述炉体内，所述加热器组件设在所述炉体内，且包括：多个固定加热器，所述固定加热器适于围绕所述坩埚设置；多个活动加热器，多个所述活动加热器沿所述固定加热器的径向依次设置，且多个所述活动加热器和多个所述固定加热器沿所述固定加热器的径向交替设置，每个所述活动加热器可沿所述固定加热器的轴向相对于所述固定加热器在第一高度位置和第二高度位置之间上下移动。2.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，还包括：多个第一驱动机构，每个所述第一驱动机构连接在一个所述活动加热器的下端，以使多个所述活动加热器沿所述固定加热器的轴向分别独立移动。3.根据权利要求2所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，还包括：耐热传动件，所述耐热传动件连接在所述第一驱动机构与对应所述活动加热器之间。4.根据权利要求3所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，在所述固定加热器的轴向上，所述固定加热器的长度大于所述活动加热器的长度，所述耐热传动件的长度大于等于所述固定加热器与所述活动加热器的长度差的最大值。5.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，在所述第一高度位置，所述活动加热器的上端与所述固定加热器的上端齐平，在所述第二高度位置，所述活动加热器的下端与所述固定加热器的下端齐平。6.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，所述活动加热器具有多个高度位置，多个所述高度位置包括所述第一高度位置、所述第二高度位置和第三高度位置，所述第三高度位置位于所述第一高度位置和所述第二高度位置之间，在所述固定加热器的纵截面上，多个所述高度位置的正投影不重叠。7.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，所述活动加热器包括多个加热段和多个连接段，多个所述加热段沿所述固定加热器的周向间隔设置，相邻两个所述加热段通过所述连接段可拆卸相连。8.根据权利要求1
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7中任一项所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，至少一个所述活动加热器可沿所述固定加热器的周向相对于所述固定加热器转动。9.根据权利要求8所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，还包括：多个第二驱动机构，每个所述第二驱动机构连接在一个所述活动加热器的下端，以使多个所述活动加热器沿所述固定加热器的周向分别独立转动。10.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，所述加热器组件具有第一工作模式和第二工作模式，在所述第一工作模式下，至少一个所述活动加热器与其余所述活...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈俊宏，
申请(专利权)人：徐州鑫晶半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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