一种框架锁紧机构、硅片承载框及硅片托盘制造技术

技术编号:35318364 阅读:32 留言:0更新日期:2022-10-22 13:14
本实用新型专利技术公开了一种框架锁紧机构、硅片承载框及硅片托盘,其中,所述框架锁紧机构包括设在硅片承载框中的纵向支撑件上的通槽和设在硅片承载框中的横向支撑件上的锁紧槽,其中,所述通槽在所述纵向支撑件中横向延伸;所述锁紧槽设在所述横向支撑件中与所述纵向支撑件交接的位置;所述横向支撑件自多组纵向支撑件中的通槽穿过,且通过锁紧条使得所述纵向支撑件中位于所述通槽的部位嵌入所述横向支撑件的锁紧槽内;所述锁紧条位于所述纵向支撑件与所述横向支撑件之间。本实用新型专利技术的框架锁紧机构可用于对承载框中纵横交错的支撑件进行锁紧,保证承载框结构的牢固性,并且本实用新型专利技术中的锁紧步骤尤为简单,并且不会对承载框的平整度有任何不良影响。的平整度有任何不良影响。的平整度有任何不良影响。

【技术实现步骤摘要】
一种框架锁紧机构、硅片承载框及硅片托盘


[0001]本技术涉及一种太阳能硅片加工设备,具体涉及一种框架锁紧机构、硅片承载框及硅片托盘。

技术介绍

[0002]在太阳能硅片的加工生产加工过程中,为了便于硅片的批量加工,一般会采用硅片托盘或石墨舟的方式进行硅片输送,其中,所述硅片托盘包括承载框以及设置在承载框上的托盘,所述托盘上设有多个存放槽,在上料时通过机械手将多张待加工的硅片放置在托盘的存放槽中,加工时则通过硅片托盘的移动带动硅片在各个加工工位之间的转移,从而使得在每个加工工位上均可以实现对硅片的批量加工。
[0003]然而现有的承载框多由纵横交错的支撑件做出,且纵向设置的支撑件和横向设置的支撑件之间设置有锁紧结构,用于保证承载框结构的牢固性;但是由于现有的锁紧结构对局部的装配精度要求较高,且安装不到位会影响到硅片托盘表面的平整度。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服现有技术的不足,提供一种框架锁紧机构,所述框架锁紧机构可用于对承载框中纵横交错的支撑件进行锁紧,保证承载框结构的牢固性,并且该锁紧步骤简单,且不会对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种框架锁紧机构,其特征在于,包括设在硅片承载框中纵向设置的纵向支撑件上的通槽和设在硅片承载框中横向设置的横向支撑件上的锁紧槽,其中,所述通槽在所述纵向支撑件中横向延伸;所述锁紧槽设在所述横向支撑件中与所述纵向支撑件交接的位置;所述横向支撑件自多组纵向支撑件中的通槽穿过,且通过锁紧条促使所述纵向支撑件中位于所述通槽的部位嵌入所述横向支撑件的锁紧槽内;其中,所述锁紧条穿插在所述通槽内,且位于所述纵向支撑件与所述横向支撑件之间。2.根据权利要求1所述的框架锁紧机构,其特征在于,所述锁紧槽的宽度等于所述纵向支撑件的厚度。3.根据权利要求1所述的框架锁紧机构,其特征在于,所述横向支撑件的厚度等于所述通槽的长度或宽度。4.根据权利要求1所述的框架锁紧机构,其特征在于,所述通槽的截面为长方形或矩形。5.一种应用权...

【专利技术属性】
技术研发人员:高晗杨宗明刘小明王小东张帆
申请(专利权)人:南通玖方新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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