一种盛放硅片的石英舟制造技术

本实用新型专利技术提供了一种盛放硅片的石英舟，包括石英舟本体；所述石英舟本体的内部形成有硅片放置腔室，所述硅片放置腔室在两侧的腔壁上形成有硅片插槽；所述硅片插槽的整体高度大于等于硅片在竖直放置时的高度。本实用新型专利技术的优点在于：通过在硅片放置腔室的腔壁形成多个硅片插槽，并使硅片插槽的整体高度大于等于硅片在竖直放置时的高度，使得在将硅片放置到硅片放置腔室的硅片插槽内后，整个硅片可以处在石英舟本体的内部，因此石英舟本体可以对硅片起到很好的保护作用，确保硅片在周转的过程中不会被碰撞损坏。不会被碰撞损坏。不会被碰撞损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种盛放硅片的石英舟


[0001]本技术涉及硅片生产设备
，特别涉及一种盛放硅片的石英舟。

技术介绍

[0002]硅片是制造太阳能电池板的重要部件。在硅片生产的过程中，需要对硅片进行周转，而在周转的过程中需要利用石英舟来放置硅片；但是，现有石英舟仅能够对硅片的下半部分进行支撑，无法对硅片进行有效保护，导致在周转的过程中硅片容易被碰撞损坏。鉴于上述存在的问题，本案专利技术人对该问题进行深入研究，遂有本案产生。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题，在于提供一种盛放硅片的石英舟，解决现有石英舟无法对硅片进行有效保护，导致在周转的过程中硅片容易被碰撞损坏的问题。
[0004]本技术是这样实现的：一种盛放硅片的石英舟，包括石英舟本体；所述石英舟本体的内部形成有硅片放置腔室，所述硅片放置腔室在两侧的腔壁上形成有硅片插槽；所述硅片插槽的整体高度大于等于硅片在竖直放置时的高度。
[0005]进一步的，所述石英舟本体的底部形成有用于将硅片往上顶起的顶升让位开口。
[0006]进一步的，所述石英舟本体的底部在所述顶升让位开口的两侧固设有支撑板。
[0007]进一步的，所述石英舟本体的上端在所述硅片放置腔室的两侧向外延伸设置有延伸片。
[0008]进一步的，所述硅片放置腔室的下部形成有缩窄段，所述硅片插槽延伸至所述缩窄段。
[0009]进一步的，所述硅片放置腔室的上部形成有扩口段，所述硅片插槽延伸至所述扩口段。
[0010]进一步的，所述石英舟本体在对应所述硅片放置腔室顶部的两端形成有观察缺口。
[0011]进一步的，所述支撑板的底部形成有限位缺口。
[0012]进一步的，所述石英舟本体为一体成型的塑料本体。
[0013]通过采用本技术的技术方案，至少具有如下有益效果：
[0014]1、通过在硅片放置腔室的腔壁形成多个硅片插槽，并使硅片插槽的整体高度大于等于硅片在竖直放置时的高度，使得在将硅片放置到硅片放置腔室的硅片插槽内后，整个硅片可以处在石英舟本体的内部，因此石英舟本体可以对硅片起到很好的保护作用，确保硅片在周转的过程中不会被碰撞损坏。
[0015]2、通过在石英舟本体的底部形成顶升让位开口，使得在具体使用时，可以利用顶升机构从顶升让位开口将石英舟内的硅片向上顶起，从而方便取出硅片进行周转。
[0016]3、通过在石英舟本体的上端向外延伸设置延伸片，使得在使用的过程中，操作者可通过延伸片抓取石英舟，使用起来十分方便。
【附图说明】
[0017]下面参照附图结合实施例对本技术作进一步的说明。
[0018]图1是本技术石英舟的剖视图；
[0019]图2是本技术石英舟的俯视图；
[0020]图3是本技术中支撑板的结构图。
[0021]附图标记说明：
[0022]100
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石英舟，1
‑
石英舟本体，11
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顶升让位开口，12
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支撑板，121
‑
限位缺口，13
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延伸片，14
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观察缺口，2
‑
硅片放置腔室，21
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缩窄段，22
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扩口段，3
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硅片插槽。
【具体实施方式】
[0023]为了更好地理解本技术的技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对本技术的技术方案进行详细的说明。
[0024]在此需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述这些实施方式和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
[0025]请参阅图1至图3所示，本技术一种盛放硅片的石英舟100，石英舟100包括石英舟本体1；所述石英舟本体1的内部形成有硅片放置腔室2，所述硅片放置腔室2在两侧的腔壁上形成有硅片插槽3；所述硅片插槽3的整体高度大于等于硅片在竖直放置时的高度。本技术在具体实施时，所述硅片放置腔室2在两侧的腔壁形成有多个硅片插槽3，且相邻两个所述硅片插槽3之间的间距相等，这样整个硅片放置腔室2可以同时容纳多个硅片，也可方便对硅片进行周转。
[0026]本技术通过在硅片放置腔室2的腔壁形成多个硅片插槽3，并使硅片插槽3的整体高度大于等于硅片在竖直放置时的高度，使得在将硅片放置到硅片放置腔室2的硅片插槽3内后，整个硅片可以处在石英舟本体1的内部，因此石英舟本体1可以对硅片起到很好的保护作用，确保硅片在周转的过程中不会被碰撞损坏。
[0027]作为本技术的一种较佳实施方式，所述石英舟本体1的底部形成有用于将硅片往上顶起的顶升让位开口11。因为在对硅片进行周转的过程中，需要将硅片从石英舟100内取出，本技术通过在石英舟本体1的底部形成顶升让位开口11，使得在具体使用时，可以利用顶升机构从顶升让位开口11将石英舟100内的硅片向上顶起，从而方便取出硅片进行周转。
[0028]作为本技术的一种较佳实施方式，所述石英舟本体1的底部在所述顶升让位开口11的两侧固设有支撑板12，且两个所述支撑板12的高度相等，以利用两个支撑板12配合对整个石英舟100进行稳定支撑。
[0029]作为本技术的一种较佳实施方式，所述石英舟本体1的上端在所述硅片放置腔室2的两侧向外延伸设置有延伸片13。通过在石英舟本体1的上端向外延伸设置延伸片
13，使得在使用的过程中，操作者可通过延伸片13抓取石英舟100，使用起来十分方便。
[0030]作为本技术的一种较佳实施方式，所述硅片放置腔室2的下部形成有缩窄段21，所述硅片插槽3延伸至所述缩窄段21。由于硅片整体呈圆形结构，本技术通过在硅片放置腔室2的下部形成缩窄段21，可更好地对插入至硅片插槽3内的硅片进行支撑，确保硅片不会从底部掉落。
[0031]作为本技术的一种较佳实施方式，所述硅片放置腔室2的上部形成有扩口段22，所述硅片插槽3延伸至所述扩口段22。本技术通过在硅片放置腔室2的上部形成扩口段22，可更方便将硅片进入至硅片插槽3内。
[0032]本技术在具体实施时，除了所述缩窄段21和扩口段22之外，两侧的所述硅片插槽3之间的间距等于硅片的直径，这样在将硅片插入到硅片插槽3内后，可避免硅片产生晃动。
[0033]作为本技术的一种较佳实施方式，所述石英舟本体1在对应所述硅片放置腔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种盛放硅片的石英舟，包括石英舟本体；其特征在于：所述石英舟本体的内部形成有硅片放置腔室，所述硅片放置腔室在两侧的腔壁上形成有硅片插槽；所述硅片插槽的整体高度大于等于硅片在竖直放置时的高度。2.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于：所述石英舟本体的底部形成有用于将硅片往上顶起的顶升让位开口。3.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于：所述石英舟本体的底部在所述顶升让位开口的两侧固设有支撑板。4.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于：所述石英舟本体的上端在所述硅片放置腔室的两侧向外延伸设置有延伸片。5.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄赛琴，黄福仁，陈轮兴，
申请(专利权)人：福建安特微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：