一种用于除尘装置的喷出部(70)，其喷出对除尘对象喷吹的气体，具备：第一构件(71)，由金属形成为具有短边方向和长边方向的矩形板状；第二构件(72)，由预定厚度的金属形成为矩形板状，跨长边方向的全长相邻地形成有在短边方向的一端开口的多个缺口(73)；第三构件(80)，由金属形成为矩形板状，且形成有贯通孔(81)，由第一构件与第三构件夹着第二构件接合成一体，在第三构件形成有将贯通孔与多个缺口连通的流道(82)，在多个缺口从开口端(73a)开始的预定范围形成有倾斜部(73b)，倾斜部(73b)越接近开口端使缺口在长边方向上的长度越长。开口端使缺口在长边方向上的长度越长。开口端使缺口在长边方向上的长度越长。
【技术实现步骤摘要】
用于除尘装置的喷出部及除尘头
[0001]相关申请的相互参照
[0002]本申请以2021年4月6日申请的第2021
‑
064890号申请为基础，该日本申请的记载内容并入本文。
[0003]本专利技术涉及用于从曝光用掩模、基板等精密的除尘对象除去灰尘的除尘装置并喷出向除尘对象喷吹的气体的喷出部。
技术介绍
[0004]以往，在用于这种除尘装置的喷出部中，有从跨长边方向的大致全长的狭缝喷出空气(气体)的用于除尘装置的喷出部(参照专利文献1)。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特许第3975205号公报
技术实现思路
[0008]专利技术要解决的问题
[0009]但是，为了提高喷出的空气的流速，狭缝大多为例如0.1mm这样非常窄的宽度。因此，在专利文献1中记载的用于除尘装置的喷出部中，通过机械加工等跨喷出部的长边方向全长以均匀的宽度形成狭缝是困难的。与此相对，也可以考虑在喷出部的长边方向上将狭缝分割成多个来形成。但是，在该情况下，在狭缝与狭缝之间形成不喷出空气的部分，狭缝与狭缝之间的空气的流动变弱。因此，难以在喷出部的长边方向上均匀地喷出空气。
[0010]本公开是为了解决上述问题而做出的，本公开的主要目的在于提供能够容易地在喷出部的长边方向上均匀地喷出气体的用于除尘装置的喷出部。
[0011]用于解决问题的手段
[0012]用于解决上述问题的第一方案，其是一种用于除尘装置的喷出部，所述用于除尘装置的喷出部用于从除尘对象除去灰尘的除尘装置，喷出对所述除尘对象喷吹的气体，所述用于除尘装置的喷出部具备：
[0013]第一构件，由金属形成为具有短边方向和长边方向的矩形板状；
[0014]第二构件，由预定厚度的金属形成为与所述第一构件的形状对应的矩形板状，跨所述长边方向的全长相邻地形成有在所述短边方向的一端开口的多个缺口；以及
[0015]第三构件，由金属形成为与所述第一构件的形状对应的矩形板状，且形成有贯通孔，
[0016]由所述第一构件与所述第三构件夹着所述第二构件一体地接合，
[0017]在所述第三构件形成有流道，所述流道将所述贯通孔与所述多个缺口连通，
[0018]在所述多个缺口从开口端开始的预定范围形成有倾斜部，所述倾斜部越接近所述
开口端使所述缺口在所述长边方向上的长度越长。
[0019]根据上述构成，用于除尘装置的喷出部用于从除尘对象除去灰尘的除尘装置，喷出对所述除尘对象喷吹的气体。第一构件由金属形成为具有短边方向和长边方向的矩形板状。第二构件由预定厚度的金属形成为与所述第一构件的形状对应的矩形板状，跨所述长边方向的全长相邻地形成有在所述短边方向的一端开口的多个缺口。第三构件由金属形成为与所述第一构件的形状对应的矩形板状，且形成有贯通孔。而且，由所述第一构件与所述第三构件夹着所述第二构件一体地接合。
[0020]因此，在第一构件、第二构件以及第三构件一体地接合的状态下，通过由第一构件、第二构件以及第三构件划定的缺口的内部空间，能够形成狭缝。详细地，跨长边方向的全长通过相邻的多个缺口能够形成相邻的多个狭缝。而且，在所述第三构件形成有将所述贯通孔与所述多个缺口连通的流道。因此，通过从第三构件的贯通孔向喷出部的内部供给气体，能够通过流道向多个缺口(即狭缝)供给气体，能够从狭缝喷出气体。在此，多个狭缝的宽度由第二构件的预定厚度预先确定。因此，能够容易地跨喷出部的长边方向全长以均匀的宽度形成多个狭缝而无需通过机械加工等形成狭缝。
[0021]此外，在所述多个缺口，从开口端开始的预定范围形成有倾斜部，所述倾斜部越接近所述开口端使所述缺口在所述长边方向上的长度越长。因此，容易缩短相邻的狭缝的开口端彼此的间隔，容易缩短形成在狭缝与狭缝之间的不喷出气体的部分的长度。而且，由于气体沿着倾斜部流动，所以从狭缝喷出后的气体变得容易向长边方向扩展。因此，能够抑制狭缝与狭缝之间的气体的流动变弱，能够容易地在喷出部的长边方向上均匀地喷出气体。
[0022]在第二方案中，在所述第二构件，作为所述缺口与所述缺口之间的部分的边界部形成为关于中央线轴对称，中央线规定边界部在所述长边方向上的中央，在所述长边方向上，在所述第二构件的两端部形成有半分割部，所述半分割部为将所述边界部对半分割的形状。
[0023]根据上述构成，在所述第二构件中，作为所述缺口与所述缺口之间的部分的边界部形成为关于中央线轴对称，中央线规定边界部在所述长边方向上的中央。因此，容易从相邻的狭缝关于中央轴对称地喷出气体，能够容易地在喷出部的长边方向上更均匀地喷出气体。此外，在所述长边方向上，在所述第二构件的两端部形成有半分割部，所述半分割部为将所述边界部对半分割的形状。因此，当在长边方向上连接了多个用于除尘装置的喷出部的情况下，通过将喷出部的端部的半分割部彼此连接，能够构成一个边界部。因此，即使当在长边方向上连接了多个用于除尘装置的喷出部的情况下，也能够容易地跨多个喷出部均匀地喷出气体。
[0024]在第三方案中，所述流道的在所述开口端侧的端部比所述倾斜部更靠跟前。根据这样的构成，流过流道的气体在缺口向比倾斜部靠跟前的部分流入。因此，利用倾斜部整体，容易使气体沿着倾斜部流动。
[0025]在第四方案中，所述第二构件的厚度为0.1mm至0.3mm。根据这样的构成，容易跨喷出部的长边方向全长以均匀的宽度形成0.1mm至 0.3mm宽度的狭缝。
[0026]在第五方案中，所述第三构件的厚度为0.8mm至1.2mm，所述流道在所述第三构件的厚度方向上的深度为0.4mm至0.6mm。
[0027]根据上述构成，由于所述第三构件的厚度为0.8mm至1.2mm，所以能够确保作为所
述第三构件的厚度方向上的气体的通道的贯通孔的深度为0.8mm至1.2mm。而且，在所述第三构件的厚度方向上，所述流道的深度为0.4mm至0.6mm，狭缝的宽度为0.1mm至0.3mm。因此，在所述第三构件的厚度方向上能够使气体的通道的深度从贯通孔朝流道、狭缝逐渐地变浅。因此，能够抑制气体的压力损失，并且能够提高从狭缝喷出的气体的流速。
[0028]在第六方案中，在所述长边方向上，相邻的所述缺口的开口端彼此的间隔为0.5mm以下。根据这样的构成，容易进一步缩短形成在狭缝与狭缝之间的不喷出气体的部分的长度。
[0029]在第七方案中，所述第一构件、所述第二构件以及所述第三构件被扩散接合。根据这样的构成，与通过粘合剂等接合所述第一构件、所述第二构件以及所述第三构件的情况相比较，容易通过第二构件的厚度正确地规定第一构件与第三构件的距离亦即狭缝的宽度。
[0030]在第八方案中，在所述第三构件上形成有多个所述贯通孔，所述流道将多个所述贯通孔分别与相同数量的所述缺口连通。
[0031]根据上述构成，在所述第三构件上形成有多个所述贯通孔。因此，即使在缺口(狭缝)的数本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于除尘装置的喷出部，其用于从除尘对象除去灰尘的除尘装置，且喷出对所述除尘对象喷吹的气体，所述用于除尘装置的喷出部具备：第一构件，由金属形成为具有短边方向和长边方向的矩形板状；第二构件，由预定厚度的金属形成为与所述第一构件的形状对应的矩形板状，且跨所述长边方向的全长相邻地形成有在所述短边方向的一端开口的多个缺口；以及第三构件，由金属形成为与所述第一构件的形状对应的矩形板状，且形成有贯通孔，由所述第一构件与所述第三构件夹着所述第二构件而接合成一体，在所述第三构件形成有将所述贯通孔与所述多个缺口连通的流道，在所述多个缺口从开口端开始的预定范围形成有倾斜部，所述倾斜部越接近所述开口端使所述缺口在所述长边方向上的长度越长。2.如权利要求1所述的用于除尘装置的喷出部，其中，在所述第二构件上，作为所述缺口与所述缺口之间的部分的边界部形成为关于中央线轴对称，所述中央线规定所述边界部在所述长边方向上的中央，在所述长边方向上，在所述第二构件的两端部形成有半分割部，所述半分割部为将所述边界部纵向对半分割的形状。3.如权利要求1或2所述的用于除尘装置的喷出部，其中，所述流道的在所述开口端侧的端部比所述倾斜部更靠跟前。4.如权利要求1或2所述的用于除尘装置的喷出部，其中，所述第二构件的厚度为0.1mm至0.3mm。5.如权利要求4所述的用于除尘装置的喷出部，其中，所述第三构件的厚度为0.8mm至1.2mm，所述流道的在所述第三构件的厚度方向上的深度为0.4mm至0.6mm。6.如权利要求1或2所述的用于除尘装置的喷出部，其中，在所述长边方向上，相邻的所述缺口的开...
【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤彰浩，土居广树，纐缬雅之，伊藤秀治，
申请(专利权)人：CKD株式会社，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。