一种离子测试真空转台制造技术

技术编号:35233118 阅读:17 留言:0更新日期:2022-10-15 10:56
本实用新型专利技术公开了一种离子测试真空转台,包括转台本体以及放置槽,所述放置槽开设于转台本体上用于承载硅片,所述放置槽两侧对称设置有滑动调节结构,所述滑动调节结构的一侧设置有限位挡板,所述滑动调节结构上设置有限位锁紧组件,本实用新型专利技术涉及离子检测技术领域,将待检测硅片安放到放置槽内,并利用滑动调节结构对限位挡板的位置进行调节,从而实现对待检测硅片进行限位卡固,调整到位后,利用限位锁紧组件对滑动调节结构进行快速锁定,结构简单,操作方便,可以大大提高硅片更换效率,同时提高检测作业效率,解决了现有技术中,转台装置的支撑单元在调节时需要对多个螺母进行调节,操作较为繁琐,影响测试效率的问题。影响测试效率的问题。影响测试效率的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种离子测试真空转台


[0001]本技术涉及离子检测
,具体为一种离子测试真空转台。

技术介绍

[0002]太阳能电池的制造需要经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜、丝网印刷和烧结测试这七大工序,其中,测试工序中需要使用IV测试仪测试硅片伏安特性曲线,随着光伏行业的不断发展,硅片尺寸规格也越来越多,156/166/210尺寸不断的出现,在测试过程中,就会存在测试不同硅片产品的时候更换一对应规格的真空转台,此过程需要停机,不仅繁琐还浪费时间,不利于生产效率的提高,针对上述问题,申请号为CN202022463508.9的中国专利申请,公开了一种IV测试仪真空转台,在转台主体上设置可移动的支撑单元,根据承载硅片的尺寸,随时调整支撑单元的位置,以满足多种规格硅片的支撑功能,但是该支撑单元在调节时需要对多个螺母进行调节,操作较为繁琐,影响测试效率,鉴于此,针对上述问题深入研究,遂有本案产生.

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足,本技术提供了一种离子测试真空转台,解决了
技术介绍
中所提出的问题。
[0004]为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:一种离子测试真空转台,包括转台本体以及放置槽,所述放置槽开设于转台本体上用于承载硅片,所述放置槽两侧对称设置有滑动调节结构,所述滑动调节结构的一侧设置有限位挡板,所述滑动调节结构上设置有限位锁紧组件,所述滑动调节结构包括:安装座、滑动支撑件以及滑动台,所述安装座设置于放置槽一侧,所述滑动支撑件设置于安装座上,所述滑动台滑动套装于滑动支撑件上,所述滑动台上设置有弹性限位构件,所述弹性限位构件的一端插入到安装座内。
[0005]优选的,所述滑动支撑件包括:导轨以及限位导柱,所述导轨设置于安装座上,所述导轨上均匀设置有限位孔,所述限位导柱对称设置于导轨两侧。
[0006]优选的,所述弹性限位构件包括:限位销、限位环、压缩弹簧以及提手,所述滑动台上对称开设有阶梯孔,所述限位销插装于阶梯孔内且一端插入到限位孔内,所述限位环焊接于限位销上,所述压缩弹簧套装于限位销上且一端与阶梯孔的台阶面固定连接、另一端与限位环相连接,所述提手焊接于限位销上。
[0007]优选的,所述限位锁紧组件包括:锁定销、转动座以及卡爪,所述锁定销均匀设置于安装座侧壁上,所述转动座设置于滑动台侧壁上,所述卡爪一端与转动座相连接、另一端卡入到锁定销上。
[0008]优选的,所述卡爪侧壁上设置有固定钮。
[0009]优选的,所述限位挡板下端面设置有半球型橡胶凸起。
[0010]有益效果
[0011]本技术提供了一种离子测试真空转台。具备以下有益效果:该离子测试真空
转台,对现有的转台本体进行改进,在转台本体上设置有放置槽,放置槽两侧对称设置有滑动调节结构,滑动调节结构上设置有限位锁紧组件,滑动调节结构的另一端设置有限位挡板,使用时,将待检测硅片安放到放置槽内,并利用滑动调节结构对限位挡板的位置进行调节,从而实现对待检测硅片进行限位卡固,调整到位后,利用限位锁紧组件对滑动调节结构进行快速锁定,结构简单,操作方便,可以大大提高硅片更换效率,同时提高检测作业效率,解决了现有技术中,转台装置的支撑单元在调节时需要对多个螺母进行调节,操作较为繁琐,影响测试效率的问题。
附图说明
[0012]图1为本技术所述一种离子测试真空转台的俯视结构示意图。
[0013]图2为本技术所述一种离子测试真空转台的主视剖面结构示意图。
[0014]图3为本技术所述一种离子测试真空转台的局部侧视结构示意图。
[0015]图4为本技术所述一种离子测试真空转台的图3的局部剖视结构示意图。
[0016]图5为本技术所述一种离子测试真空转台的图2的局部放大结构示意图。
[0017]图6为本技术所述一种离子测试真空转台的a位置放大结构示意图。
[0018]图中:1、转台本体;2、放置槽;3、限位挡板;4、安装座;5、滑动台;6、导轨;7、限位导柱;8、限位销;9、限位环;10、压缩弹簧;11、提手;12、锁定销;13、转动座;14、卡爪;15、固定钮;16、橡胶凸起。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0020]通过本领域人员,将本案中所有电气件与其适配的电源通过导线进行连接,并且应该根据实际情况,选择合适的控制器,以满足控制需求,具体连接以及控制顺序,应参考下述工作原理中,各电气件之间先后工作顺序完成电性连接,其详细连接手段,为本领域公知技术,下述主要介绍工作原理以及过程,不在对电气控制做说明。
[0021]请参阅图1

6,本技术提供一种离子测试真空转台:
[0022]实施例:由说明书附图1

6可知,本方案包括转台本体1以及放置槽2,放置槽2开设于转台本体1上用于承载硅片,放置槽2两侧对称设置有滑动调节结构,滑动调节结构的一侧设置有限位挡板3,滑动调节结构上设置有限位锁紧组件,滑动调节结构包括:安装座4、滑动支撑件以及滑动台5,安装座4设置于放置槽2一侧,滑动支撑件设置于安装座4上,滑动台5滑动套装于滑动支撑件上,滑动台5上设置有弹性限位构件,弹性限位构件的一端插入到安装座4内,使用时,将待检测硅片安放到放置槽2内,拉动弹性限位构件解除对滑动块的限制作用,沿滑动支撑件对滑动台5进行滑动控制,进而使得滑动台5一侧的限位挡板3与硅片接触,从而实现对不同尺寸的硅片进行限位锁定,松开弹性限位构件,弹性限位构件复位并将滑动块与滑动支撑件进行限位连接,连接到位后,再利用限位锁紧组件对滑动块进行进一步限位,从而保证后续检测作业的稳定性,结构简单,操作方便。
[0023]在具体实施过程中,上述滑动支撑件包括:导轨6以及限位导柱7,导轨6设置于安装座4上,导轨6上均匀设置有限位孔,限位导柱7对称设置于导轨6两侧,其中弹性限位构件包括:限位销8、限位环9、压缩弹簧10以及提手11,滑动台5上对称开设有阶梯孔,限位销8插装于阶梯孔内且一端插入到限位孔内,限位环9焊接于限位销8上,压缩弹簧10套装于限位销8上且一端与阶梯孔的台阶面固定连接、另一端与限位环9相连接,提手11焊接于限位销8上,使用时,向上拉动提手11,进而使得限位销8上行,从导轨6上的限位孔内抽出,此时压缩弹簧10处于收缩状态,而滑动块可以根据实际的使用需要进行滑动,将滑动块调整到位后,松开提手11,压缩弹簧10对限位销8上的固定环进行顶推,继而将限位销8插入到相应的限位孔内,从而实现对滑动块的限位固定,进而使得滑动块一侧的限位挡板3对硅片进行限位固定,结构简单,操作方便。
[0024]在本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子测试真空转台,包括转台本体(1)以及放置槽(2),其特征在于,所述放置槽(2)开设于转台本体(1)上用于承载硅片,所述放置槽(2)两侧对称设置有滑动调节结构,所述滑动调节结构的一侧设置有限位挡板(3),所述滑动调节结构上设置有限位锁紧组件,所述滑动调节结构包括:安装座(4)、滑动支撑件以及滑动台(5),所述安装座(4)设置于放置槽(2)一侧,所述滑动支撑件设置于安装座(4)上,所述滑动台(5)滑动套装于滑动支撑件上,所述滑动台(5)上设置有弹性限位构件,所述弹性限位构件的一端插入到安装座(4)内。2.根据权利要求1所述的一种离子测试真空转台,其特征在于,所述滑动支撑件包括:导轨(6)以及限位导柱(7),所述导轨(6)设置于安装座(4)上,所述导轨(6)上均匀设置有限位孔,所述限位导柱(7)对称设置于导轨(6)两侧。3.根据权利要求2所述的一种离子测试真空转台,其特征在于,所述弹性限位构件包括:限位销(8)、限...

【专利技术属性】
技术研发人员:王洪泽
申请(专利权)人:沈阳华科真空科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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