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本实用新型公开了一种离子测试真空转台，包括转台本体以及放置槽，所述放置槽开设于转台本体上用于承载硅片，所述放置槽两侧对称设置有滑动调节结构，所述滑动调节结构的一侧设置有限位挡板，所述滑动调节结构上设置有限位锁紧组件，本实用新型涉及离子检测技...
该专利属于沈阳华科真空科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳华科真空科技有限公司授权不得商用。

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