一种TFT-LCD玻璃基板的蒸镀方法技术

本发明专利技术属于蒸镀工艺技术领域，具体涉及一种TFT

【技术实现步骤摘要】
一种TFT
‑
LCD玻璃基板的蒸镀方法


[0001]本专利技术属于蒸镀
，具体涉及一种TFT
‑
LCD玻璃基板的蒸镀方法。

技术介绍

[0002]蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法；蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点；
[0003]现有技术存在的问题：
[0004]传统的TFT
‑
LCD玻璃基板的蒸镀方法，都是对一块玻璃基板上同时进行三种颜色的镀膜工作，此方式，在蒸镀过程中，不同颜色分子之间在撞击玻璃基板表面时会相互影响，相互影响介入，进而导致各颜色覆膜交接处容易出现误差，降低了成品的质量。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是提供一种TFT
‑
LCD玻璃基板的蒸镀方法，能够同时完成三个玻璃基板的蒸镀工作，大大提高工作效率，且解决在传统镀膜方式中不同颜色分子之间的相互影响，尽可能提高成品的质量，还可充分使用材料，降低材料的损耗，最后还可精准地完成玻璃基板的定位安装。
[0006]本专利技术采取的技术方案具体如下：
[0007]一种TFT
‑
LCD玻璃基板的蒸镀方法，具体步骤如下；
[0008]S1：先在像素点分镀台内部边缘嵌入相应的分镀模板，在发光材料固定台的内部边缘嵌入相应的单色有机发光材料板，三种分镀模板则分别对应红、绿、蓝三种单色有机发光材料板，每一块分镀模板均开设有单色蒸镀孔，单色蒸镀孔对应为相应颜色的单色有机发光材料板打在玻璃基板表面的位置；
[0009]S2：利用换料机械臂夹取玻璃基板并将其运输至固定槽内部，启动一侧的两个电机一使双向螺纹杆旋转，此时，该侧两个轮架将相向移动，对应贴合运送轮将沿着移动槽的方向移动，直至贴合运送轮贴合玻璃基板的两侧壁，在启动电机二使两侧的贴合运送轮旋转，最终实现在固定槽内部微调玻璃基板的位置，使玻璃基板调整到正确的蒸镀位置，最终启动气泵对抽气管抽气，将玻璃基板吸附固定在固定槽内部；
[0010]S3：使密封蒸镀室内为真空状态，接着启动激光加热器，激光加热器发出的激光使单色有机发光材料板加热，进而将对应颜色单色有机发光材料板蒸发分解成分子或者原子，这些颗粒透过单色蒸镀孔撞击在玻璃基板的表面，在玻璃基板表面对应的位置形成单色发光薄膜；
[0011]S4：接着启动电机三使齿轮旋转，在齿环与齿轮的啮合传动下使转动蒸镀座旋转，因此各个单色蒸镀孔将会接替更换位置，从而使三种单色有机发光材料板接替运动到一个玻璃基板的下方，紧接着重复S3工作，进而在玻璃基板表面对应的位置形成另一种颜色的发光薄膜；
[0012]S5：在S3的工作中，电机四一同工作，此时转盘将旋转，由于激光加热器底部边缘的伸缩杆连接在转盘边缘的偏移槽体内部，因此转盘在旋转时，激光加热器自身也将同时发生晃动，激光加热器的顶端也将同时做圆周运动，进而增大照射单色有机发光材料板的面积，使单色有机发光材料板能够充分蒸发；
[0013]包括密封蒸镀室；
[0014]所述密封蒸镀室的内部顶端边缘等距固定安装有升降气缸，所述升降气缸的输出端共同固定组装有基板固定台，且所述基板固定台活动设置在所述密封蒸镀室的内部顶端，所述密封蒸镀室的内部底端转动安装有转动蒸镀座，所述转动蒸镀座的上方通过边缘等距设置的支架依次固定组装有发光材料固定台以及像素点分镀台，所述转动蒸镀座的内部等距设置有激光加热台；
[0015]所述密封蒸镀室的外壁等距固定设置有换料管，且三个所述换料管的内部均安装有换料机械臂；
[0016]所述基板固定台的下表面边缘等距开设有固定槽，且三个所述固定槽的位置分别与三个所述换料机械臂的位置相对应，所述固定槽的内部均活动安装有玻璃基板；
[0017]所述发光材料固定台的边缘内部活动组装有单色有机发光材料板，所述像素点分镀台设置在所述发光材料固定台的正上方，所述像素点分镀台的边缘内部均嵌入有分镀模板，且三个所述分镀模板分别设置在三个所述单色有机发光材料板的正上方，所述分镀模板的表面均开设有单色蒸镀孔。
[0018]所述密封蒸镀室的内部一侧固定设置有电机室，所述电机室的内部固定安装有电机三，且所述电机三的输出端固定安装有齿轮。
[0019]所述支架的外壁共同固定设置有齿环，且所述齿环与所述齿轮相啮合。
[0020]所述基板固定台内部位于所述固定槽的上方两端均开设有移动槽，所述基板固定台内部位于所述固定槽的上方均等距开设有吸气孔。
[0021]所述基板固定台上表面位于所述移动槽的一侧均固定设置有转座，所述转座的内部均转动安装有双向螺纹杆，每一个所述双向螺纹杆的一端均组装连接有电机一，所述基板固定台上表面位于所述固定槽的上方两侧均活动设置有轮架，所述双向螺纹杆的两端分别与其相邻的两个所述轮架一端螺纹连接。
[0022]所述轮架的两端内部均转动安装有轮轴，且所述轮轴的上下两端分别连接有皮带轮以及贴合运送轮，所述贴合运送轮活动设置在所述移动槽内部，所述轮架顶端均固定安装有电机二，且所述电机二的输出端与其相邻的所述皮带轮之间通过套设的传动带传动连接。
[0023]所述密封蒸镀室的内部顶端设置有抽气管，所述抽气管一端延伸至所述密封蒸镀室的外部连接有气泵，所述抽气管一侧等距固定连接有支管，且所述支管的末端与所述吸气孔相连接。
[0024]所述激光加热台还包括激光加热器，所述转动蒸镀座的上表面等距固定设置有限定环板，且所述限定环板斜上方通过等距连接的弹簧一连接有槽环管，三个所述激光加热器分别活动贯穿于三个所述限定环板，所述激光加热器的外表面位于所述槽环管的斜上方固定设置有挡环。
[0025]所述槽环管的内壁均固定开设有偏移槽，所述偏移槽的内部活动设置有滑动抵
环，所述滑动抵环活动套设在所述激光加热器的外表面，且所述滑动抵环外壁与所述偏移槽内壁之间等距连接有弹簧二；
[0026]所述限定环板的内径大于所述激光加热器的外径，所述槽环管的最小内径大于所述激光加热器的外径，所述滑动抵环的内径等于所述激光加热器的外径。
[0027]所述激光加热器的底端一侧均固定连接有偏心管，所述偏心管的内部活动插入有伸缩杆，且所述伸缩杆的底端固定设置有限位球体，所述伸缩杆外表面位于所述偏心管的内部套设有弹簧三；
[0028]所述转动蒸镀座内部位于三个所述激光加热器的底部均固定安装有电机四，所述电机四的输出端均固定连接有转盘，所述转盘的一侧固定设置有偏移槽体，且所述伸缩杆贯穿于所述偏移槽体。
[0029]本专利技术取得的技术效果为：
[0030](1)本专利技术，通过设计的基板固定台，提供三个玻璃基板蒸镀的工位，能够在设备运转一周期之后，同时完成三个玻璃基板的蒸镀工作，大大提高工作效率，提升出品率。
[0031](2)本专利技术，不同颜色的发光薄膜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种TFT
‑
LCD玻璃基板的蒸镀方法，其特征在于：具体步骤如下；S1：先在像素点分镀台(8)内部边缘嵌入相应的分镀模板(801)，在发光材料固定台(7)的内部边缘嵌入相应的单色有机发光材料板(701)，三种分镀模板(801)则分别对应红、绿、蓝三种单色有机发光材料板(701)，每一块分镀模板(801)均开设有单色蒸镀孔(802)，单色蒸镀孔(802)对应为相应颜色的单色有机发光材料板(701)打在玻璃基板(11)表面的位置；S2：利用换料机械臂(2)夹取玻璃基板(11)并将其运输至固定槽(301)内部，启动一侧的两个电机一(306)使双向螺纹杆(305)旋转，此时，该侧两个轮架(307)将相向移动，对应贴合运送轮(308)将沿着移动槽(302)的方向移动，直至贴合运送轮(308)贴合玻璃基板(11)的两侧壁，在启动电机二(309)使两侧的贴合运送轮(308)旋转，最终实现在固定槽(301)内部微调玻璃基板(11)的位置，使玻璃基板(11)调整到正确的蒸镀位置，最终启动气泵对抽气管(5)抽气，将玻璃基板(11)吸附固定在固定槽(301)内部；S3：使密封蒸镀室(1)内为真空状态，接着启动激光加热器(1002)，激光加热器(1002)发出的激光使单色有机发光材料板(701)加热，进而将对应颜色单色有机发光材料板(701)蒸发分解成分子或者原子，这些颗粒透过单色蒸镀孔(802)撞击在玻璃基板(11)的表面，在玻璃基板(11)表面对应的位置形成单色发光薄膜；S4：接着启动电机三(9)使齿轮(901)旋转，在齿环(602)与齿轮(901)的啮合传动下使转动蒸镀座(6)旋转，因此各个单色蒸镀孔(802)将会接替更换位置，从而使三种单色有机发光材料板(701)接替运动到一个玻璃基板(11)的下方，紧接着重复S3工作，进而在玻璃基板(11)表面对应的位置形成另一种颜色的发光薄膜；S5：在S3的工作中，电机四(1013)一同工作，此时转盘(1014)将旋转，由于激光加热器(1002)底部边缘的伸缩杆(1010)连接在转盘(1014)边缘的偏移槽体(1015)内部，因此转盘(1014)在旋转时，激光加热器(1002)自身也将同时发生晃动，激光加热器(1002)的顶端也将同时做圆周运动，进而增大照射单色有机发光材料板(701)的面积，使单色有机发光材料板(701)能够充分蒸发；包括密封蒸镀室(1)；所述密封蒸镀室(1)的内部顶端边缘等距固定安装有升降气缸(4)，所述升降气缸(4)的输出端共同固定组装有基板固定台(3)，且所述基板固定台(3)活动设置在所述密封蒸镀室(1)的内部顶端，所述密封蒸镀室(1)的内部底端转动安装有转动蒸镀座(6)，所述转动蒸镀座(6)的上方通过边缘等距设置的支架(601)依次固定组装有发光材料固定台(7)以及像素点分镀台(8)，所述转动蒸镀座(6)的内部等距设置有激光加热台(10)；所述密封蒸镀室(1)的外壁等距固定设置有换料管(101)，且三个所述换料管(101)的内部均安装有换料机械臂(2)；所述基板固定台(3)的下表面边缘等距开设有固定槽(301)，且三个所述固定槽(301)的位置分别与三个所述换料机械臂(2)的位置相对应，所述固定槽(301)的内部均活动安装有玻璃基板(11)；所述发光材料固定台(7)的边缘内部活动组装有单色有机发光材料板(701)，所述像素点分镀台(8)设置在所述发光材料固定台(7)的正上方，所述像素点分镀台(8)的边缘内部均嵌入有分镀模板(801)，且三个所述分镀模板(801)分别设置在三个所述单色有机发光材料板(701)的正上方，所述分镀模板(801)的表面均开设有单色蒸镀孔(802)。
2.根据权利要求1所述的一种TFT
‑
LCD玻璃基板的蒸镀方法，其特征在于：所述密封蒸镀室(1)的内部一侧固定设置有电机室(102)，所述电机室(102)的内部固定安装有电机三(9)，且所述电机三(9)的输出端固定安装有齿轮(901)。3.根据权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李亚斌，
申请(专利权)人：李亚斌，
类型：发明
国别省市：