OHT养护辅助工具制造技术

本实用新型专利技术提供一种OHT养护辅助工具，用于辅助拆卸维修车的承载轨道，其包括：工具本体以及脚轮组件；所述工具本体包括承载台以及多个传动件，多个所述传动件沿所述承载台的轴向间隔排布于所述承载台上；所述传动件用于沿所述承载台的轴向传输待拆卸的维修车的承载轨道；所述承载台用于与待拆卸的维修车的承载轨道的侧壁相抵靠，以限制所述承载轨道沿所述承载台的径向的位置；所述脚轮组件设置于所述工具本体的底部。如此配置，使用者能够通过承载台以及传动件将承载轨道由维修车移动至辅助工具上，提高了养护效率的同时，也增加了整个过程中的安全性。个过程中的安全性。个过程中的安全性。

【技术实现步骤摘要】
OHT养护辅助工具


[0001]本技术涉及半导体制造领域，尤其是一种OHT养护辅助工具。

技术介绍

[0002]随着半导体制造技术的高速发展，12寸(300mm)晶圆半导体工厂已经成为全球半导体行业的主流，相较于8村(200mm)晶圆，12寸晶圆拥有更大的尺寸和重量，人工搬送晶圆载体已经远远无法满足工厂的生产要求，因此AMHS(Automatical Material Handling System，自动物料搬运系统)设备应运而生，在现有的AMHS设备中，OHT(Overhead Hoist Transfer，空中走行式无人搬送车)为主要搬运设备，在OHT的日常养护维护的过程中，需要先把OHT从轨道降至地面维修车上并固定，然后将维修车承载轨道进行移除，才能对OHT的上半部分进行维护，维修车承载轨道的移除需要多人协助搬运，这种作业方式效率低下，且有一定的安全隐患。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种OHT养护辅助工具，以解决现有OHT维护养护效率低，多人协助搬运承载轨道的安全隐患大等问题。
[0004]为了达到上述目的，本技术提供了一种OHT养护辅助工具，用于辅助拆卸维修车的承载轨道，包括：工具本体以及脚轮组件；
[0005]所述工具本体包括承载台以及多个传动件，多个所述传动件沿所述承载台的轴向间隔排布于所述承载台上；所述传动件用于沿所述承载台的轴向传输待拆卸的维修车的承载轨道；
[0006]所述承载台用于与待拆卸的维修车的承载轨道的侧壁相抵靠，以限制所述承载轨道沿所述承载台的径向的位置；
[0007]所述脚轮组件设置于所述工具本体的底部。
[0008]可选的，所述工具本体还包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件位于所述承载台靠近待拆卸的维修车的承载轨道的一端，并与所述承载台可拆卸地连接，用于限制所述承载轨道沿所述承载台的轴向的位置；
[0009]所述第二限位件位于所述承载台远离待拆卸的维修车的承载轨道的一端，并与所述承载台连接，用于限制所述承载轨道沿所述承载台的轴向的位置。
[0010]可选的，所述工具本体还包括两个连接板，所述连接板分别与所述承载台的两端连接，并沿所述承载台的轴向相向设置，所述连接板的顶面用于与所述承载轨道的顶部相抵靠。
[0011]可选的，所述承载台沿所述连接板的侧边的外侧伸出，以允许所述承载轨道沿所述承载台的轴向滑入。
[0012]可选的，所述连接板的顶面在竖直方向上与所述承载台的距离与所述维修车的承载轨道在竖直方向上的长度相适配。
[0013]可选的，所述脚轮组件包括多个滚轮以及用于锁定所述滚轮的第三限位件；
[0014]多个所述滚轮沿所述工具本体的底面均匀分布；
[0015]所述第三限位件的数量与所述滚轮的数量相适配，所述滚轮通过所述第二限位件与所述工具本体的底面连接；所述第三限位件的轴线垂直于所述工具本体的底面，所述滚轮的滚动轴线平行于所述工具本体的底面，所述第三限位件围绕自身轴线可转动。
[0016]可选的，所述工具本体包括两个所述承载台，两个所述承载台平行布置，与两条平行的所述承载轨道相适配，以限制所述承载轨道沿所述承载台的轴向滑脱。
[0017]可选的，所述传动件为滑轮，所述滑轮的转动轴线垂直与承载台的轴向。
[0018]可选的，多个所述传动件沿所述承载台的轴向均匀分布。
[0019]可选的，所述承载台沿水平方向延伸。
[0020]综上所述，在本技术提供的一种OHT养护辅助工具，其用于辅助拆卸维修车的承载轨道，其包括：工具本体以及脚轮组件；所述工具本体包括承载台以及多个传动件，多个所述传动件沿所述承载台的轴向间隔排布于所述承载台上；所述传动件用于沿所述承载台的轴向传输待拆卸的维修车的承载轨道；所述承载台用于与待拆卸的维修车的承载轨道的侧壁相抵靠，以限制所述承载轨道沿所述承载台的径向的位置；所述脚轮组件设置于所述工具本体的底部。
[0021]如此配置，使用者能够通过沿承载台的轴向间隔排布的传动件，将承载轨道从维修车移动至承载台上，传动件的设置减小了移动过程中承载轨道与承载台之间的摩擦力，有效提高了养护效率；同时，位于工具本体的底部的脚轮组件使得整个工具能够移动至合适的地方，避免了多人协助搬运承载轨道的步骤，提升了整个过程的安全性能。
附图说明
[0022]图1是本技术实施例的OHT养护辅助工具的示意图；
[0023]图2是本技术实施例的OHT维修车的示意图；
[0024]图3是本技术实施例的OHT养护辅助工具辅助移除维修车承载轨道的示意图。
[0025]其中，附图标记为：
[0026]10
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工具本体；20
‑
脚轮组件；30
‑
承载轨道；40
‑
自动化小车；50
‑
维修车；101
‑
承载台；102
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传动件；103
‑
第一限位件；104
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第二限位件；105
‑
连接板；201
‑
滚轮；202
‑
第三限位件。
具体实施方式
[0027]为使本技术的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
[0028]如在本说明书中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要
性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征，“一端”与“另一端”以及“近端”与“远端”通常是指相对应的两部分，其不仅包括端点，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。此外，如在本说明书中所使用的，一元件设置于另一元件，通常仅表示两元件之间存在连接、耦合、配合或传动关系，且两元件之间可以是直接的或通过中间元件间接的连接、耦合、配合或传动，而不能理解为指示或暗示两元件之间的空间位置关系，即一元件可以在另一元件的内部、外部、上方、下方或一侧等任意方位，除非内容另外明确指出外。术语“上”、“下”、“顶”、“底”通常是按重力方向进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种OHT养护辅助工具，用于辅助拆卸维修车的承载轨道，其特征在于，包括：工具本体以及脚轮组件；所述工具本体包括承载台以及多个传动件，多个所述传动件沿所述承载台的轴向间隔排布于所述承载台上；所述传动件用于沿所述承载台的轴向传输待拆卸的维修车的承载轨道；所述承载台用于与待拆卸的维修车的承载轨道的侧壁相抵靠，以限制所述承载轨道沿所述承载台的径向的位置；所述脚轮组件设置于所述工具本体的底部。2.如权利要求1所述的OHT养护辅助工具，其特征在于，所述工具本体还包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件位于所述承载台靠近待拆卸的维修车的承载轨道的一端，并与所述承载台可拆卸地连接，用于限制所述承载轨道沿所述承载台的轴向的位置；所述第二限位件位于所述承载台远离待拆卸的维修车的承载轨道的一端，并与所述承载台连接，用于限制所述承载轨道沿所述承载台的轴向的位置。3.如权利要求1所述的OHT养护辅助工具，其特征在于，所述工具本体还包括两个连接板，所述连接板分别与所述承载台的两端连接，并沿所述承载台的轴向相向设置，所述连接板的顶面用于与所述承载轨道的顶部相抵靠。4.如权利要求3所述的OHT养护辅助工具，其特征在于，所述承载台沿所述连接板的侧边的外侧伸出，...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡能，李佰干，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：