本申请实施例的目的是提供一种读片装置。本申请实施例的读片装置包括外壳、底座、激光传感装置、驱动装置、丝杠、控制装置和电源；其中，所述读片装置的外壳上标有指示信息和指示灯；所述指示信息用于指示各个槽位，所述指示灯用于指示相应的槽位是否有晶圆；其中，所述激光传感装置用于感应晶圆的位置，并且所述激光传感设置在驱动装置上，从而跟随驱动装置一起沿着丝杠移动。本申请实施例具有以下优点：通过传感装置来识别晶盒内晶圆的位置，体积较小，便携易用；并且，根据本申请实施例的读片装置的底座高度可调节，从而可适用于多种规格的晶盒。晶盒。晶盒。
【技术实现步骤摘要】
一种读片装置和使用读片装置的方法
[0001]本专利技术涉及半导体领域，尤其涉及一种读片装置和使用该读片装置的方法。
技术介绍
[0002]晶圆存储和传送的最小单位是“盒”(或者“批”)，一盒晶圆一般有25片。由于各种原因，比如某些晶圆被报废或被分出去另做实验等，一盒晶圆不是满批的25片，即并非晶盒的所有槽位都有晶圆。然而，基于现有技术的方案，一般需要以人工的方式来判断晶盒的哪些槽位有晶圆。并且，现有的读片设备集成在大型机台上，位置固定，使用效率低。
技术实现思路
[0003]本申请实施例的目的是提供一种读片装置和使用读片装置的方法。
[0004]本申请实施例提供了一种读片装置，其特征在于，所述读片装置包括外壳、底座、激光传感装置、驱动装置、丝杠、控制装置和电源；其中，所述读片装置的外壳上标有指示信息和指示灯；所述指示信息用于指示各个槽位，所述指示灯用于指示相应的槽位是否有晶圆；其中，所述激光传感装置用于感应晶圆的位置，并且所述激光传感设置在驱动装置上，从而跟随驱动装置一起沿着丝杠移动。
[0005]根据一个实施例，所述底座的高度是可调整的。
[0006]根据一个实施例，所述外壳采用轻型材料，底座采用高密度材料。
[0007]本申请实施例提供了一种使用根据本实施例的读片装置的方法，其中，所述方法包括：
[0008]指示刻度与晶盒的槽位对准后，启动读片装置，使得激光传感装置在驱动装置和丝杠的作用下上下移动来进行扫描；
[0009]扫描数据由激光传感装置传输至控制装置；
[0010]控制装置基于所述扫描数据进行计算，得到相应的结果信息，其中，所述结果信息用于指示晶圆所处的槽位；
[0011]控制装置基于所述结果信息，使得有晶圆的槽位对应的指示灯亮起。
[0012]与现有技术相比，本申请实施例具有以下优点：根据本申请实施例的读片装置通过传感装置来识别晶盒内晶圆的位置，体积较小，便携易用；并且，根据本申请实施例的读片装置的底座高度可调节，从而可适用于多种规格的晶盒。
附图说明
[0013]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0014]图1(a)示出了根据本申请实施例的一个示例性的读片装置的结构示意图；
[0015]图1(b)示出了根据本申请实施例的一个示例性的读片装置的结构示意图；
[0016]图2示出了根据本申请实施例的使用读片装置的方法流程图。
[0017]附图中相同或相似的附图标记代表相同或相似的部件。
具体实施方式
[0018]根据本申请实施例的读片装置可作为单独的用于晶圆存储和读片的设备，或者，根据本申请实施例的读片装置可外接于其他没有读片功能的设备。
[0019]根据本申请实施例的读片装置包括外壳、底座、激光传感装置、驱动装置、丝杠、控制装置和电源。
[0020]其中，所述读片装置的外壳上标有指示信息和指示灯。
[0021]其后在那个，所述指示信息用于指示晶盒的各个槽位，所述指示灯用于指示相应的槽位是否有晶圆。
[0022]其中，所述指示信息包括各种可标识各个槽位的信息，例如，数字或文字等。
[0023]根据一个实施例，所述指示信息为指示刻度，每个指示刻度分别对应于一个指示灯，指示灯亮起则表示相应指示刻度所指示的槽位有晶圆。
[0024]其中，所述激光传感装置用于感应晶圆的位置，并且所述激光传感设置在驱动装置上，从而跟随驱动装置一起沿着丝杠移动。
[0025]其中，所述控制装置包括各种可用于处理激光传感装置的数据的装置。优选地，控制装置为控制板。
[0026]根据一个实施例，所述底座的高度是可调整的。
[0027]根据一个实施例，所述外壳采用轻型材料，底座采用高密度材料。
[0028]下面结合附图对本专利技术作进一步详细描述。
[0029]图1(a)和图1(b)示出了根据本申请实施例的一个示例性的读片装置的结构示意图。
[0030]其中，图1(a)为正面图，图1(b)为侧视图。
[0031]图1(a)和图1(b)中的各个附图标记及其所对应的部件表示如下：
[0032]101：外壳；
[0033]102：底座；
[0034]103：激光传感器；
[0035]104：驱动器；
[0036]105：丝杠；
[0037]106：控制板；
[0038]107：电源；
[0039]108：指示刻度；
[0040]109：指示灯；
[0041]110：启动按钮；
[0042]参照图1(a)和图1(b)，根据本实施例的读片器包括外壳101、底座102、激光传感器103、驱动器104、丝杠105、控制版106和电源107。
[0043]其中，根据本实施例的读片器的外壳101上标有指示刻度108和指示灯109。
[0044]其中，指示刻度108包含1至25的数字，用于指示晶盒的25个槽位。指示灯109亮起则表示相应数字指示的槽位有晶圆。如图1(a)所示，指示刻度6、14和23对应的指示灯亮起，
表示这三个槽位有晶圆。
[0045]其中，底座102的高度是可调节的。
[0046]其中，所述外壳101顶部设有启动按钮110。
[0047]其中，外壳101采用轻型材料，底座102采用高密度材料
[0048]其中，激光传感器103用于感应晶圆的位置，并且激光传感器103在驱动器104上，从而跟随驱动器104一起沿着丝杠105移动。
[0049]需要说明的是，上述举例仅为更好地说明本专利技术的技术方案，而非对本专利技术的限制，本领域技术人员应该理解，任何根据本申请实施例的读片装置的实现方式，均应包含在本专利技术的范围内。
[0050]根据本申请实施例的读片装置通过传感装置来识别晶盒内晶圆的位置，体积较小，便携易用；并且，根据本申请实施例的读片装置的底座高度可调节，从而可适用于多种规格的晶盒。
[0051]图2示出了根据本申请实施例的使用读片装置的方法流程图。
[0052]根据本申请实施例的方法包括步骤S1、步骤S2、步骤S3和步骤S4。
[0053]参照图2，在步骤S1中，指示刻度与晶盒的槽位对准后，启动读片装置，使得激光传感装置在驱动装置和丝杠的作用下上下移动来进行扫描。
[0054]在步骤S2中，扫描数据由激光传感装置传输至控制装置。
[0055]其中，扫描数据包括激光传感装置中产生的各种感应数据。
[0056]在步骤S3中，控制装置基于所述扫描数据进行计算，得到相应的结果信息。其中，所述结果信息用于指示晶圆所处的槽位。
[0057]根据一个实施例，所述结果信息用于指示晶盒内的晶圆的数量以及每个晶圆对应的槽位。
[0058]需要说明的是，本领域应熟悉本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种读片装置，其特征在于，所述读片装置包括外壳、底座、激光传感装置、驱动装置、丝杠、控制装置和电源；其中，所述读片装置的外壳上标有指示信息和指示灯；所述指示信息用于指示各个槽位，所述指示灯用于指示相应的槽位是否有晶圆；其中，所述激光传感装置用于感应晶圆的位置，并且所述激光传感设置在驱动装置上，从而跟随驱动装置一起沿着丝杠移动。2.根据权利要求1所述的读片装置，其特征在于，所述底座的高度是可调整的。3.根据权利要求1所述的读片装置，其特征在于，所述外壳采用轻型材料，底座采用高密度材料。4...
【专利技术属性】
技术研发人员：李晓辉，马麟，
申请(专利权)人：睿励科学仪器上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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