一种隧道式石墨化炉及具有其的石墨毡生产系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种隧道式石墨化炉，包括：石墨化炉本体，所述石墨化炉本体内部设有隧道式的炉膛，所述炉膛内部设有加热组件、传送组件和保温层；所述加热组件设置在传送组件的上下两侧，加热组件用于实现碳毡在炉膛内加热；所述传送组件用于辅助碳毡在炉膛内传送；所述保温层设置在炉膛顶部和底部，用于实现炉膛内部保温。本实用新型专利技术还公开了包含上述隧道式石墨化炉的石墨毡生产系统。本实用新型专利技术具有结构紧凑、生产效率高、热能利用率高且自动化程度高等优点，实现了碳毡在炉膛内部边传送边加热，提高了碳毡的受热均匀性，增强了石墨化效果，有效确保了产品的质量稳定性。有效确保了产品的质量稳定性。有效确保了产品的质量稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种隧道式石墨化炉及具有其的石墨毡生产系统


[0001]本技术属于石墨毡制造设备
，具体涉及一种隧道式石墨化炉及具有其的石墨毡生产系统。

技术介绍

[0002]碳毡是将硬毡经过石墨化制成，它具有质轻、扰性好、炭含量高、耐高温、高温无挥发、耐腐蚀、导热系数小等性能，并有高度的形状保持性，特别适用于半导体的特种材料。碳毡既是高温真空炉(特别适用于单晶炉)的优良保温材料，也是抗腐蚀的过滤材料。
[0003]现有的碳毡生产方式是将碳化后的碳毡装入石墨化炉中，升温到2000℃～3300℃，保温一定时间后降温至室温。为了达到2000℃～3300℃的高温，需要利用电磁感应圈对石墨化炉进行加热，从而达到预设温度。因为炉内的温度会达到2000℃～3300℃，从石墨化炉到外部的热传导会非常剧烈，直到供应的能量和扩散出去的热量达到平衡，才能形成稳定的升温和保温。但由于在电磁感应圈和炉体之间存在很大的空间，加热能耗较大且影响保温效果，结果导致石墨化炉内部的温度分布差异变大，造成产品的质量稳定性差。此外，碳毡放入石墨化炉内的方式为静置式，存在部分位置受热不均，影响石墨化效果的问题。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑、生产效率高、热能利用率高且自动化程度高的隧道式石墨化炉及具有其的石墨毡生产系统。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0006]一种隧道式石墨化炉，包括：石墨化炉本体，所述石墨化炉本体内部设有隧道式的炉膛，所述炉膛内部设有加热组件、传送组件和保温层；所述加热组件设置在传送组件的上下两侧，加热组件用于实现碳毡在炉膛内加热；所述传送组件用于辅助碳毡在炉膛内传送；所述保温层设置在炉膛顶部和底部，用于实现炉膛内部保温。
[0007]作为本技术的进一步改进，所述加热组件包括假电极、真电极和发热体，所述发热体的两端分别与假电极和真电极连接，多根发热体均布在传送组件的上下两侧，用于实现碳毡在炉膛内加热。
[0008]作为本技术的进一步改进，所述假电极包括假石墨电极、不锈钢电极和冷却水管；所述假石墨电极的一端与发热体连接，假石墨电极的另一端与铜电极连接；所述冷却水管环绕在铜电极外侧。
[0009]作为本技术的进一步改进，所述真电极包括真石墨电极、铜电极和冷却水管；所述真石墨电极的一端与发热体连接，真石墨电极的另一端与铜电极连接；所述冷却水管环绕在铜电极外侧。
[0010]作为本技术的进一步改进，所述传送组件包括导轨和导轨条，所述导轨的两侧均设有导轨条，所述导轨条用于辅助碳毡在导轨进行定位，所述碳毡在导轨上滑动传送，并带走导轨上沉积的杂质。
[0011]作为本技术的进一步改进，所述传送组件还包括支撑块和石墨立柱，所述石墨立柱的底端设置在保温层上，石墨立柱的顶端设有支撑块，所述支撑块用于支撑导轨和导轨条。
[0012]作为本技术的进一步改进，所述保温层采用陶瓷纤维、保温砖、碳毡、石墨箔或碳
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碳复合材料中的任意一种制备得到。
[0013]作为本技术的进一步改进，还包括支撑底架，所述支撑底架设置在石墨化炉本体底部，用于支撑石墨化炉本体。
[0014]作为本技术的进一步改进，所述支撑底架底部设有调节组件，所述调节组件用于实现石墨化炉本体调平。
[0015]作为一个总的技术构思，本技术还提供了一种石墨毡生产系统，包括碳化炉以及上述的隧道式石墨化炉。
[0016]与现有技术相比，本技术的优点在于：
[0017]1、本技术的隧道式石墨化炉，通过采用隧道式的炉膛结构，便于碳毡进出石墨化炉；通过在炉膛内部设置了加热组件、传送组件和保温层，并利用设置在炉膛底部和顶部的保温层确保了炉膛内部保持在较佳的反应温度范围内，同时还将加热组件设置在传送组件的上下两侧，实现了碳毡在炉膛内边传送边加热，既实现了碳毡的动态传送，又确保了碳毡受热均匀，显著提高了碳毡石墨化的效果，有效确保了最终所获得的石墨毡的产品质量。
[0018]2、本技术的隧道式石墨化炉，通过在加热组件中设置石墨电极进行加热，可以将炉膛内温度加热到2200℃，实现了炉膛内部稳定升温的同时也提高了炉膛内部温度分布的均匀性，且电极的铜电极内采用水冷降温的方式，有效防止了铜电极内温度过高而产生不良影响；通过在传送组件中设置了导轨，并且在导轨两侧设置了导轨条，利用导轨条对碳毡在导轨上的传送路径进行辅助定位，避免碳毡发生偏移，实现了碳毡在炉膛内稳定滑动传送；与此同时，碳毡靠自身的清扫功能将产生的灰粉类杂质从导轨上带出炉外，避免了灰粉接触石墨电极而短路，增强了石墨化炉的运行稳定性，延长了石墨化炉的使用寿命，也显著提高了最终所获得的石墨毡的产品质量。
[0019]3、本技术的石墨毡生产系统，通过设置了上述的隧道式石墨化炉，因而具有同样的技术效果，提高了石墨毡的生产效率，同时也大大降低了能耗。
附图说明
[0020]图1为本技术隧道式石墨化炉的立体结构原理示意图。
[0021]图2为本技术隧道式石墨化炉的主视结构原理示意图。
[0022]图3为图2中A
‑
A向的剖视结构原理示意图。
[0023]图4为本技术中加热组件的结构原理示意图。
[0024]图5为本技术中加热组件的剖视结构原理示意图。
[0025]图6为本技术中传送组件的结构原理示意图。
[0026]图例说明：1、隧道式石墨化炉；11、石墨化炉本体；12、加热组件；121、假电极；1211、假石墨电极；122、真电极；1221、真石墨电极；123、发热体；124、冷却水管；125、铜电极；13、支撑底架；14、传送组件；141、导轨；142、导轨条；143、支撑块；144、石墨立柱；15、保
温层；2、碳毡。
具体实施方式
[0027]以下结合说明书附图和具体优选的实施例对本技术作进一步描述，但并不因此而限制本技术的保护范围。
[0028]实施例
[0029]如图1至图6所示，本技术的隧道式石墨化炉，包括：石墨化炉本体11，石墨化炉本体11内部设有两端开口的隧道式的炉膛，炉膛内部设有加热组件12、传送组件14和保温层15。加热组件12设置在传送组件14的上下两侧，加热组件12用于实现炉膛内的温度升高至预设的反应温度，并实现碳毡2在炉膛内均匀加热。传送组件14用于辅助碳毡2在炉膛内滑动传送。保温层15设置在炉膛顶部和底部，用于实现炉膛内部保温，防止炉膛内温度散失。
[0030]本实施例中，通过采用隧道式的炉膛结构，便于碳毡进出石墨化炉。通过在炉膛内部设置了加热组件12、传送组件14和保温层15，并利用设置在炉膛底部和顶部的保温层15确保了炉膛内部保持在较佳的反应温度范围内，同时还将加热组件12设置在传送组件14的上下两侧，实现了碳毡2在炉膛本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种隧道式石墨化炉，其特征在于，包括：石墨化炉本体(11)，所述石墨化炉本体(11)内部设有隧道式的炉膛，所述炉膛内部设有加热组件(12)、传送组件(14)和保温层(15)；所述加热组件(12)设置在传送组件(14)的上下两侧，加热组件(12)用于实现碳毡(2)在炉膛内加热；所述传送组件(14)用于辅助碳毡(2)在炉膛内传送；所述保温层(15)设置在炉膛顶部和底部，用于实现炉膛内部保温。2.根据权利要求1所述的隧道式石墨化炉，其特征在于，所述加热组件(12)包括假电极(121)、真电极(122)和发热体(123)，所述发热体(123)的两端分别与假电极(121)和真电极(122)连接，多根发热体(123)均布在传送组件(14)的上下两侧，用于实现碳毡(2)在炉膛内加热。3.根据权利要求2所述的隧道式石墨化炉，其特征在于，所述假电极(121)包括假石墨电极(1211)、冷却水管(124)和铜电极(125)；所述假石墨电极(1211)的一端与发热体(123)连接，假石墨电极(1211)的另一端与铜电极(125)连接；所述冷却水管(124)环绕在铜电极(125)外侧。4.根据权利要求2所述的隧道式石墨化炉，其特征在于，所述真电极(122)包括真石墨电极(1221)、冷却水管(124)和铜电极(125)；所述真石墨电极(1221)的一端与发热体(123)连接，真石墨电极(1221)的另一端与铜电极(125)连接；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：程继发，瞿海斌，蒋益民，王建业，周嘉豪，
申请(专利权)人：湖南烁科热工智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：