一种用于大型卧式沉积炉的充气系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于大型卧式沉积炉的充气系统，包括若干用于通入工艺气体第一管路以及至少一根用于通入惰性气体的第二管路，第一管路和第二管路上设有第一流量计，第二管路包括若干分支管路，所述分支管路与第一管路数量相同，所述分支管路上设有第二流量计，每根分支管路的出气端与每根第一管路的出气端合并形成用于通入炉体的第三管路。本实用新型专利技术具有能提高沉积效率、节约工艺气体用量、提高沉积均匀性等优点。提高沉积均匀性等优点。提高沉积均匀性等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种用于大型卧式沉积炉的充气系统


[0001]本技术主要涉及气相沉积
，特指一种用于大型卧式沉积炉的充气系统。

技术介绍

[0002]气相沉积是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，进而制得固体材料的工艺技术。气相沉积是碳材料生产的重要工艺环节，气相沉积炉的功能就是把碳纤维编织件置于1120℃环境内，然后通入甲烷或丙烷气体，气体高温下裂出H2和C原子，游离C原子沉积在碳纤维编织物空隙内形成碳/碳复合材料。现有的沉积炉大多都是1柱物料，其充气系统是甲烷或丙烷气体、惰性气体经单个气路通过混合罐混合之后通入炉体内部，但是这种方式工艺气体和惰性气体的配比不可控，且沉积时间达到150h～200h，用电量大，生产效率低。

技术实现思路

[0003]针对现有技术存在的技术问题，本技术提供了一种能提高沉积效率、节约工艺气体用量、提高沉积均匀性的用于大型卧式沉积炉的充气系统。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0005]一种用于大型卧式沉积炉的充气系统，包括若干用于通入工艺气体的第一管路以及至少一根用于通入惰性气体的第二管路，所述第一管路和第二管路上均设有第一流量计，所述第二管路包括若干分支管路，所述分支管路与第一管路的数量相同，所述分支管路上设有第二流量计，所述分支管路的出气端与第一管路的出气端合并形成用于通入炉体的第三管路。
[0006]作为本技术的进一步改进：所述第一管路的进气端设有过滤器。
[0007]作为本技术的进一步改进：所述第一管路上还设有隔膜阀。
[0008]作为本技术的进一步改进：所述第二管路的进气端设有过滤器。
[0009]作为本技术的进一步改进：所述第二管路上还设有隔膜阀。
[0010]作为本技术的进一步改进：所述第一流量计为质量控制流量计。
[0011]作为本技术的进一步改进：所述第二流量计为玻璃浮子流量计。
[0012]作为本技术的进一步改进：所述第一管路、第二管路和/或第三管路为不锈钢管路。
[0013]作为本技术的进一步改进：所述第一管路设有8根。
[0014]与现有技术相比，本技术的优点在于：
[0015]本技术的用于大型卧式沉积炉的充气系统，包括多根用于通入工艺气体第一管路以及至少一根用于通入惰性气体的第二管路，第二管路包括若干分支管路，分支管路的出气端与第一管路的出气端合并形成用于通入炉体的第三管路；通过第一流量计可以实时控制第一管路内通入的工艺气体的流量，通过第二流量计可以控制通入的惰性气体的流
量，针对沉积次数不同的产品，可根据产品碳的吸收量不同调整工艺气体的不同流量，避免工艺气体浪费，还能避免真空管道的堵塞，通过多根管路同时通入工艺气体对产品进行碳沉积，能提高气体沉积效率，同时能提升产品沉积的均匀性。
附图说明
[0016]图1为本技术的原理图。
[0017]图2为本技术在具体实施例中的主视图。
[0018]图3为本技术在具体实施例中的侧视图。
[0019]图例说明：
[0020]1、第一管路；2、第二管路；21、分支管路；3、第一流量计；4、第二流量计；5、第三管路；6、过滤器；7、隔膜阀。
具体实施方式
[0021]以下结合说明书附图和具体优选的实施例对本技术作进一步描述，但并不因此而限制本技术的保护范围。
[0022]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“侧部”、“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0023]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，在本专利技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0024]以下将结合说明书附图和具体实施例对本技术做进一步详细说明。
[0025]如图1至图3所示，本实施例公开了一种用于大型卧式沉积炉的充气系统，包括若干用于通入工艺气体的第一管路1以及至少一根用于通入惰性气体的第二管路2，第一管路1和第二管路2上均设有第一流量计3，第二管路2包括若干分支管路21，分支管路21与第一管路1的数量相同，分支管路21上设有第二流量计4，分支管路21的出气端与第一管路1的出气端合并形成用于通入炉体的第三管路5。
[0026]本实施例的用于大型卧式沉积炉的充气系统，通过第一流量计3可以实时控制第一管路1内通入的工艺气体的流量，通过第二流量计4可以控制通入的惰性气体的流量，针对沉积次数不同的产品，可根据产品碳的吸收量不同调整工艺气体的不同流量，避免工艺气体浪费，也能避免真空管道的堵塞，通过多根管路同时通入工艺气体对产品进行碳沉积，能提高气体沉积效率，同时能提升产品沉积的均匀性。
[0027]本实施例中，第一管路1上沿进气端依次设有过滤器6、隔膜阀7、第一流量计3(如质量控制流量计)，通过过滤器6对通入的工艺气体(如甲烷或丙烷气体)的进行过滤，提高工艺气体的纯净度；通过隔膜阀7实现对工艺气体的通断，通过第一流量计3可精准调节工
艺气体的进气流量，可根据产品沉积次数的不同或者产品碳的吸收不同调节工艺气体的不同流量，避免工艺气体的浪费，同时也避免了真空管道的堵塞。
[0028]本实施例中，第二管路2上沿进气端依次设有过滤器6、隔膜阀7、第一流量计3(如质量控制流量计)，通过过滤器6对通入的惰性气体(如氮气)进行过滤，提高惰性气体的纯净度；通过隔膜阀7实现对惰性气体的通断，通过第一流量计3可精准调节惰性气体的进气总流量，且分支管路21上设有第二流量计4，第二流量计4为玻璃浮子流量计，通过玻璃浮子流量计可以实现手动调节每条分支管路21上的氮气的流量。
[0029]本实施例中，第一管路1、第二管路2和/或第三管路5为不锈钢管路。
[0030]工作原理：以第一管路1设有8根为例，工艺气体(如甲烷或丙烷)从8根第一管路1中流入，经过过滤器6进行过滤，再依次经过隔膜阀7和质量控制流量计；惰性气体(如氮气)从第二管路2流入，再分成8根分支管路21，依次经过玻璃浮子流量计后与工艺气体合并形成第三管路5充入沉积炉体内，通过质量控制流量计可以调节工艺气体的进气量，通过玻璃浮子流量计可以调节每根分支管路21内惰性气体的进气量，以满足不同产品碳沉积量的需求。
[003本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于大型卧式沉积炉的充气系统，其特征在于，包括若干用于通入工艺气体的第一管路(1)以及至少一根用于通入惰性气体的第二管路(2)，所述第一管路(1)和第二管路(2)上均设有第一流量计(3)，所述第二管路(2)包括若干分支管路(21)，所述分支管路(21)与第一管路(1)的数量相同，所述分支管路(21)上设有第二流量计(4)，所述分支管路(21)的出气端与第一管路(1)的出气端合并形成用于通入炉体的第三管路(5)。2.根据权利要求1所述的用于大型卧式沉积炉的充气系统，其特征在于，所述第一管路(1)的进气端设有过滤器(6)。3.根据权利要求2所述的用于大型卧式沉积炉的充气系统，其特征在于，所述第一管路(1)上还设有隔膜阀(7)。4.根据权利要求1所述的用于大型卧式沉...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎煜，瞿海斌，蒋益民，贾洪振，谭晓松，李松，程继发，贺灿，
申请(专利权)人：湖南烁科热工智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：