本发明专利技术涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种摆动调节装置及具有其的芯片测试机。一种摆动调节装置，适于芯片测试机或测试平台，包括：接收块，设有接收面、以及轴线垂直接收面的接收器；摆动结构，包括第一调节座和第二调节座，第一调节座设有弧形导轨或导槽、第二调节座设有导槽或弧形导轨，第一调节座和第二调节座通过弧形导轨和导槽滑动连接，第一调节座和第二调节座间设有连接块，第一调节座设有第一旋紧件，第一旋紧件与连接块抵接，第二调节座上设有接收块，驱动第二调节座相对第一调节座摆动，旋紧第一旋紧件，使接收面与芯片正光端横截面平行。本发明专利技术解决接收块因误差导致接收块安装光纤(或PD)接收面与正光端横截面无法平行。行。行。
【技术实现步骤摘要】
一种摆动调节装置及具有其的芯片测试机
[0001]本专利技术涉及晶圆生产
，具体涉及一种摆动调节装置及具有其的芯片测试机。
技术介绍
[0002]芯片生产过程中，裂片机通过解理技术将Wafer(中文名为晶圆)裂片为一根根Bar条，或是将单根Bar条裂解为一颗颗chip(中文名为芯片)。具体的，Bar条可以看做为多个chip并排形成的单条，称之为一个Bar。
[0003]在生产为单颗芯片前，厂家会用芯片测试机检测Bar条上排列的单颗芯片的性能。测试过程中，芯片测试机的测试平台上设置的探针通电后接通设于芯片上的通电端进行通电，芯片内会出现发光条，发光条的两端发出光信号，再由光纤(接收光信号)或PD(将接收到的光信号转换为电信号)接收光信号，根据光信号判断是否符合标准。
[0004]近些年，随着高速率/大功率芯片的出现，出现了带有倾斜角度光波导的特殊芯片(如：带有SOA放大功能的拐向光波导芯片)，发光条两端发出的光信号的角度会发生变化(背光端仍为垂直光波导，而正光端设计成带有固定角度的光波导)，这就需要芯片测试机上的光纤或PD的角度应随着光信号的角度的变化而变化。现有芯片测试机生产过程中，由于加工精度、安装中存在的误差，安装光纤或PD的接收块、测试平台分别与水平面存在不同的夹角，即，导致接收块上安装光纤(或PD)的接收面与正光端的横截面无法平行设置，从而使得光纤或PD无法有效接收光信号，使得检测结果存在误差。
技术实现思路
[0005]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的接收块因加工和安装误差导致接收块上安装光纤(或PD)的接收面与正光端的横截面无法平行设置，使得光纤或PD无法有效接收光信号，从而提供一种摆动调节装置及具有其的芯片测试机。
[0006]为了解决上述问题，本专利技术提供了一种摆动调节装置，包括：
[0007]接收块，所述接收块设有接收面、以及轴线垂直于所述接收面的接收器；
[0008]摆动结构，所述摆动结构包括第一调节座和第二调节座，所述第一调节座设有弧形导轨或导槽、所述第二调节座设有导槽或弧形导轨，所述第一调节座和第二调节座间通过弧形导轨和导槽滑动连接，所述第一调节座和第二调节座间设有连接块，所述第一调节座上设有第一旋紧件，第一旋紧件与连接块抵接设置，所述第二调节座上设有所述接收块，驱动所述第二调节座相对所述第一调节座摆动至预定位置，旋紧第一旋紧件使第一调节座和第二调节座固定，以使所述接收面与待检测芯片的正光端的横截面平行。
[0009]可选地，所述第一调节座包括穿设在所述弧形导轨或导槽中的调节杆，所述调节杆设有转动手柄和螺杆端，所述第二调节座朝向第一调节座的端面上设置有调节端，所述螺杆端与所述调节端啮合设置，转动所述转动手柄，所述调节端相对所述螺杆端运动。
[0010]可选地，所述连接块为弧形设置。
[0011]可选地，所述接收器为PD接收器或光纤接收器，所述光纤接收器连接有光谱仪、所述PD接收器连接有信号放大采集板。
[0012]可选地，还包括转动结构，所述转动结构沿高度方向自下而上依次设有转动座、第一转动盘和第二转动盘，所述第一转动盘和第二转动盘转动连接、所述第一转动盘与转动座转动连接，所述转动座与所述第二调节座固定连接，所述接收块设于所述第二转动盘上。
[0013]可选地，所述第一转动盘和第二转动盘间设有轴承，所述第一转动盘的固定端上转动设有第二旋紧件，所述第二旋紧件与第二转动盘抵接。
[0014]可选地，所述转动座内设有滑槽，所述滑槽内露出有至少三颗滚珠，所述第一转动盘与滚珠点接触，所述转动座的微调端设有角度调节件，所述第一转动盘上设有角度调节杆，所述角度调节件与所述角度调节杆抵接。
[0015]可选地，还包括沿高度方向自下而上依次设置的高度调节座、第一水平调节板、第二水平调节板，所述高度调节座设于第二转动盘上，且设有高度调节件，所述第一水平调节板上设有第一水平调节件，所述第二水平调节板上设有第二水平调节件，所述第一水平调节件的轴线与第二水平调节件的轴线垂直设置，所述接收块固定设于所述第二水平调节板上。
[0016]一种芯片测试机，包括上述的摆动调节装置，还包括底板，所述底板上设有所述摆动调节装置。
[0017]可选地，还包括测试平台，所述测试平台上放置有待检测Bar条，以及与所述待检测Bar条对应设置的探针结构。
[0018]本专利技术技术方案，具有如下优点：
[0019]1.本专利技术提供的摆动调节装置，包括：接收块，设有接收面、以及轴线垂直于接收面的接收器；摆动结构，设有第一调节座和第二调节座，第一调节座设有弧形导轨或导槽，第二调节座设有导槽或弧形导轨，第一调节座和第二调节座通过弧形导轨和导槽滑动连接，第一调节座和第二调节座间设有连接块，第一调节座上设有旋紧件，第一旋紧件和连接块抵接设置，第二调节座上设有接收块，驱动第二调节座相对第一调节座摆动至预定位置，旋紧第一旋紧件使第一调节座和第二调节座固定，以使接收面与待检测芯片的正光端的横截面平行。第一调节座和第二调节座通过弧形导轨和导槽滑动连接，以实现二者间的相对移动，驱动第二调节座相对第一调节座摆动带动接收块的接收面进行摆动，通过摆动使接收块的接收面与待检测芯片的正光端的横截面平行，便于轴线垂直于接收面的接收器有效地接收自正光端发出的光信号，从而减小因加工、安装出现的误差，还可消除温度等其它环境因素的不良影响，提升检测结果的精度。当调整好第一调节座和第二调节座位置后，朝向第一调节座方向旋转旋紧件，旋紧件使连接块紧紧抵接在第一调节座上，以实现第一调节座和第二调节座的固定，避免二者间出现相对滑动。
[0020]2.本专利技术提供的摆动调节装置，第一调节座包括穿设在弧形导轨或导槽中的调节杆，调节杆设有转动手柄和螺杆端，第二调节座的导槽或弧形导轨朝向第一调节座的端面上设置有调节端，螺杆端与调节端啮合设置，转动调节端相对螺杆端运动。调节杆的螺杆端与第二调节座的调节端啮合设置以形成蜗轮蜗杆结构，通过啮合实现第一调节座和第二调节座间的相对移动。
[0021]3.本专利技术提供的摆动调节装置，连接块为弧形设置，以更加适应第一调节座的形
状。
[0022]4.本专利技术提供的摆动调节装置，接收器为PD接收器或光纤接收器，光纤接收器连接有光谱仪，光纤接收器将接收到的光谱曲线数据送入到光谱仪中进行光谱信号分析，根据光谱测试数据的结果判定是否满足产品的品质要求，进行产品等级分类；PD接收器连接有信号放大采集板，PD接收器将光信号转换为电信号传送到信号放大采集板进行数据采集，进行电特性数据计算处理并根据判定条件进行电特性等级分类。
[0023]5.本专利技术提供的摆动调节装置，还包括转动结构，转动结构沿高度方向自下而上依次设有转动座，第一转动盘和第二转动盘，第一转动盘和第二转动盘转动连接、第一转动盘与转动座转动连接，转动座与第二调节座固定连接，接收块设有第二转动盘上。当待检测的芯片规格、材质等发生变化后，待检测芯片的正光端的角度会出现本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种摆动调节装置，其特征在于，适用于芯片测试机或测试平台，包括：接收块(4)，所述接收块(4)设有接收面(2)、以及轴线垂直于所述接收面(2)的接收器；摆动结构(7)，所述摆动结构(7)包括第一调节座(11)和第二调节座(12)，所述第一调节座(11)设有弧形导轨(14)或导槽(15)、所述第二调节座(12)设有导槽(15)或弧形导轨(14)，所述第一调节座(11)和第二调节座(12)间通过弧形导轨(14)和导槽(15)滑动连接，所述第一调节座(11)和第二调节座(12)间设有连接块(17)，所述第一调节座(11)上设有第一旋紧件(18)，第一旋紧件(18)与连接块(17)抵接设置，所述第二调节座(12)上设有所述接收块(4)，驱动所述第二调节座(12)相对所述第一调节座(11)摆动至预定位置，旋紧第一旋紧件(18)使第一调节座(11)和第二调节座(12)固定，以使所述接收面(2)与待检测芯片(45)的正光端(48)的横截面平行。2.根据权利要求1所述的摆动调节装置，其特征在于，所述第一调节座(11)包括穿设在所述弧形导轨(14)或导槽(15)中的调节杆，所述调节杆设有转动手柄(10)和螺杆端(13)，所述第二调节座(12)朝向第一调节座(11)的端面上设置有调节端(16)，所述螺杆端(13)与所述调节端(16)啮合设置，转动所述转动手柄(10)，所述调节端(16)相对所述螺杆端(13)运动。3.根据权利要求1所述的摆动调节装置，其特征在于，所述连接块(17)为弧形设置。4.根据权利要求1所述的摆动调节装置，其特征在于，所述接收器为PD接收器(3)或光纤接收器(1)，所述光纤接收器(1)连接有光谱仪、所述PD接收器(3)连接有信号放大采集板。5.根据权利要求1－4任一项所述的摆动调节装置，其特征在于，还包括转动结构(8)，所述转动结构(8)沿高度方...
【专利技术属性】
技术研发人员：王泽明，申卫，王梓伊，徐晓钢，孙家琛，
申请(专利权)人：河北圣昊光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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