一种多晶磷化铟生产用石英管烘干系统技术方案

本发明专利技术涉及烘干技术领域，为了解决现有的石英管烘干系统在使用时存在不能对石英管内部即使有效的干燥的问题，公开了一种多晶磷化铟生产用石英管烘干系统，包括首尾安装的固定底板和活动底板，固定底板和活动底板的底部均设置有活动轮；电阻加热器，用于对石英管本体进行烘干。本发明专利技术将箱盖滑动至将石英管本体覆盖，使用电阻加热器对石英管本体进行加热烘干，烘干过程中真空泵机构对石英管本体的内部进行抽真空，将石英管本体内的水蒸气等杂质及时抽离，当石英管本体内压力被抽至100Pa以下后，通过惰性气体充气机构对石英管本体内充入惰性气体，以保持石英管本体内干燥和洁净，可同时烘干多根石英管本体，烘干效率高，更加节能。能。能。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶磷化铟生产用石英管烘干系统


[0001]本专利技术涉及烘干
，尤其涉及一种多晶磷化铟生产用石英管烘干系统。

技术介绍

[0002]磷化铟是具战略性的重要半导体材料之一，在光通信、毫米波高频、低噪声、宽带微电子集成等领域具有重要的应用，磷化铟还是太赫兹领域的首选材料之一。用半绝缘磷化铟制造的高频低噪声器件是新一代雷达通信、卫星通讯的关键元器件，在制备磷化铟单晶之前,必须先把符合一定纯度要求的In和P合成为化合物磷化铟多晶,在此基础上才能进一步制备磷化铟单晶，在多晶磷化铟生产过程中需要对石英管进行烘干处理，而现有的烘干系统在使用时存在不能对石英管内部即使有效的干燥的问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种多晶磷化铟生产用石英管烘干系统。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0005]一种多晶磷化铟生产用石英管烘干系统，包括首尾安装的固定底板和活动底板，固定底板和活动底板的底部均设置有活动轮；电阻加热器，用于对石英管本体进行烘干，所述固定底板的顶部设置有石英管固定支架，用于对石英管本体进行固定；还包括活动设置的箱盖，用于在烘干过程中对石英管本体进行覆盖；箱体侧板，用于在烘干过程中对箱盖内的热量进行遮挡；真空泵机构，用于在烘干过程中将石英管本体内的水蒸气抽干；惰性气体充气机构，用于在石英管本体内抽真空后充入惰性气体。
[0006]优选的，所述石英管固定支架的侧面开设有凹槽，用于摆放石英管本体。
[0007]优选的，所述箱体侧板包括垂直拼接的限位固定板，相邻两个限位固定板的侧面均开设有半圆孔，用于对石英管本体的端头进行支撑限位；还包括支撑板，用于对箱盖的移动进行限位。
[0008]优选的，所述石英管本体延伸至限位固定板远离箱盖的一侧通过密封接头连接有波纹管，波纹管远离石英管本体的一端与惰性气体充气机构连接。
[0009]优选的，所述导轨机构包括设置在固定底板上的第一滑轨，设置在活动底板上的第二滑轨；箱盖上设置有与第一滑轨和第二滑轨相适配的滑轮。
[0010]优选的，所述固定底板和活动底板上均设置有限位卡扣；箱盖的侧面设置有限位件，用于与限位卡扣相互扣合并对箱盖进行限位。
[0011]优选的，还包括支撑架，用于对惰性气体充气机构进行支撑。
[0012]优选的，所述电阻加热器分布在固定底板的顶部和箱盖的内壁。
[0013]本专利技术的有益效果为：
[0014]将石英管本体通过石英管固定支架固定在固定底板上，将箱盖滑动至将石英管本体覆盖，使用电阻加热器对石英管本体进行加热烘干，烘干过程中真空泵机构对石英管本
体的内部进行抽真空，将石英管本体内的水蒸气等杂质及时抽离，当石英管本体内压力被抽至100Pa以下后，通过惰性气体充气机构对石英管本体内充入惰性气体，以保持石英管本体内干燥和洁净，可同时烘干多根石英管本体，烘干效率高，更加节能。
附图说明
[0015]图1为本专利技术实施例提出的一种多晶磷化铟生产用石英管烘干系统的侧面结构示意图；
[0016]图2为本专利技术实施例提出的一种多晶磷化铟生产用石英管烘干系统的整体结构示意图。
[0017]图中：1
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固定底板、2
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活动轮、3
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支撑架、4
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真空泵机构、5
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惰性气体充气机构、6
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波纹管、7
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密封接头、8
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箱体侧板、81
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支撑板、82
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限位固定板、9
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石英管固定支架、10
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石英管本体、11
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箱盖、12
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导轨机构、121
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第一滑轨、122
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第二滑轨、13
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活动底板、14
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限位件、15
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限位卡扣。
具体实施方式
[0018]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0019]参照图1至图2，一种多晶磷化铟生产用石英管烘干系统，包括首尾安装的固定底板1和活动底板13，固定底板1和活动底板13的底部均设置有活动轮2；电阻加热器，用于对石英管本体10进行烘干，所述固定底板1的顶部设置有石英管固定支架9，用于对石英管本体10进行固定；还包括活动设置的箱盖11，用于在烘干过程中对石英管本体10进行覆盖；箱体侧板8，用于在烘干过程中对箱盖11内的热量进行遮挡；真空泵机构4，用于在烘干过程中将石英管本体10内的水蒸气抽干；惰性气体充气机构5，用于在石英管本体10内抽真空后充入惰性气体。
[0020]将石英管本体10通过石英管固定支架9固定在固定底板1上，将箱盖11滑动至将石英管本体10覆盖，使用电阻加热器对石英管本体10进行加热烘干，烘干过程中真空泵机构4对石英管本体10的内部进行抽真空，将石英管本体10内的水蒸气等杂质及时抽离，当石英管本体10内压力被抽至100Pa以下后，通过惰性气体充气机构5对石英管本体10内充入惰性气体，以保持石英管本体10内干燥和洁净。
[0021]作为本专利技术的一种优选实施例，电阻加热器为盘管式电阻加热器。
[0022]作为本专利技术的一种优选实施例，石英管固定支架9的侧面开设有凹槽，用于摆放石英管本体10。
[0023]作为本专利技术的一种优选实施例，箱体侧板8包括垂直拼接的限位固定板82，相邻两个限位固定板82的侧面均开设有半圆孔，用于对石英管本体10的端头进行支撑限位；还包括支撑板81，用于对箱盖11的移动进行限位。
[0024]作为本专利技术的一种优选实施例，石英管本体10延伸至限位固定板82远离箱盖11的一侧通过密封接头7连接有波纹管6，波纹管6远离石英管本体10的一端与惰性气体充气机构5连接。
[0025]作为本专利技术的一种优选实施例，波纹管6为塑料、金属等材质，在本实施例中，优选
的波纹管6为金属材质。
[0026]作为本专利技术的一种优选实施例，导轨机构12包括设置在固定底板1上的第一滑轨121，设置在活动底板13上的第二滑轨122；箱盖11上设置有与第一滑轨121和第二滑轨122相适配的滑轮，在石英管本体10固定完成后，推动箱盖11在第二滑轨122和第一滑轨121上滑动，使得箱盖11滑动至固定底板1上，并将石英管本体10覆盖进行烘干，烘干完成后，推动箱盖11滑动至活动底板13上，便于石英管本体10的上料、下料。
[0027]作为本专利技术的一种优选实施例，固定底板1和活动底板13上均设置有限位卡扣15；箱盖11的侧面设置有限位件14，用于与限位卡扣15相互扣合并对箱盖11进行限位，在箱盖11移动完成后，限位卡扣15与限位件14扣合，从本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶磷化铟生产用石英管烘干系统，包括首尾安装的固定底板和活动底板，固定底板和活动底板的底部均设置有活动轮；电阻加热器，用于对石英管本体进行烘干，其特征在于，所述固定底板的顶部设置有石英管固定支架，用于对石英管本体进行固定；还包括活动设置的箱盖，用于在烘干过程中对石英管本体进行覆盖；箱体侧板，用于在烘干过程中对箱盖内的热量进行遮挡；真空泵机构，用于在烘干过程中将石英管本体内的水蒸气抽干；惰性气体充气机构，用于在石英管本体内抽真空后充入惰性气体。2.根据权利要求1所述的一种多晶磷化铟生产用石英管烘干系统，其特征在于，所述石英管固定支架的侧面开设有凹槽，用于摆放石英管本体。3.根据权利要求1所述的一种多晶磷化铟生产用石英管烘干系统，其特征在于，所述箱体侧板包括垂直拼接的限位固定板，相邻两个限位固定板的侧面均开设有半圆孔，用于对石英管本体的端头进行支撑限位；还包括支撑板，用于对箱盖的移动进行限位。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄小华，陈龙，聂林涛，李鹏岗，
申请(专利权)人：陕西铟杰半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：