一种真空镀膜设备的门阀组件及真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜设备的门阀组件及真空镀膜设备。该真空镀膜设备的门阀组件设在真空镀膜设备的两个工作腔之间，真空镀膜设备的门阀组件包括阀座、阀板和阀盖，阀盖扣合在阀座上，阀板可转动地设在阀座或阀盖上，阀盖上设有测温孔，真空镀膜设备的门阀组件还包括透光盖板和红外测温件，透光盖板扣合测温孔上，红外测温件安装在阀盖上且对应测温孔设置。该门阀组件能够较为准确地测量基板组件的温度，有利于实现对于基板组件温度的精准控制，从而有利于后续镀膜工艺。从而有利于后续镀膜工艺。从而有利于后续镀膜工艺。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜设备的门阀组件及真空镀膜设备


[0001]本技术涉及太阳能电池片的镀膜设备
，尤其涉及一种真空镀膜设备的门阀组件及真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]现有太阳能电池片的连续性镀膜设备中有预热腔和工艺腔，两者中间设置门阀。腔体内部有载板，载板上放置多片基板，载板可以在腔体之间传动；在预热腔中设有间隔设置的上加热板和下加热板，上加热板和下加热板通电后产生热量使得预热腔温度升高，载板中的基板接收来自上下加热板的热辐射后温度升高，完成加热后门阀打开，载板传动至工艺腔进行镀膜。
[0003]目前现有技术中，在预热腔的盖板上方安装有红外测温仪，盖板上安装视窗模组，视窗模组包含锗玻璃视窗和密封圈，在上加热板的视窗位置开设了通孔，处于红外测温仪下方的基板辐射出的红外线，穿透过锗玻璃视窗被红外测温仪检测到，从而实现对基板的在线无接触式温度测量。
[0004]但是在测量过程中，上加热板和下加热板处于高温状态(250℃
‑
400℃)，上加热板辐射出的红外线会被红外测温仪检测到，而且基板下方的下加热板辐射出的红外线也会穿透基板，再穿透锗玻璃被红外测温仪检测到，也就是说，红外测温仪受到来自上下加热板辐射出的红外线的干扰后便不能准确检测基板的温度。

技术实现思路

[0005]本技术的第一个目的在于提出一种真空镀膜设备的门阀组件，该门阀组件能够较为准确地测量基板组件的温度，有利于实现对于基板组件温度的精准控制，从而有利于后续镀膜工艺。
[0006]本技术的第二个目的在于提出一种真空镀膜设备，该真空镀膜设备能够实现对基板组件温度的精准控制，方便镀膜。
[0007]为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
[0008]本技术公开了一种真空镀膜设备的门阀组件，所述真空镀膜设备的门阀组件设在真空镀膜设备的两个工作腔之间，所述真空镀膜设备的门阀组件包括阀座、阀板和阀盖，所述阀盖扣合在所述阀座上，所述阀板可转动地设在所述阀座或所述阀盖上，所述阀盖上设有测温孔，所述真空镀膜设备的门阀组件还包括透光盖板和红外测温件，所述透光盖板扣合所述测温孔上，所述红外测温件安装在所述阀盖上且对应所述测温孔设置。
[0009]在一些实施例中，所述门阀组件还包括支撑座，所述支撑座用于支撑所述透光盖板，所述支撑座上设有第一透光孔，所述支撑座连接在所述阀盖上，且所述第一透光孔与所述测温孔对应设置。
[0010]在一些具体的实施例中，所述阀盖上设有安装槽，所述安装槽上设有环绕测温孔的密封槽，所述密封槽内设有第一密封件，所述第一密封件止抵在所述支撑座的下表面上。
[0011]在一些具体的实施例中，所述透光盖板和所述支撑座之间设有第二密封件。
[0012]在一些具体的实施例中，所述真空镀膜设备的门阀组件还包括与所述支撑座相连的压紧座，所述压紧座上设有第二透光孔，所述第二透光孔与所述第一透光孔对应设置，且所述透光盖板设在所述第二透光孔内。
[0013]在一些更具体的实施例中，第二透光孔包括第一孔和第二孔，所述第一孔的尺寸小于所述第二孔的尺寸，所述第二孔用于容纳所述透光盖板和垫片。
[0014]在一些实施例中，所述真空镀膜设备的门阀组件还包括支架，所述支架连接在所述阀盖上，且具有正对所述测温孔设置的安装部，所述红外测温件设置在所述安装部上。
[0015]在一些实施例中，所述阀盖上设置至少一个所述测温孔以及与所述测温孔对应设置的所述透光盖板，所述红外测温件设置在至少一个所述透光盖板的上方。
[0016]本技术还公开了一种真空镀膜设备，包括至少一个第一模组、至少一个第二模组和至少一个前文所述的真空镀膜设备的门阀组件，所述第一模组限定出第一腔室，所述第一腔室包括进出所述基板组件的第一进口和第一出口；所述第二模组包括第二腔室，所述第二腔室包括进出基板组件的第二进口和第二出口，所述真空镀膜设备的门阀组件位于所述第一模组和所述第二模组之间。
[0017]在一些实施例中，所述第一腔室和第二腔室为不同的腔室，且所述第一腔室和第二腔室为上料腔、预热腔、工艺腔、缓存腔以及卸载腔中任意两种腔室；或者，所述第一腔室和第二腔室为相同的腔室，且所述第一腔室和第二腔室为上料腔、预热腔、工艺腔、缓存腔以及卸载腔中任意一种腔室。
[0018]本技术的真空镀膜设备的门阀组件的有益效果：由于阀盖上设有测温孔，阀盖上设有与测温孔对应设置的透光盖板和红外测温件，在实际测量过程中，门阀组件已经远离热源，整个门阀组件处于低温状态，阀座、阀板和阀盖的温度远比基板组件温度低，阀座、阀板和阀盖辐射出的红外线比基板组件辐射出的红外线弱，红外测温件接收来自基板组件辐射出的红外线时便不再受到干扰，提升了对基板组件温度的测量准确度，从而有利于对于基板组件温度的精准控制，有利于后续镀膜工艺进行。
[0019]本技术的真空镀膜设备的有益效果：由于具有前文所述的真空镀膜设备的门阀组件，该真空镀膜设备能够对基板组件温度的精准控制，方便镀膜。
[0020]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0021]图1是本技术实施例一的真空镀膜设备的局部结构示意图；
[0022]图2是本技术实施例一的真空镀膜设备的剖面图；
[0023]图3是本技术实施例一的真空镀膜设备的门阀组件的剖面图；
[0024]图4是图3的A处的放大示意图；
[0025]图5是本技术实施例二的真空镀膜设备的局部结构示意图；
[0026]图6是本技术实施例三的真空镀膜设备的局部结构示意图。
[0027]图7是本技术实施例四的真空镀膜设备的门阀组件的剖面图。
[0028]附图标记：
[0029]1、阀座；2、阀板；3、阀盖；31、测温孔；32、安装槽；4、透光盖板；5、红外测温件；6、支撑座；61、第一透光孔；7、压紧座；71、第二透光孔；711、第一孔；712、第二孔；8、支架；81、安装部；9、第一密封件；10、第二密封件；100、第一模组；101、第一腔室；102、第一进口；103、第一出口；200、第二模组；201、第二腔室；202、第二进口；203、第二出口；300、基板组件。
具体实施方式
[0030]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0031]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备的门阀组件，所述真空镀膜设备的门阀组件设在真空镀膜设备的两个工作腔之间，所述真空镀膜设备的门阀组件包括阀座(1)、阀板(2)和阀盖(3)，所述阀盖(3)扣合在所述阀座(1)上，所述阀板(2)可转动地设所述阀座(1)或所述阀盖(3)上，其特征在于，所述阀座(1)或所述阀盖(3)上设有测温孔(31)，所述真空镀膜设备的门阀组件还包括透光盖板(4)和红外测温件(5)，所述透光盖板(4)扣合所述测温孔(31)上，所述红外测温件(5)安装在所述阀盖(3)上且对应所述测温孔(31)设置。2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的门阀组件，其特征在于，所述门阀组件还包括支撑座(6)，所述支撑座(6)用于支撑所述透光盖板(4)，所述支撑座(6)上设有第一透光孔(61)，所述支撑座(6)连接在所述阀盖(3)上，且所述第一透光孔(61)与所述测温孔(31)对应设置。3.根据权利要求2所述的真空镀膜设备的门阀组件，其特征在于，所述阀盖(3)上设有安装槽(32)，所述安装槽(32)上设有环绕测温孔(31)的密封槽，所述密封槽内设有第一密封件(9)，所述第一密封件(9)止抵在所述支撑座(6)的下表面上。4.根据权利要求2所述的真空镀膜设备的门阀组件，其特征在于，所述透光盖板(4)和所述支撑座(6)之间设有第二密封件(10)。5.根据权利要求2所述的真空镀膜设备的门阀组件，其特征在于，所述真空镀膜设备的门阀组件还包括与所述支撑座(6)相连的压紧座(7)，所述压紧座(7)上设有第二透光孔(71)，所述第二透光孔(71)与所述第一透光孔(61)对应设置，且所述透光盖板(4)设在所述第二透光孔(71)内。6.根据权利要求5所述的真空镀膜设备的门阀组件，其特征在于，第二透光孔(71)包括第一孔(711)和第二孔(712)...

【专利技术属性】
技术研发人员：李王俊，张斌，徐文涛，刘亚南，房现飞，王朝，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：