本实用新型专利技术涉及晶圆加工领域，尤其涉及一种晶圆磨削装置。所述晶圆磨削装置包括工作台、打磨组件、固定机构抛光液组件和搅拌机构，用于打磨晶圆的所述打磨组件固定安装于工作台上，用于固定工件的两个所述固定机构滑动连接在工作台上。用于储存喷洒抛光液的所述抛光液组件固定安装在工作台下方，用于使得抛光液保持质地均匀的搅拌机构固定安装在抛光液组件和工作台上。本实用新型专利技术可以从两侧和上方同时对晶圆工件进行固定，固定过程快速简便，且固定效果好，且设置抛光液组件在晶圆工件磨削时进行润滑，便于对晶圆工件进行加工，提升磨削的质量。削的质量。削的质量。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆磨削装置
[0001]本技术涉及晶圆加工领域，尤其涉及一种晶圆磨削装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。
[0003]晶圆磨削装置在进行加工时，需要将晶圆工件固定在工作台上，以便于后续的磨削加工，现有的晶圆磨削装置在对晶圆进行固定时，过程较为繁琐，且固定效果一般，提升了工作人员的劳动强度。
[0004]因此，有必要提供一种新的晶圆磨削装置解决上述技术问题。
技术实现思路
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供一种固定过程快速简便、磨削稳定质量高的晶圆磨削装置。
[0006]本技术提供的晶圆磨削装置包括：工作台、打磨组件、固定机构抛光液组件和搅拌机构，用于打磨晶圆的所述打磨组件固定安装于工作台上固定机构设有两个，且用于固定工件的两个所述固定机构滑动连接在工作台上，用于储存喷洒抛光液的所述抛光液组件固定安装在工作台下方，用于使得抛光液保持质地均匀的搅拌机构固定安装在抛光液组件和工作台上
[0007]优选的，所述打磨组件包括支撑架、液压缸、安装板、驱动电机和打磨轮，所述支撑架固定安装于工作台的上方，且支撑架上固定连接有若干个液压缸，若干所述液压缸的活塞端固定安装有安装板，所述安装板的上表面固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端向下穿过安装板固定连接有打磨轮。
[0008]优选的，所述固定机构包括夹持组件、压紧组件和限位组件，所述夹持组件滑动安装于工作台开设的水平滑槽上，所述压紧组件固定安装于夹持组件上，所述限位组件设置于夹持组件上。
[0009]优选的，所述夹持组件包括承载板、支撑板、螺纹杆、旋钮、螺纹套、第一压板和滑块，所述承载板滑动安装于工作台开设的水平滑槽上，且承载板上固定连接有支撑板，所述支撑板内部通过轴承转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆一端固定连接有旋钮，螺纹杆另一端螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套远离螺纹杆的一侧固定连接有第一压板，且螺纹套底端固定连接有滑块，所述滑块与承载板开设的限位槽滑动连接。
[0010]优选的，所述压紧组件包括第一齿轮、第一齿条板、横板、第一弹簧和第二压板，所述第一齿轮套设在螺纹杆上，所述第一齿条板滑动安装于支撑板开设在滑槽内，且第一齿条板与第一齿轮啮合，所述横板穿过支撑板开设在滑槽与第一齿条板侧壁固定连接，且横板底端固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的底端固定连接有第二压板。
[0011]优选的，所述限位组件包括梯形板、连接板、第二弹簧、滑轮和限位杆，所述梯形板
固定安装于滑块的底端，所述连接板设置于承载板开设的与限位槽贯通的空腔内，且连接板底端固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧与承载板固定连接，连接板顶端铰接有滑轮，两个所述限位杆固定安装于连接板的底端，且两个限位杆一端插设在承载板开设的通孔中，所述工作台表面开设有若干个限位通孔，所述限位杆与限位通孔滑动配合。
[0012]优选的，所述梯形板靠近滑轮的一侧开设有滑槽，所述滑轮与滑槽滑动配合。
[0013]优选的，所述抛光液组件包括承载箱、第一隔板、第二隔板、水泵和喷头，所述承载箱固定安装于工作台的下表面，所述第一隔板和第二隔板将承载箱分割为承接腔、储存腔和安装腔，所述承接腔与工作台开设的若干个限位通孔连通，所述储存腔内填充有抛光液，且储存腔内安装有搅拌机构，所述水泵固定安装于工作台的侧壁上，且水泵的进水端与储存腔连通，所述喷头固定安装于安装板的下表面并位于打磨轮的一侧，且喷头与水泵的出水端连通。
[0014]优选的，所述搅拌机构包括转动轴、搅拌杆、蜗轮、蜗杆、从动锥齿轮、传动轴、主动锥齿轮、第二齿轮和第二齿条板，所述转动轴转动安装于储存腔内，且转动轴位于储存腔内的侧壁上固定连接有若干个搅拌杆，转动轴穿过第一隔板伸入安装腔的一端套设有蜗轮，所述蜗杆转动安装于安装腔内，且蜗杆与蜗轮啮合，蜗杆向上穿过工作台的一端固定连接有从动锥齿轮，所述传动轴转动安装于支撑架上，且传动轴一端固定连接有主动锥齿轮，所述主动锥齿轮与从动锥齿轮啮合，传动轴另一端固定连接有第二齿轮，所述第二齿条板固定安装于安装板的侧壁上，且第二齿条板与第二齿轮啮合。
[0015]优选的，所述第二隔板上贯穿开设有通孔，所述通孔内嵌装有过滤网。
[0016]与相关技术相比较，本技术提供的晶圆磨削装置具有如下有益效果：
[0017]1、本技术通过可调节的承载板，工作人员可以根据待加工零件的尺寸调节固定机构，固定机构通过夹持组件、压紧组件和限位组件的配合使用，可以从两侧和上方同时对晶圆工件进行固定，固定过程快速简便，且固定效果好。
[0018]2、本技术还设有抛光液组件和用于搅拌抛光液的搅拌机构，在对晶圆工件进行磨削的过程中，可以驱动搅拌杆对抛光液进行搅拌，使得抛光液的质地保持均匀，然后利用水泵将抛光液喷洒工件表面进行磨削，可以提升磨削加工的质量。
附图说明
[0019]图1为本技术提供的晶圆磨削装置的一种较佳实施例的结构示意图；
[0020]图2为图1所示的a的局部放大图；
[0021]图3为图1所示的b的局部放大图；
[0022]图4为图1所示的梯形板的结构示意图。
[0023]图中标号：1、工作台；101、水平滑槽；102、限位通孔；2、打磨组件；21、支撑架；22、液压缸；23、安装板；24、驱动电机；25、打磨轮；3、固定机构；31、夹持组件；311、承载板；312、支撑板；313、螺纹杆；314、旋钮；315、螺纹套；316、第一压板；317、滑块；32、压紧组件；321、第一齿轮；322、第一齿条板；323、横板；324、第一弹簧；325、第二压板；33、限位组件；331、梯形板；332、连接板；333、第二弹簧；334、滑轮；335、限位杆；4、抛光液组件；41、承载箱；42、第一隔板；43、第二隔板；44、水泵；45、喷头；5、搅拌机构；51、转动轴；52、搅拌杆；53、蜗轮；54、蜗杆；55、从动锥齿轮；56、传动轴；57、主动锥齿轮；58、第二齿轮；59、第二齿条板；6、过滤
网。
具体实施方式
[0024]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0025]以下结合具体实施例对本技术的具体实现进行详细描述。
[0026]请参阅图1至图4，本技术实施例提供的一种晶圆磨削装置，晶圆磨削装置包括：工作台1、打磨组件2、固定机构3、抛光液组件4和搅拌机构5。用于打磨晶圆的打磨组件2固定安装于工作台1上，固定机构3设有两个。用于固定工件的两个固定机构3滑动连接在工作台1上。用于储存喷洒抛光液的抛光液组件4固定安装在工作台1下方，用于使得抛光液保持质地均匀的搅拌机构5固定安装在抛本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆磨削装置，其特征在于，包括：工作台(1)；打磨组件(2)，用于打磨晶圆的所述打磨组件(2)固定安装于工作台(1)上；固定机构(3)，设有两个，且用于固定工件的两个所述固定机构(3)滑动连接在工作台(1)上；抛光液组件(4)，用于储存喷洒抛光液的所述抛光液组件(4)固定安装在工作台(1)下方；搅拌机构(5)，用于使得抛光液保持质地均匀的搅拌机构(5)固定安装在抛光液组件(4)和工作台(1)上。2.根据权利要求1所述的晶圆磨削装置，其特征在于，所述打磨组件(2)包括支撑架(21)、液压缸(22)、安装板(23)、驱动电机(24)和打磨轮(25)，所述支撑架(21)固定安装于工作台(1)的上方，且支撑架(21)上固定连接有若干个液压缸(22)，若干所述液压缸(22)的活塞端固定安装有安装板(23)，所述安装板(23)的上表面固定安装有驱动电机(24)，所述驱动电机(24)的输出端向下穿过安装板(23)固定连接有打磨轮(25)。3.根据权利要求1所述的晶圆磨削装置，其特征在于，所述固定机构(3)包括夹持组件(31)、压紧组件(32)和限位组件(33)，所述夹持组件(31)滑动安装于工作台(1)开设的水平滑槽(101)上，所述压紧组件(32)固定安装于夹持组件(31)上，所述限位组件(33)设置于夹持组件(31)上。4.根据权利要求3所述的晶圆磨削装置，其特征在于，所述夹持组件(31)包括承载板(311)、支撑板(312)、螺纹杆(313)、旋钮(314)、螺纹套(315)、第一压板(316)和滑块(317)，所述承载板(311)滑动安装于工作台(1)开设的水平滑槽(101)上，且承载板(311)上固定连接有支撑板(312)，所述支撑板(312)内部通过轴承转动连接有螺纹杆(313)，所述螺纹杆(313)一端固定连接有旋钮(314)，螺纹杆(313)另一端螺纹连接有螺纹套(315)，所述螺纹套(315)远离螺纹杆(313)的一侧固定连接有第一压板(316)，且螺纹套(315)底端固定连接有滑块(317)，所述滑块(317)与承载板(311)开设的限位槽滑动连接。5.根据权利要求3所述的晶圆磨削装置，其特征在于，所述压紧组件(32)包括第一齿轮(321)、第一齿条板(322)、横板(323)、第一弹簧(324)和第二压板(325)，所述第一齿轮(321)套设在螺纹杆(313)上，所述第一齿条板(322)滑动安装于支撑板(312)开设在滑槽内，且第一齿条板(322)与第一齿轮(321)啮合，所述横板(323)穿过支撑板(312)开设在滑槽与第一齿条板(322)侧壁固定连接，且横板(323)底端固定连接有第一弹簧(324)，所述第一弹簧(324)的底端固定连接有第二压板(325)。6.根据权利要求3所述的晶圆磨...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙大海，钱少杰，
申请(专利权)人：苏州海杰兴科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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