本申请提供了一种漏源判断装置及判断方法、漏液处理装置及处理方法，漏源判断装置包括：检测单元、存储单元和控制器，检测单元用于检测当前漏液并生成当前漏液属性值。存储单元用于存储当前漏液属性值集和当前漏液位置数据集及其对应关系。控制器与检测单元及存储单元连接，控制器用于根据当前漏液属性值查找出对应的当前漏液位置数据。本申请解决了现有技术存在漏源判断效率低及无法根据漏液属性分别收集漏液的问题。别收集漏液的问题。别收集漏液的问题。
【技术实现步骤摘要】
漏源判断装置及判断方法、漏液处理装置及处理方法
[0001]本申请涉及半导体加工设备，特别是涉及漏源判断装置及判断方法、漏液处理装置及处理方法。
技术介绍
[0002]在半导体工业中，由于化学液体泄露或其他不明原因导致未知液体异常出现在洁净室和附属设备区域，常规处理方法一般是上报ESH(Environment、Safety、Health的缩写，环境、职业健康安全管理体系)机构，由ESH机构派检测人员用PH试纸检测漏液PH值，再根据漏液PH值判断漏液属性，最后根据漏液属性查找漏源(即化学液体泄露的源头，工厂里用的所有化学液体是记录在案的，某种液体只会在某些地方用，只要确定漏液属性，就能据此查出化学液体是从什么地方泄露的)，查找出漏源后才能根据ESH规定处理漏液。现有技术在根据漏液属性判断漏源时，需要人工在数据库中进行查询，需要耗费大量的人力，漏源判断效率较低。现有漏液处理装置无法进行漏液属性判断，因此无法在漏液处理装置中设置合适的收集装置存储漏液(比如，在漏液是酸性时，因为没有进行漏液属性判断，可能会使用不耐酸性的收集装置存储漏液，导致收集装置损坏)。而且现有漏液处理装置使用单个收集装置存储漏液，容易导致在先后收集不同漏液属性的漏液时，不同属性的漏液在收集装置中发生化学反应而产生安全事故。因此，现有技术存在漏源判断效率低及无法根据漏液属性分别收集漏液的问题。
技术实现思路
[0003]针对现有技术漏源判断效率低的问题，本申请提供了一种漏源判断装置，包括：检测单元、存储单元和控制器，所述检测单元用于检测当前漏液并生成当前漏液属性值。所述存储单元用于存储当前漏液属性值集和当前漏液位置数据集及其对应关系。所述控制器与所述检测单元及所述存储单元连接，所述控制器用于根据所述当前漏液属性值查找出对应的当前漏液位置数据。
[0004]优选地，所述检测单元根据当前漏液属性值生成当前漏液种类信息，所述当前漏液属性值包括当前漏液PH值和/或当前漏液离子成分数值。
[0005]优选地，所述检测单元包括pH传感器，所述pH传感器用于生成所述当前漏液PH值。
[0006]优选地，所述检测单元还包括离子分析仪，所述离子分析仪用于生成所述当前漏液离子成分数值。
[0007]本申请还提供了一种漏源判断方法，其应用于所述漏源判断装置，包括：生成当前漏液属性值。根据所述当前漏液属性值查找出对应的当前漏液位置数据。
[0008]针对现有技术无法根据漏液属性分别收集漏液的问题，本申请提供了一种漏液处理装置，包括：所述漏源判断装置、采集单元和至少两个收集单元，所述采集单元和所述检测单元连接，所述采集单元用于采集部分所述当前漏液至所述检测单元。所述至少两个收集单元用于根据所述当前漏液属性值分别收集所述当前漏液。
[0009]优选地，所述收集单元包括：第一管道、存储装置、第二管道和泵，所述第一管道的一端和所述当前漏液接触。所述存储装置和所述第一管道的另一端连接，所述存储装置用于存储经所述第一管道收集的所述当前漏液。所述第二管道的一端和所述存储装置连接。所述泵和所述第二管道的另一端连接，所述泵用于在所述存储装置中形成负压，以让所述当前漏液进入所述存储装置。
[0010]优选地，所述漏液处理装置还包括交互装置，其与所述控制器连接。
[0011]优选地，所述漏液处理装置还包括记录装置，其用于记录所述当前漏液的处理过程。
[0012]本申请还提供了一种漏液处理方法，其应用于所述漏液处理装置，包括：所述漏源判断方法。根据所述当前漏液属性值分别收集所述当前漏液至所述至少两个收集单元。
[0013]本申请的有益效果在于：
[0014]1、通过设置控制器、检测单元和存储单元，并让控制器与检测单元及存储单元连接。将当前漏液属性值集和当前漏液位置数据集及其对应关系存储到存储单元中，通过检测单元检测当前漏液并生成当前漏液属性值后，控制器就可以根据当前漏液属性值查找出对应的当前漏液位置数据，实现对漏源的判断。由于漏液检测可由检测单元自动进行，根据当前漏液属性值查找出对应的当前漏液位置数据可由控制器自动进行，因此漏源判断无需再借助人工判断，减少了漏源判断的时间，提高了漏源的判断效率。
[0015]2、通过设置包括漏源判断装置、采集单元和至少两个收集单元的漏液处理装置，并让采集单元和检测单元连接，以采集部分当前漏液至检测单元。让至少两个收集单元根据当前漏液属性值收集分别当前漏液。在漏源判断装置对漏源进行判断后，收集单元才根据当前漏液属性值收集漏液，可以根据不同的当前漏液属性值采取不同的漏液收集方式，避免不同的漏液在收集单元中混合后发生化学反应而导致事故，也可以避免因为未对漏源进行判断，就贸然处理未知漏液导致收集单元损坏或检测人员受到损伤(比如腐蚀或烧灼设备或人员)。
[0016]上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本申请较佳的实施例并配合附图对本申请进行详细说明。
附图说明
[0017]图1是本申请实施例中，漏源判断装置方框图；
[0018]图2是本申请实施例中，漏液处理方法流程图；
[0019]图3是本申请实施例中，漏液处理装置立体图；
[0020]图4是本申请实施例中，漏液处理装置分解图(不含漏源判断装置)
[0021]图5是本申请实施例中，收集单元立体示意图；
[0022]图6是本申请实施例中，漏液处理装置左视图；
[0023]图7是本申请实施例中，图6的A
‑
A线剖视图。
[0024]其中，附图标记：
[0025]1漏液处理装置
[0026]10杆件
[0027]100握持部
[0028]101清洁件
[0029]102中杆部
[0030]103底杆部
[0031]11漏源判断装置
[0032]110检测单元
[0033]1100 pH传感器
[0034]1101离子分析仪
[0035]111存储单元
[0036]112控制器
[0037]12采集单元
[0038]13收集单元
[0039]130第一管道
[0040]131存储装置
[0041]132第二管道
[0042]133泵
[0043]14交互装置
[0044]15记录装置
[0045]S1
‑
S2漏液处理方法子流程
[0046]S11
‑
S12漏源判断方法子流程
具体实施方式
[0047]以下由特定的具体实施例说明本申请的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所公开的内容轻易地了解本申请的其他优点及功效。
[0048]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以互相组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。为了使本技本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种漏源判断装置(11)，其特征在于，包括：检测单元(110)，其用于检测当前漏液并生成当前漏液属性值；存储单元(111)，其用于存储当前漏液属性值集和当前漏液位置数据集及其对应关系；以及控制器(112)，其与所述检测单元(110)及所述存储单元(111)连接，所述控制器(112)用于根据所述当前漏液属性值查找出对应的当前漏液位置数据。2.根据权利要求1所述的漏源判断装置(11)，其特征在于，所述检测单元(110)根据当前漏液属性值生成当前漏液种类信息，所述当前漏液属性值包括当前漏液PH值和/或当前漏液离子成分数值。3.根据权利要求2所述的漏源判断装置(11)，其特征在于，所述检测单元(110)包括pH传感器(1100)，所述pH传感器(1100)用于生成所述当前漏液pH值。4.根据权利要求2所述的漏源判断装置(11)，其特征在于，所述检测单元(110)还包括离子分析仪(1101)，所述离子分析仪(1101)用于生成所述当前漏液离子成分数值。5.一种漏源判断方法，其应用于根据权利要求1
‑
4任一项所述的漏源判断装置(11)，其特征在于，包括：生成当前漏液属性值；根据所述当前漏液属性值查找出对应的当前漏液位置数据。6.一种漏液处理装置(1)，其特征在于，包括：根据权利要求1
‑
4...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈峰，
申请(专利权)人：杭州富芯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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