一种硅棒单线双刀线锯切割机制造技术

本申请涉及硅棒切割技术领域，一种硅棒单线双刀线锯切割机，包括第一收放线机构、第二收放线机构、机架和金刚线，第一收放线机构和第二收放线机构上均设置有双刀调节机构，第一收放线机构和第二收放线机构之间设置有导线调节机构；双刀调节机构包括导轮和调节支架，导轮安装在调节支架上，且调节支架的两侧均设有伸缩机构，第一收放线机构和第二收放线机构均设置在调节支架的两侧。本申请能够调整金刚线在切割过程中的角度，提高切割效率同时降低切割成本。切割成本。切割成本。

【技术实现步骤摘要】
一种硅棒单线双刀线锯切割机


[0001]本申请涉及硅棒切割
，尤其是涉及一种硅棒单线双刀线锯切割机。

技术介绍

[0002]半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，其中作为第三代半导体的原材料的碳化硅晶片，从硅棒到晶片的整个过程包括辊圆、定向、切割、清洗、倒角、研磨、抛光等等步骤，其中切割作为其不可获取的步骤，现有的切割设备大多为单线切割机和多线切割机。
[0003]中国专利CN203527674U，涉及晶体加工领域，尤其涉及一种单线切割机上的晶体摆动装置。包括切割线安装机构、线切割机载物台、固定立板、用于固定晶体的粘板、转盘、减速机、步进电机，所述切割线安装机构活动安装在线切割机上，所述固定立板固定安装在所述线切割机载物台上，所述粘板与所述转盘固定连接，所述减速机固定在所述固定立板上且所述减速机的输出端的轴端穿过所述固定立板与所述转盘固定连接，所述减速机的输入端与所述步进电机连接。本技术的有益效果是：提高了线切割机切割加工效率，同时降低了晶体的表面粗糙度，提高了晶体的质量。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为现有的单线切割机进行切割的过程中不能调节切割的角度，且单线的切割效率低，晶片的生产效率大受影响，继续一种高效切割效果好的单线双刀切割机。

技术实现思路

[0005]为了克服现有技术中存在的问题，本申请提供一种硅棒单线双刀线锯切割机。
[0006]本申请提供的一种硅棒单线双刀线锯切割机采用如下的技术方案：
[0007]一种硅棒单线双刀线锯切割机，包括第一收放线机构、第二收放线机构、机架和金刚线，第一收放线机构和第二收放线机构上均设置有双刀调节机构，第一收放线机构和第二收放线机构之间设置有导线调节机构；双刀调节机构包括导轮和调节支架，导轮安装在调节支架上，且调节支架的两侧均设有伸缩机构，第一收放线机构和第二收放线机构均设置在调节支架的两侧。
[0008]通过采用上述技术方案，第一收放线机构和第二收放线机构对称设置配合驱动金刚线，从而对机架上的待加工工件进行切割。第一收放线机构和第二收放线机构上设置的双刀调节机构，其中调节支架安装在第一收放线机构和第二收放线机构的中间，调节支架上的导轮负责金刚线的传输，并且调节支架两侧设置的伸缩机构，能够调节调节支架和第一收放线机构和第二收放线机构之间的距离，实现双刀切割间距的调节。并且采用单根金刚线设成两排的两折线形，具有两排可以切割硅棒的切割段，即仅仅设置单条金刚线就能够形成双刀，提高了单根金刚线切割线的利用率，有利于降低成本，减少损耗。在第一收放线机构和第二收放线机构上设置有导线调节机构，能够用来调整金刚线在切割过程中的角度，因硅棒经过辊圆之后切割面为圆形，金刚线在切割的过程中切割的宽度会发生变化，导
线调节机构能够通过角度的调节实现金刚线的线切割质量及切割效率。
[0009]优选的，机架安装在第一收放线机构和第二收放线机构之间，机架包括工作台和待加工工件。
[0010]通过采用上述技术方案，机架上的工作台用于放置待加工工件，在切割位置不发生变化的情况下，通过工作台来移动待加工工件来实现连续切割。
[0011]优选的，工作台上安装有传送架，其中传送架底部安装有导轨，其中传送架底部还安装有驱动机构。
[0012]通过采用上述技术方案，工作台中的待加工工件放置在传送架上，传送架通过底部的驱动机构驱动，在导轨上进行移动，实现待加工工件的移动，实现硅棒的连续切割。
[0013]优选的，第一收放线机构和第二收放线机构分别设置在机架的两侧，且两者结构相同，包括升降架和设备平台，其中升降架两侧设有设备平台，设备平台上安装有可调导线轮、安装架以及导线调节机构。
[0014]通过采用上述技术方案，升降架通过控制整个第一收线机构或者第二收线机构的升降，设备平台上安装用于传导金刚线可调导线轮和导线调节机构，其中安装架上用于安装角度调节支架。
[0015]优选的，导线调节机构安装在第一收放线机构和第二收放线机构靠近机架的一侧，安装架包括内套体和外套体，其中导线调节机构安装在内套体上，可调导线轮安装在远离机架的一端。
[0016]通过采用上述技术方案，安装架中采用内套体和外套体的结构，其中内套体和外套体之间滑动连接，角度调节机构安装在内套体上，能够调节金刚线在第一收放线机构和第二收放线机构之间的距离，从而满足不同尺寸的硅棒的切割需求。可调导线轮安装在远离机架的一端，能够根据双刀调节机构调节的双刀间距，可调导线轮能够进行位置调节，来满足在金刚线长度相同的情况下进行双刀间距的调节。
[0017]优选的，第一收放线机构和第二收放线机构之间通过横梁进行连接，且横梁上安装有喷淋水箱。
[0018]通过采用上述技术方案，第一收放线机构和第二收放线机构之间通过横梁连接，确保整体结构的稳定，并且横梁上安装的喷淋水箱能够在为金刚线的冷却提供水源。
[0019]优选的，第一收放线机构和第二收放线机构中的设备平台设置有降温仓，其中金刚线贯穿降温仓。
[0020]通过采用上述技术方案，设备平台中设置有降温仓，金刚线贯穿降温仓，能够让切割过程中的金刚线实时的进行冷却，避免持续高温下的金刚线发生质变。
[0021]优选的，降温仓的顶部通过伸缩软管连接喷淋水箱，且伸缩软管靠近降温仓内设置有喷淋头，且降温仓底部设有排水口、顶部设有出气口。
[0022]通过采用上述技术方案，降温仓的顶部通过伸缩软管来呢及喷淋水箱，能够让第一收放线机构和第二收放线机构升降过程中，对降温仓提供持续的冷却水源输入，并且在降温仓底部设有的排水口能够及时的排出冷冷却水，顶部的出气口能够排出冷却过程中产生的高温蒸汽。
[0023]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0024]1.调节支架上的导轮负责金刚线的传输，并且调节支架两侧设置的伸缩机构，能
够调节调节支架和第一收放线机构和第二收放线机构之间的距离，实现双刀切割间距的调节；
[0025]2.采用单根金刚线设成两排的两折线形，具有两排可以切割硅棒的切割段，即仅仅设置单条金刚线就能够形成双刀，提高了单根金刚线切割线的利用率，有利于降低成本，减少损耗；
[0026]3.第一收放线机构和第二收放线机构上设置有导线调节机构，能够用来调整金刚线在切割过程中的角度，满足不同类型不同尺寸的硅棒的切割需求，应用范围更广。
附图说明
[0027]图1是一种硅棒单线双刀线锯切割机整体结构示意图；
[0028]图2是图1中双刀调节机构放大图；
[0029]图3是一种硅棒单线双刀线锯切割机中的设置在设备平台内的降温仓结构示意图。
[0030]附图标记说明：1、第一收放线机构；2、第二收放线机构；3、机架；31、工作台；311、传送架；312、导轨；313、驱动机构；32、待加工工件；4、金刚线；5、双刀调节机构；51、导轮；52、调节本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅棒单线双刀线锯切割机，包括第一收放线机构(1)、第二收放线机构(2)、机架(3)和金刚线(4)，其特征在于：所述第一收放线机构(1)和第二收放线机构(2)上均设置有双刀调节机构(5)，所述第一收放线机构(1)和第二收放线机构(2)之间设置有导线调节机构(6)；所述双刀调节机构(5)包括导轮(51)和调节支架(52)，所述导轮(51)安装在调节支架(52)上，且调节支架(52)的两侧均设有伸缩机构(521)，所述第一收放线机构(1)和第二收放线机构(2)均设置在调节支架(52)的两侧。2.根据权利要求1所述的一种硅棒单线双刀线锯切割机，其特征在于：所述机架(3)安装在第一收放线机构(1)和第二收放线机构(2)之间，所述机架(3)包括工作台(31)和待加工工件(32)。3.根据权利要求2所述的一种硅棒单线双刀线锯切割机，其特征在于：所述工作台(31)上安装有传送架(311)，其中传送架(311)底部安装有导轨(312)，其中传送架(311)底部还安装有驱动机构(313)。4.根据权利要求1所述的一种硅棒单线双刀线锯切割机，其特征在于：所述第一收放线机构(1)和第二收放线机构(2)分别设置在机架(3)的两侧，且两者结构相同，包括升降架(7)和设备平台(8...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨青，卢东阳，王洁，
申请(专利权)人：南通罡丰科技有限公司，
类型：新型
国别省市：