本申请涉及一种降低线切割过程断线率的砂浆过滤器，包括筒体，筒体的内部设有过滤筒和过滤网，过滤筒和过滤网之间设有间隙，筒体的内壁设有环形支撑板，过滤筒顶部固定连接有过滤板，且过滤板的四周搁置在环形支撑板上；过滤筒底部采用倒置的圆锥结构，其中过滤筒底部连接有螺旋导料机构，且螺旋导料机构贯穿筒体的侧壁；筒体的顶部可拆卸连接有顶盖，顶盖的顶部设有电机和砂浆进口，电机的输出轴上设有数个搅拌叶片；筒体的底部可拆卸连接有底座，过滤网设置在底座顶部，底座的底部开设有砂浆出口。本申请的砂浆过滤器方便过滤筒和过滤网的拆卸更换，简化了维护的难度，保证过滤效率的同时保证过滤质量的效果。效率的同时保证过滤质量的效果。效率的同时保证过滤质量的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种降低线切割过程断线率的砂浆过滤器
[0001]本申请涉及半导体加工
，尤其是涉及一种降低线切割过程断线率的砂浆过滤器。
技术介绍
[0002]砂浆过滤器是用于进行砂浆过滤的装置。砂浆是由切削液和GC粉按一定比例调和而成，因考虑到成本问题，所述目前业内砂浆液都是循环利用的，经过砂浆回收系统后将有用的砥砺回收，重复利用，这个过程中因切割晶棒会有不同大小的SiC粉、杂质、大颗粒等会进入到砂浆回收系统中，影响了砂浆的切割能力，会造成以下几方面的影响与风险：砂浆中存有大颗粒容易造成断线，影响碳化硅片状态，造成不良率，且容易导致降低了砂浆的切削能力，容易造成翘曲、线痕。
[0003]目前通过砂浆过滤器的过滤效果对砂浆过滤从而保证切割效果，现有的砂浆过滤机构的安装机构操作不便，不便于对过滤机构的更换以及维修，不利于保证生产效率。
技术实现思路
[0004]为了克服现有技术中存在的问题，本申请提供一种降低线切割过程断线率的砂浆过滤器。
[0005]本申请提供的一种降低线切割过程断线率的砂浆过滤器采用如下的技术方案：
[0006]一种降低线切割过程断线率的砂浆过滤器，包括筒体，筒体的内部设有过滤筒和过滤网，过滤筒和过滤网之间设有间隙，筒体的内壁设有环形支撑板，过滤筒顶部固定连接有过滤板，且过滤板的四周搁置在环形支撑板上；过滤筒底部采用倒置的圆锥结构，其中过滤筒底部连接有螺旋导料机构，且螺旋导料机构贯穿筒体的侧壁；筒体的顶部可拆卸连接有顶盖，顶盖的顶部设有电机和砂浆进口，电机的输出轴上设有数个搅拌叶片；筒体的底部可拆卸连接有底座，过滤网设置在底座顶部，底座的底部开设有砂浆出口。
[0007]通过采用上述技术方案，砂浆过滤器通过筒体内的过滤筒和过滤网的双重过滤在保证效率的同时保证过滤质量。其中过滤筒安装在筒体内部的环形支撑板上，过滤网安装在底座的顶部，并且筒体的顶盖和底座与筒体本身均为可拆卸连接，能够方便过滤筒和过滤网的拆卸更换。顶盖上安装的电机能够驱动输出轴带动搅拌扇叶转动，将进入到筒体内的砂浆进行搅拌，有效提高过滤的效率。过滤筒的底部采用倒置的圆锥结构，过滤出来的大颗粒等杂质会随着重力的作用进入到过滤筒的底部中央，方便螺旋导料机构将杂质输送出去。
[0008]优选的，筒体的上部外部设有夹套，夹套的进水口连接冷水供水管，排水口连接排水管。
[0009]通过采用上述技术方案，筒体的上部外部设有的夹套能够对筒体进行有效的冷却，避免了切割液温度较高的情况。
[0010]优选的，过滤筒的侧面与筒体间设有间隙，且过滤筒采用尼龙滤网和外围的金属
滤网。
[0011]通过采用上述技术方案，过滤筒的侧面与筒体间设有的间隙能够用于过滤筒侧面的过滤，有效提高过滤效率。
[0012]优选的，过滤筒中的滤网采用瓦楞状结构。
[0013]通过采用上述技术方案，过滤筒中的滤网采用瓦楞状结构，增大了过滤面积，从而提高了过滤效率。
[0014]优选的，过滤筒的底部安装的螺旋导料机构包括螺旋导料管和驱动电机，螺旋导料管的入口到出口向上倾斜分布，且驱动电机安装在筒体的外侧面上。
[0015]通过采用上述技术方案，过滤筒的底部的螺旋导料管通过驱动电机的作用，经过螺旋导料管将杂质输送出去，螺旋导料管采用由低到高的输送方式，能够有效的将杂质中的水分沥出。
[0016]优选的，顶盖和筒体、底座和筒体之间均通过法兰密封连接，且连接处设有防水密封层。
[0017]通过采用上述技术方案，顶盖和筒体、底座和筒体之间的法兰连接方便两者进行安装拆卸，并设有的防水密封层能够起到很好的放水密封效果。
[0018]优选的，砂浆进口内活动设置有过滤装置，过滤装置包括固定盘、滤筒和螺纹接口，滤筒贯穿固定盘设置，螺纹接口固定设置与固定盘上，且螺纹接口与滤筒连通。
[0019]通过采用上述技术方案，砂浆进口内设置有的过滤装置能够阻挡第一波杂质，一个作用是进行预过滤，另一方面是减少杂质中的大颗粒对过滤筒和过滤网的损坏。
[0020]优选的，滤筒和砂浆进口之间密封连接，固定盘的外径大小大于砂浆进口的直径大小。
[0021]通过采用上述技术方案，滤筒和砂浆入口之间密封连接，避免了砂浆从缝隙中挤出的风险，固定盘的外径大于砂浆进口的直径，在滤筒受力移动之后，通过固定盘的作用，避免滤筒落入到筒体中的情况。
[0022]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0023]1.砂浆过滤器通过筒体内的过滤筒和过滤网的双重过滤，并在砂浆进口处设有滤筒，保证过滤效率的同时保证过滤质量，还对筒体内的过滤筒和过滤网进行保护；
[0024]2.过滤筒安装在筒体内部的环形支撑板上，过滤网安装在底座的顶部，并且筒体的顶盖和底座与筒体本身均为可拆卸连接，能够方便过滤筒和过滤网的拆卸更换，简化了步骤，降低了维护的难度。
附图说明
[0025]图1是一种降低线切割过程断线率的砂浆过滤器的整体结构示意图；
[0026]图2是图1中A处放大图。
[0027]附图标记说明：1、筒体；11、环形支撑板；12、顶盖；121、电机；1211、输出轴；1212、搅拌叶片；122、砂浆进口；13、底座；131、砂浆出口；14、夹套；141、进水口；142、排水口；15、法兰；151、防水密封层；2、过滤筒；21、过滤板；22、尼龙滤网；23、金属滤网；3、过滤网；4、螺旋导料机构；41、螺旋导料管；42、驱动电机；5、过滤装置；51、固定盘；52、滤筒；53、螺纹接口。
具体实施方式
[0028]以下结合附图1
‑
2对本申请作进一步详细说明。
[0029]本申请实施例公开一种降低线切割过程断线率的砂浆过滤器。
[0030]参照图1及图2，一种降低线切割过程断线率的砂浆过滤器，包括筒体1，筒体1的内部设有过滤筒2和过滤网3，过滤筒2和过滤网3之间设有间隙，筒体1的内壁设有环形支撑板11，过滤筒2顶部固定连接有过滤板21，且过滤板21的四周搁置在环形支撑板11上；过滤筒2底部采用倒置的圆锥结构，其中过滤筒2底部连接有螺旋导料机构4，且螺旋导料机构4贯穿筒体1的侧壁；筒体1的顶部可拆卸连接有顶盖12，顶盖12的顶部设有电机121和砂浆进口122，电机121的输出轴1211上设有数个搅拌叶片1212；筒体1的底部可拆卸连接有底座13，过滤网3设置在底座13顶部，底座13的底部开设有砂浆出口131。砂浆过滤器通过筒体1内的过滤筒2和过滤网3的双重过滤在保证效率的同时保证过滤质量。其中过滤筒2安装在筒体1内部的环形支撑板11上，过滤网3安装在底座13的顶部，并且筒体1的顶盖12和底座13与筒体1本身均为可拆卸连接，能够方便过滤筒2和过滤网3的拆卸更换。顶盖12上安装的电机121能够驱动输出轴1211带动搅拌扇叶转动，将进入到筒体1内的砂浆进行搅拌，有效提高过滤的效率。过滤筒2的底部采用倒置的圆锥结构，过滤出来的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种降低线切割过程断线率的砂浆过滤器，包括筒体(1)，其特征在于：所述筒体(1)的内部设有过滤筒(2)和过滤网(3)，过滤筒(2)和过滤网(3)之间设有间隙，所述筒体(1)的内壁设有环形支撑板(11)，所述过滤筒(2)顶部固定连接有过滤板(21)，且过滤板(21)的四周搁置在环形支撑板(11)上；所述过滤筒(2)底部采用倒置的圆锥结构，其中过滤筒(2)底部连接有螺旋导料机构(4)，且螺旋导料机构(4)贯穿筒体(1)的侧壁；所述筒体(1)的顶部可拆卸连接有顶盖(12)，顶盖(12)的顶部设有电机(121)和砂浆进口(122)，所述电机(121)的输出轴(1211)上设有数个搅拌叶片(1212)；所述筒体(1)的底部可拆卸连接有底座(13)，所述过滤网(3)设置在底座(13)顶部，底座(13)的底部开设有砂浆出口(131)。2.根据权利要求1所述的一种降低线切割过程断线率的砂浆过滤器，其特征在于：所述筒体(1)的上部外部设有夹套(14)，夹套(14)的进水口(141)连接冷水供水管，排水口(142)连接排水管。3.根据权利要求1所述的一种降低线切割过程断线率的砂浆过滤器，其特征在于：所述过滤筒(2)的侧面与筒体(1)间设有间隙，且过滤筒(2)采用尼龙滤网(22)和外围的金属滤网...
【专利技术属性】
技术研发人员：王洁，奚衍罡，
申请(专利权)人：南通罡丰科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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