本发明专利技术属于长晶炉技术领域，尤其是一种用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置，针对长晶炉内壁钙质杂质有很强的附着性，很难将其去除的问题，现提出以下方案，包括水平设置的固定顶环，所述固定顶环的圆周内壁通过铰接固定有四个圆周阵列分布的固定夹爪，所述固定顶环的底部螺纹套接有圆周阵列分布的八组紧固机构，且每组紧固机构包括两个锁紧螺栓，所述固定顶环的圆周外壁中间位置开设有外环槽。本发明专利技术通过设置固定中轴为固定不动，通过清理刷轴筒的转动过程使得固定轴套圆周位移，由于啮合的转轴端齿轮与中轴固定齿轮，使得第二清理柱实现转动，对长晶炉内壁顽固的钙物质杂质进行搅落的过程，可以提高清理的效果。可以提高清理的效果。可以提高清理的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置
[0001]本专利技术涉及长晶炉
，尤其涉及一种用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置。
技术介绍
[0002]碳化硅是制作碳化硅晶片的原料，并且碳化硅晶片是LED固体照明和高频率器件等半导体领域中使用的芯片原料，在科技及军工领域中都占据着很重要的角色，碳化硅晶片的形成是通过生长过程实现的，主要通过长晶炉内部对原料的熔炼，随后通过升降的基座在熔炼原料中基于长晶的环境，随着上升碳化硅会逐渐生长成碳化硅晶柱，通过后续的切割形成碳化硅晶片。
[0003]现有的碳化硅长晶炉存在以下问题：由于碳化硅的原材料是砂子以及木屑等原材料，砂子内含有大量的钙质等矿物质，木屑在燃烧过程中产生大量炭黑，因此在长晶炉长时间使用后，内壁上会附着大量的炭黑以及带有钙质等固体杂质，现在的这些炭黑等杂尘的去除是通过人工的刷落后抽出，针对炭黑等物质可以很容易去除，但是针对钙质杂质有很强的附着性，很难将其去除，而现有技术不易解决此类问题，因此，亟需用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置来解决上述问题。
技术实现思路
[0004]基于长晶炉内壁钙质杂质有很强的附着性，很难将其去除的技术问题，本专利技术提出了一种用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置。
[0005]本专利技术提出的一种用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置，包括水平设置的固定顶环，所述固定顶环的圆周内壁通过铰接固定有四个圆周阵列分布的固定夹爪，所述固定顶环的底部螺纹套接有圆周阵列分布的八组紧固机构，且每组紧固机构包括两个锁紧螺栓，所述固定顶环的圆周外壁中间位置开设有外环槽，所述外环槽的顶部和底部之间滑动卡接有环绕卡块，所述环绕卡块的外壁固定有驱动块，所述驱动块的一端位置套设有两个水平设置的伸缩推杆，且两个伸缩推杆的输出轴之间通过螺栓固定有同一个竖直设置的固定清理箱，所述固定清理箱的底部两侧位置均套接有滑动设置的升降导杆，两个所述升降导杆的底部固定有升降清理箱，所述固定清理箱和升降清理箱的内部均设置有清理机构。
[0006]优选地，所述环绕卡块与外环槽之间设置有环形驱动机构，所述环形驱动机构包括驱动块底部内壁开设的电机舱室和环绕卡块底部开设的驱动齿轮腔室，所述驱动齿轮腔室的底部贯穿设置，所述驱动块位于电机舱室的内部通过螺栓固定有驱动电机，所述驱动电机的输出轴贯穿延伸至驱动齿轮腔室的内部，所述驱动电机的输出轴位于驱动齿轮腔室的内部位置套接有驱动齿轮，所述驱动齿轮的圆周底部凸出环绕卡块的底部水平面。
[0007]优选地，所述环形驱动机构还包括外环槽底部位置焊接固定的环槽齿条，所述驱动齿轮的圆周外壁底部与环槽齿条的顶部相啮合设置。
[0008]优选地，所述固定清理箱和升降清理箱的端位置均设置有护罩机构，所述护罩机
构包括升降清理箱一端内壁开设的伸缩架框槽，所述伸缩架框槽的内壁滑动套设有伸缩架，所述伸缩架的一端四周位置固定有密闭护罩，所述升降清理箱的另一端内壁位于伸缩架框槽内部四角的位置嵌合固定有伸缩电机，且伸缩电机的输出轴凸出至伸缩架框槽的内部，所述伸缩电机的输出轴均套接固定有推进丝杆，所述推进丝杆与伸缩架另一端内壁之间相螺纹套接设置。
[0009]优选地，所述清理机构包括固定清理箱一侧顶部套接的除尘顶管，所述固定清理箱和升降清理箱的一端均设置有落尘腔室，且固定清理箱和升降清理箱的另一端内壁开设有竖直设置的吸尘内腔道，所述固定清理箱的吸尘内腔道的顶部与除尘顶管相套接，所述升降清理箱的吸尘内腔道的顶部套接有竖直设置的伸缩吸尘管，且伸缩吸尘管的顶部与固定清理箱内开设的吸尘内腔道的底部相套接设置。
[0010]优选地，所述落尘腔室的底部位置设置为向下倾斜的结构，所述固定清理箱和升降清理箱的两侧内壁之间固定有竖直设置的喷液板，所述喷液板的进液管延伸至固定清理箱的顶部位置，并且通过外置的导管进行导通。
[0011]优选地，所述清理机构还包括固定清理箱和升降清理箱顶部内壁和底部内壁之间通过轴承固定的清理刷轴筒，所述清理刷轴筒为中空的筒状结构设置，且固定清理箱和升降清理箱的顶部内壁均设置有清洁电机，清洁电机的输出轴与清理刷轴筒的外壁动力连接，所述清理刷轴筒的圆周外壁设置清理柱，其中一个清理柱为固定的固定轴套，所述固定轴套为中空结构，所述固定轴套的圆周内壁转动固定有第二清理柱转轴，且第二清理柱转轴与固定轴套的内壁之间套接有两个清理柱转轴轴承，所述第二清理柱转轴位于固定轴套的一端设置为第二清理柱，且第二清理柱为橡胶材质。
[0012]优选地，所述所述固定清理箱和升降清理箱的顶部内壁和底部内壁之间固定有竖直设置的固定中轴，且固定中轴位于清理刷轴筒的内部，固定中轴与清理刷轴筒的轴心线重合，所述固定中轴的圆周外壁套接固定有水平的中轴固定齿轮，所述第二清理柱转轴位于清理刷轴筒内部的一端固定有转轴端齿轮，且转轴端齿轮与中轴固定齿轮之间相啮合，其中另外的清理柱为固定的第一清理柱，且竖直方向上的清理柱呈螺旋阵列分布。
[0013]优选地，所述升降清理箱的顶部内壁开设有导砂腔室，且导砂腔室为向上的弧形结构，所述伸缩吸尘管的顶部与导砂腔室的顶部相导通，且吸尘内腔道的顶部与导砂腔室的一端底部位置导通，所述升降清理箱位于导砂腔室的顶部和底部位置均铰接固定有橡胶弹板，且橡胶弹板与升降清理箱的内壁之间通过弹簧座相固定。
[0014]优选地，所述导砂腔室的顶部位置位于伸缩吸尘管的底部套接固定有滤砂网，所述升降清理箱的顶部固定有储砂盒，且储砂盒的底部出料管延伸至导砂腔室的顶部位置并导通，所述升降清理箱的顶部内壁位于导砂腔室的另一端底部位置固定有导砂弧板，且导砂弧板为弧形向上导料的结构。
[0015]本专利技术中的有益效果为：
[0016]1、该用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置，通过内部的清理刷轴筒的转动带动圆周位置的清理柱转动，使得内壁的积碳以及钙质杂质进行接触转动脱落，并将外壁主要的灰尘扫落，通过吸尘内腔道的吸尘过程，可以将内部搅落的灰尘吸出，且清理柱的其中一个设置为两段式，其外部的第二清理柱为转动形态，内部的固定中轴为固定不动，通过清理刷轴筒的转动过程使得固定轴套圆周位移，由于啮合的转轴端齿轮与中轴固定齿轮，使得
第二清理柱实现转动，对长晶炉内壁顽固的钙物质杂质进行搅落的过程，可以提高清理的效果。
[0017]2、该用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置，通过设置在清理过程中，通过喷液板的设置，通过外接酸性溶液，可以对清理位置喷出酸液，使得带有钙质的杂质快速的溶解脱落，进一步提高清理的效果。
[0018]3、该用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置，通过设置在清理吸尘过程中，气流的导向通过伸缩吸尘管吸出，在循环时储砂盒内的砂子可以由于重力落下并且通过导砂弧板抬高与清理位置的长晶炉内壁接触碰撞，相当于喷砂进行对内壁的除尘清理过程，并且在晶锭的制作时，砂子是晶锭碳化硅主要的原料，因此残留的砂子还可以当做原料留在长晶炉内部，在下一熔化工序中直接被熔化提纯制作成硅原料，还能在前一清理工序中实现对内壁高效清理的过程。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置，包括水平设置的固定顶环(3)，所述固定顶环(3)的圆周内壁通过铰接固定有四个圆周阵列分布的固定夹爪(4)，所述固定顶环(3)的底部螺纹套接有圆周阵列分布的八组紧固机构，且每组紧固机构包括两个锁紧螺栓(2)，其特征在于，所述固定顶环(3)的圆周外壁中间位置开设有外环槽(1)，所述外环槽(1)的顶部和底部之间滑动卡接有环绕卡块(18)，所述环绕卡块(18)的外壁固定有驱动块(5)，所述驱动块(5)的一端位置套设有两个水平设置的伸缩推杆(15)，且两个伸缩推杆(15)的输出轴之间通过螺栓固定有同一个竖直设置的固定清理箱(6)，所述固定清理箱(6)的底部两侧位置均套接有滑动设置的升降导杆(10)，两个所述升降导杆(10)的底部固定有升降清理箱(9)，所述固定清理箱(6)和升降清理箱(9)的内部均设置有清理机构。2.根据权利要求1所述的一种用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置，其特征在于，所述环绕卡块(18)与外环槽(1)之间设置有环形驱动机构，所述环形驱动机构包括驱动块(5)底部内壁开设的电机舱室(16)和环绕卡块(18)底部开设的驱动齿轮腔室(17)，所述驱动齿轮腔室(17)的底部贯穿设置，所述驱动块(5)位于电机舱室(16)的内部通过螺栓固定有驱动电机(14)，所述驱动电机(14)的输出轴贯穿延伸至驱动齿轮腔室(17)的内部，所述驱动电机(14)的输出轴位于驱动齿轮腔室(17)的内部位置套接有驱动齿轮(13)，所述驱动齿轮(13)的圆周底部凸出环绕卡块(18)的底部水平面。3.根据权利要求2所述的一种用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置，其特征在于，所述环形驱动机构还包括外环槽(1)底部位置焊接固定的环槽齿条(12)，所述驱动齿轮(13)的圆周外壁底部与环槽齿条(12)的顶部相啮合设置。4.根据权利要求1所述的一种用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置，其特征在于，所述固定清理箱(6)和升降清理箱(9)的端位置均设置有护罩机构，所述护罩机构包括升降清理箱(9)一端内壁开设的伸缩架框槽(33)，所述伸缩架框槽(33)的内壁滑动套设有伸缩架(20)，所述伸缩架(20)的一端四周位置固定有密闭护罩(7)，所述升降清理箱(9)的另一端内壁位于伸缩架框槽(33)内部四角的位置嵌合固定有伸缩电机，且伸缩电机的输出轴凸出至伸缩架框槽(33)的内部，所述伸缩电机的输出轴均套接固定有推进丝杆(32)，所述推进丝杆(32)与伸缩架(20)另一端内壁之间相螺纹套接设置。5.根据权利要求1所述的一种用于晶锭生长过程中的长晶炉除尘装置，其特征在于，所述清理机构包括固定清理箱(6)一侧顶部套接的除尘顶管(11)，所述固定清理箱(6)和升降清理箱(9)的一端均设置有落尘腔室(22)，且固定清理箱(6)和升降清理箱(9)的另一端内壁开设有竖直设置的吸尘内腔道(23)，所述固定清理箱(6)的吸尘内腔道(23)的顶部与除尘顶管(11)相套接，所述升降清理箱(9)的吸尘内腔道(23)的顶部套接有竖直设置的伸缩...
【专利技术属性】
技术研发人员：奚衍罡，
申请(专利权)人：南通罡丰科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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