半导体检测用探针平台制造技术

本发明专利技术公开了半导体检测用探针平台，包括底板、设置在底板上的驱动机构和置物台、被驱动机构驱动的升降板、设置在升降板上的探针机构；驱动机构包括与升降板螺接的螺纹杆，安装在螺纹杆上的大小齿轮，螺纹杆的外围设有圆筒，圆筒的内壁上设有错位设置的上齿条和下齿条，上齿条能够与大齿轮啮合，下齿条能够与小齿轮啮合；底板上设有驱动圆筒旋转的蜗轮蜗杆机构，蜗杆上设有能够上下转动的盘形件。本发明专利技术采用一个盘形件，向下转动盘形件，能够实现升降台的快速下降后再缓慢下降。向上转动盘形件，能够实现升降台的缓慢上升后再快速上升。因此，本发明专利技术能够使操作者方向准确地升降所述升降台及其上的探针机构。升降台及其上的探针机构。升降台及其上的探针机构。

【技术实现步骤摘要】
半导体检测用探针平台


[0001]本专利技术涉及半导体检测，具体涉及检测设备。

技术介绍

[0002]授权公告号为CN 214895454 U的专利文件公开了一种半导体检测用探针平台，包括安装底板、驱动机构和探针安装机构。
[0003]其中，驱动机构的上端与升降台螺纹连接，驱动机构包括丝杆、第一齿轮和第三齿轮，丝杆转动连接于安装底板的上表面左侧，丝杆的上端与升降台左端开设的螺纹孔螺纹连接，第一齿轮和第三齿轮均设置于丝杆的下端，第一齿轮位于第三齿轮的上方，驱动机构还包括第二齿轮、第四齿轮和安装柱，安装柱设置于安装底板的上表面左侧，第二齿轮和第四齿轮均转动连接于安装柱的外弧面上端，第二齿轮与第一齿轮啮合连接，第四齿轮与第三齿轮啮合连接，手动转动第四齿轮，第四齿轮通过第三齿轮带动丝杆转动，使升降台带着上方部件沿滑柱向下滑动，由于第四齿轮的外径大于第三齿轮的外径，第四齿轮能够通过第三齿轮带动丝杆快速转动，使升降台带着上方部件沿滑柱快速向下滑动，在检测部件快要接触到半导体元件时，改为旋转第二齿轮，由于第二齿轮的外径小于第一齿轮的外径，因此，第二齿轮转动时第一齿轮带动丝杆缓慢转动，使升降台带动上方部件缓慢下移，以此对装置进行微调，使检测部件接触半导体元件。
[0004]结合授权公告号为CN 214895454 U的专利文件的说明书附图，手动旋转的第四齿轮和第二齿轮，上下设置，且均为水平设置。实际操作中，在操作者旋转了第四齿轮后再去旋转第二齿轮，需要事先确定向前转动使升降台上升，或者，向后转动使升降台下降。在操作者旋转了第二齿轮后再去旋转第四齿轮，需要事先确定向前转动使升降台上升，或者，向后转动使升降台下降。如果操作者不能事先非常确定齿轮旋转方向与升降台升降方向的关系，那么，可能会出现如下后果：探针已下降到位，与待检测部件接触，检测完成后，需要上升升降台以便上升探针，如果操作者误操作，使升降台下降，那么，探针与待检测部件发生挤压。

技术实现思路

[0005]本专利技术所解决的技术问题：使操作者能够方向准确地升降半导体检测用探针平台的升降台。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术提供如下技术方案：半导体检测用探针平台，包括底板、设置在底板上的驱动机构和置物台、被驱动机构驱动的升降板、设置在升降板上的探针机构；驱动机构包括与升降板螺接的螺纹杆，安装在螺纹杆上的大齿轮和小齿轮，螺纹杆的外围设有圆筒，圆筒的旋转中心线平行于螺纹杆的中心线，圆筒的内壁上设有上齿条和下齿条，上齿条和下齿条错位设置，上齿条能够与大齿轮啮合，下齿条能够与小齿轮啮合；底板上设有驱动圆筒旋转的蜗轮蜗杆机构，蜗杆上设有能够上下转动的盘形件。
[0007]向下转动所述盘形件，盘形件带动蜗杆转动，蜗杆驱动蜗轮转动，蜗轮驱动圆筒转
动。圆筒的旋转中心线平行于螺纹杆的中心线，圆筒的旋转中心线偏离螺纹杆的中心线。随着圆筒的旋转，下齿条首先与小齿轮啮合，驱动小齿轮转动，小齿轮驱动螺纹杆转动，此时，大齿轮与上齿条无接触。在下齿条的驱动下，螺纹杆快速转动，实现升降板的快速下降。
[0008]随着圆筒的旋转，下齿条与小齿轮脱离，而上齿条与大齿轮啮合，上齿条驱动螺纹杆缓慢转动，实现升降板的缓慢下降。
[0009]上述升降板的快速下降，能够带动其上的探针机构快速下降，接近置物台上的待测物。在探针机构接近待测物后，上述升降板缓慢下降，直到探针机构的探针与待测物接触。
[0010]测试完成后，向上转动所述盘形件，圆筒反向转动。保持接触的上齿条与大齿轮，驱动升降板缓慢上升。在上齿条与大齿轮脱离啮合后，下齿条与小齿轮啮合，驱动升降板快速上升。
[0011]本专利技术采用一个盘形件，向下转动盘形件，能够实现升降台的快速下降后再缓慢下降。向上转动盘形件，能够实现升降台的缓慢上升后再快速上升。因此，本专利技术能够使操作者方向准确地升降所述升降台及其上的探针机构。
附图说明
[0012]下面结合附图对本专利技术做进一步的说明：
[0013]图1为半导体检测用探针平台的示意图；
[0014]图2为图1的俯视图；
[0015]图3为驱动机构的示意图；
[0016]图4为图3的俯视图；
[0017]图5为圆筒的示意图；
[0018]图6为图5的俯视图。
[0019]图中符号说明：
[0020]10、底板；
[0021]20、驱动机构；21、螺纹杆；22、大齿轮；23、小齿轮；24、圆筒；241、上齿条；242、下齿条；243、转轴；244、大径部分；245、小径部分；251、蜗杆；252、蜗轮；26、盘形件；
[0022]30、置物台；
[0023]40、升降板；41、导向杆；
[0024]50、探针机构。
具体实施方式
[0025]结合图1至图4，半导体检测用探针平台，包括底板10、设置在底板上的驱动机构20和置物台30、被驱动机构驱动的升降板40、设置在升降板上的探针机构50；驱动机构包括与升降板螺接的螺纹杆21，安装在螺纹杆上的大齿轮22和小齿轮23，螺纹杆的外围设有圆筒24，圆筒的旋转中心线平行于螺纹杆的中心线，圆筒的内壁上设有上齿条241和下齿条242，上齿条和下齿条错位设置，上齿条能够与大齿轮啮合，下齿条能够与小齿轮啮合；底板上设有驱动圆筒旋转的蜗轮蜗杆机构，蜗杆251上设有能够上下转动的盘形件26。
[0026]操作者向下转动所述盘形件26，盘形件带动蜗杆251转动，蜗杆驱动蜗轮252转动，
蜗轮驱动圆筒24转动。随着圆筒24的旋转，下齿条242首先与小齿轮23啮合，驱动小齿轮转动，小齿轮驱动螺纹杆21转动，此时，大齿轮22与上齿条241无接触。在下齿条242的驱动下，螺纹杆21快速转动，实现升降板40的快速下降。升降板上的探针机构50快速下降，接近置物台30上的待测物。
[0027]随着圆筒24的旋转，下齿条242与小齿轮23脱离，而上齿条241与大齿轮22啮合，上齿条驱动螺纹杆21缓慢转动，实现升降板40的缓慢下降。升降板上的探针机构50缓慢下降，直到探针与置物台30上的待测物接触。接触时，上齿条241与大齿轮22保持啮合。由于本专利技术采用的蜗轮蜗杆机构，具有自锁功能，上齿条241与大齿轮22保持啮合，能够使探针与待测物稳定接触，不离不弃。
[0028]测试完成后，操作者向上转动所述盘形件26，圆筒24反向转动。保持接触的上齿条241与大齿轮22，驱动升降板40缓慢上升。在上齿条与大齿轮脱离啮合后，下齿条242与小齿轮23啮合，驱动升降板快速上升复位。
[0029]结合图5、图6，圆筒24顶部开口，底部密封，圆筒的底部设有转轴243，转轴通过轴承枢接在底板10上，蜗轮252安装在转轴上，与蜗轮啮合的蜗杆通过轴承和轴承座安装在底板上，蜗杆水平设置。
[0030]圆筒24内壁包括上下设置的大径部分244和小径部分245，上齿条241设置在大径部分上，呈弧形状。下齿条242设置在小径部分上，也本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.半导体检测用探针平台，包括底板(10)、设置在底板上的驱动机构(20)和置物台(30)、被驱动机构驱动的升降板(40)、设置在升降板上的探针机构(50)；驱动机构包括与升降板螺接的螺纹杆(21)，安装在螺纹杆上的大齿轮(22)和小齿轮(23)，其特征在于：螺纹杆的外围设有圆筒(24)，圆筒的旋转中心线平行于螺纹杆的中心线，圆筒的内壁上设有上齿条(241)和下齿条(242)，上齿条和下齿条错位设置，上齿条能够与大齿轮啮合，下齿条能够与小齿轮啮合；底板上设有驱动圆筒旋转的蜗轮蜗杆机构，蜗杆(251)上设有能够上下转动的盘形件(26)。2.如权利要求1所述的半导体检测用探针平台，其特征在于：圆筒(24)的底部设有转轴(243)，转轴枢接在底板(10...

【专利技术属性】
技术研发人员：林艺宾，
申请(专利权)人：苏州工业园区浩高电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：