PVD腔室体单独破空除霜系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种PVD腔室体单独破空除霜系统，包括：中缝总管、辅助管路、机械泵、第一开关阀、第二开关阀、第三开关阀、控制阀组件、加热腔室及多个加工腔室，所述加热腔室通过所述控制阀组件与相邻的所述加工腔室连通或阻断，所述中缝总管用于与所述加热腔室及多个所述加工腔室连通或中断，且所述中缝总管通过所述第一开关阀与所述第二开关阀与所述加热腔室连通或阻断，且所述中缝总管位于所述第一开关阀与所述第二开关阀之间的中缝管路为加热腔室中缝管路，所述辅助管路通过所述第一开关阀与所述加热腔室中缝管路连通或中断，所述第三开关阀装设在所述辅助管路上，且所述辅助管路与所述加热腔室均与所述机械泵连接配合。路与所述加热腔室均与所述机械泵连接配合。路与所述加热腔室均与所述机械泵连接配合。

【技术实现步骤摘要】
PVD腔室体单独破空除霜系统


[0001]本技术涉及HJT(HJT:Heterjunction Technology的缩写，是一种N型单晶双面电池)太阳能电池加工的
，特别是涉及PVD腔室体单独破空除霜系统。

技术介绍

[0002]PVD是Physical Vapor Deposition的缩写，是一种物理气相沉积法。在对HJT异质结电池进行制造时需要经过PVD镀膜工序。即HJT异质结电池在进入PVD真空设备的过程中，HJT异质结电池会依此经过多个PVD中的多个腔室进行处理，例如：过渡腔室、加热腔室、工艺腔室、冷却腔室等。同时，PVD真空设备会借助中控台对各个腔室进行控制或监控。传统的PVD真空设备会将中控台利用主管路分支出多个支路管路实现与各个腔室进行连通，但是，由于不同腔室对气压要求或真空度要求不同，例如：在加热腔室中会积攒水汽，需要对加热腔室进行破空除霜，此时加热腔室对应设置的中缝管路是与其它腔室的中缝管路相连通，若对加热腔室进行单独抽真空会在中缝管中出现气流对冲的现象，即传统PVD真空设备无法对加热腔室对应的中缝管路部分进行局部的单独抽真空。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要针对加热腔室进行单独抽真空时加热腔室对应的中缝管路会出现气流对冲的问题，提供一种PVD腔室体单独破空除霜系统。
[0004]一种PVD腔室体单独破空除霜系统。所述PVD腔室体单独破空除霜系统包括：中缝总管、辅助管路、机械泵、第一开关阀、第二开关阀、第三开关阀、控制阀组件、加热腔室及多个加工腔室，所述加热腔室通过所述控制阀组件与相邻的所述加工腔室连通或阻断，所述中缝总管用于与所述加热腔室及多个所述加工腔室连通或中断，且所述中缝总管通过所述第一开关阀与所述第二开关阀与所述加热腔室连通或阻断，且所述中缝总管位于所述第一开关阀与所述第二开关阀之间的中缝管路为加热腔室中缝管路，所述辅助管路通过所述第一开关阀与所述加热腔室中缝管路连通或中断，所述第三开关阀装设在所述辅助管路上，且所述辅助管路与所述加热腔室均与所述机械泵连接配合。
[0005]在其中一个实施例中，所述PVD腔室体单独破空除霜系统还包括过气总管与过气支管，所述过气支管与所述过气总管相连通，所述机械泵装设在所述过气总管上，所述过气总管通过所述过气支管与所述加热腔室相连，且所述过气总管与多个所述加工腔室可选择地相连通。
[0006]在其中一个实施例中，所述PVD腔室体单独破空除霜系统还包括第四开关阀，所述机械泵装设在所述过气总管的端部，所述过气支管与所述过气总管并联连接，所述第四开关阀装设在所述过气总管上，且所述第四开关阀位于所述过气支管两连接端之间。
[0007]在其中一个实施例中，所述PVD腔室体单独破空除霜系统还包括第五开关阀，所述第五开关阀装设在所述过气支管上。
[0008]在其中一个实施例中，所述PVD腔室体单独破空除霜系统还包括第一分子泵与第
二分子泵，所述第一分子泵的一端与所述加热腔室相连通，所述第一分子泵的另一端与所述过气支管相连通，所述第二分子泵的一端与所述加热腔室相连通，所述第二分子泵的另一端与所述过气支管相连通。
[0009]在其中一个实施例中，所述第五开关阀包括第一调节阀与第二调节阀，所述第一调节阀与所述第二调节阀装设在所述过气支管的上，且所述第一分子泵与所述过气支管的连接处及所述第二分子泵与所述过气支管的连接处位于所述第一调节阀与所述第二调节阀之间。
[0010]在其中一个实施例中，所述PVD腔室体单独破空除霜系统还包括第一真空计与第二真空计，所述第一真空计装设在所述辅助管路上，所述第二真空计装设在所述过气支管上。
[0011]在其中一个实施例中，所述控制阀组件包括第一控制阀与第二控制阀，所述第一控制阀用于连通或中断所述加热腔室与其中一侧相邻的所述加工腔室，所述第二控制阀用于连通或中断所述加热腔室是与另一侧相邻的所述加工腔室。
[0012]在其中一个实施例中，所述PVD腔室体单独破空除霜系统还包括温控器，所述温控器装设在所述加热腔室上。
[0013]在其中一个实施例中，所述机械泵包括罗茨泵与螺杆泵，所述罗茨泵与所述螺杆泵均装设在所述过气总管上。
[0014]上述PVD腔室体单独破空除霜系统当需要第加热腔室进行破空除霜时，首先通过控制阀组件阻断加热腔室与相邻加工腔室的连通，然后关闭第二阀门，即此时阻断了加热腔室中缝管路与中缝管路后续管路的连通。根据安装要求，关闭加热腔室上相应的分子泵。进一步地，打开第一开关阀，借助机械泵的作用加热腔室内会灌入空气，同时因为加热腔室中缝管路与加热腔室相连通，加热腔室中缝管路也会实现破空(即可以向加热腔室中缝管路灌入空气)，即实现了加热腔室以及加热腔室中缝管路的气压调整，待加热腔室内的气压到达预设要求后，便可以对加热腔室进行开腔室处理(除水或除霜)。待对加热腔室处理完成后，需要重新对加热腔室抽真空，在第一开关阀打开的状态下，机械泵便可以对加热腔室进行抽真空，同时打开辅助管路上的第三开关阀，此时机械泵利用辅助管路与加热腔室中缝管路相连通，机械泵便能够实现对加热腔室中缝管路的抽真空，即实现了对加热腔室与加热腔室中缝管路的抽真空处理，待加热腔室中缝管路内的气压达到预设要求后，关闭第三开关阀，打开第二开关阀，实现加热腔室中锋管路与中缝总管的重新连通，因为加热腔室中缝管路的气压与中缝总管的气压相对稳定，因此不会出现气流对冲的情况。
附图说明
[0015]图1为PVD腔室体单独破空除霜系统的简化流程图；
[0016]图2为PVD腔室体单独破空除霜系统的电控图。
[0017]10、加热腔室，20、加工腔室，30、中控机构，100、中缝总管，101、加热腔室中缝管路，110、第一开关阀，120、第二开关阀，200、辅助管路，210、第三开关阀，300、机械泵，310、罗茨泵，320、螺杆泵，400、控制阀组件，410、第一控制阀，420、第二控制阀，500、过气总管，510、过气支管，520、第四开关阀，530、第五开关阀，531、第一调节阀，532、第二调节阀，540、第一分子泵，550、第二分子泵，600、第一真空计，700、第二真空计。
具体实施方式
[0018]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0019]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PVD腔室体单独破空除霜系统，其特征在于，所述PVD腔室体单独破空除霜系统包括：中缝总管、辅助管路、机械泵、第一开关阀、第二开关阀、第三开关阀、控制阀组件、加热腔室及多个加工腔室，所述加热腔室通过所述控制阀组件与相邻的所述加工腔室连通或阻断，所述中缝总管用于与所述加热腔室及多个所述加工腔室连通或中断，且所述中缝总管通过所述第一开关阀及所述第二开关阀与所述加热腔室连通或阻断，且所述中缝总管位于所述第一开关阀与所述第二开关阀之间的中缝管路为加热腔室中缝管路，所述辅助管路通过所述第一开关阀与所述加热腔室中缝管路连通或中断，所述第三开关阀装设在所述辅助管路上，且所述辅助管路与所述加热腔室均与所述机械泵连接配合。2.根据权利要求1所述的PVD腔室体单独破空除霜系统，其特征在于，所述PVD腔室体单独破空除霜系统还包括过气总管与过气支管，所述过气支管与所述过气总管相连通，所述机械泵装设在所述过气总管上，所述过气总管通过所述过气支管与所述加热腔室相连，且所述过气总管与多个所述加工腔室可选择地相连通。3.根据权利要求2所述的PVD腔室体单独破空除霜系统，其特征在于，所述PVD腔室体单独破空除霜系统还包括第四开关阀，所述机械泵装设在所述过气总管的端部，所述过气支管与所述过气总管并联连接，所述第四开关阀装设在所述过气总管上，且所述第四开关阀位于所述过气支管两连接端之间。4.根据权利要求3所述的PVD腔室体单独破空除霜系统，其特征在于，所述PVD腔室体单独破空除霜系统还包括第五开关阀，所述第五开关阀装设在所述过气支管上。5.根据权利要求4...

【专利技术属性】
技术研发人员：王陈，苏世杰，张成虎，朱远康，章伟冠，任民鑫，李双洲，唐文胜，
申请(专利权)人：通威太阳能安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：