一种气弹簧组件及半导体设备腔室制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体设备领域，提供了一种气弹簧组件及半导体设备腔室，包括：固定座，调节机构，调节机构包括底座、滑块和顶丝，滑块与底座滑动连接且具有预定的滑动行程，预定的滑动行程介于底座的第一位置和第二位置；底座设置有第一螺纹孔，顶丝穿过第一螺纹孔螺纹推动滑块；气弹簧的一端与所述固定座铰接，另一端与滑块铰接；滑块位于第一位置且盖板开启时，气弹簧处于最大行程；当滑块位于第二位置时，气弹簧处于自由行程状态。通过设置可调节的滑块来实现气弹簧的行程调整，解决了气弹簧在最大行程状态下使用易损坏及自由行程状态下安装困难的技术问题，达到了安装简单且延长气弹簧使用寿命的技术效果。气弹簧使用寿命的技术效果。气弹簧使用寿命的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
一种气弹簧组件及半导体设备腔室


[0001]本技术涉及半导体设备领域，尤其是涉及一种气弹簧组件及半导体设备腔室。

技术介绍

[0002]气弹簧是一种可以实现支撑、缓冲、制动、高度及角度调节等功能的零件，主要由活塞杆、活塞、密封导向套、填充物、压力缸和接头等部分组成。在半导体设备制造领域，很多设备都会用到气弹簧来支撑半导体设备的盖板开启。但是在工作过程中发现，每次开启盖板都会使得气弹簧处于满行程状态，频繁开合使气弹簧频繁在满行程状态与不满行程状态切换，气弹簧在满行程状态下使用非常容易损坏，气弹簧在不满行程状态下使用其工作寿命可以大大延长。但同时，在不满行程状态下气弹簧安装比较困难。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种气弹簧组件及半导体设备腔室，以解决了现有技术中存在的气弹簧在满行程状态下使用易损坏及不满行程状态下安装困难的技术问题。
[0004]第一个方面，本技术实施例提供了一种气弹簧组件，包括：固定座，用于与腔体的侧壁固定连接；调节机构，所述调节机构包括底座、滑块和顶丝，所述底座用于与铰接在所述腔体上的盖板固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气弹簧组件，其特征在于，包括：固定座，用于与腔体的侧壁固定连接；调节机构，所述调节机构包括底座、滑块和顶丝，所述底座用于与铰接在所述腔体上的盖板固定连接；所述滑块与所述底座滑动连接且具有预定的滑动行程，所述预定的滑动行程介于所述底座的第一位置和第二位置，所述第二位置相对于所述第一位置更靠近所述盖板和所述腔体的铰接位置；所述底座远离所述第二位置的一端设置有第一螺纹孔，所述顶丝与所述第一螺纹孔螺纹连接，用于调节所述滑块在预定的滑动行程内的滑动位置；气弹簧，所述气弹簧的一端与所述固定座铰接，另一端与所述滑块铰接；所述滑块位于所述第一位置且所述盖板开启时，所述气弹簧处于最大行程；当所述滑块位于所述第二位置时，所述气弹簧处于自由行程状态。2.根据权利要求1所述的气弹簧组件，其特征在于，所述底座包括：垂直于滑动方向的沉孔槽，所述沉孔槽包括连通的第一条形槽和第二条形槽，所述第一条形槽位于所述第二条形槽靠近所述盖板的一侧，且所述第一条形槽的开口尺寸大于所述第二条形槽的开口尺寸；所述滑块包括依次连接的第一凸块和第二凸块，所述第一凸块的尺寸大于所述第二凸块的尺寸，且小于所述第一条形槽的尺寸，用于与所述第一条形槽适配，且所述第二凸块的尺寸小于所述第二条形槽的尺寸，用于与所述第二条形槽适配，以使得所述滑块在所述底座中滑动。3.根据权利要求2所述的气弹簧组件，其特征在于，所述第一凸块沿下沉通槽中心线方向的尺寸略小于所述第一条形槽的深度。4.根据权利要求1所述的气弹簧组件，其特征在于,所述底座中心设置沿盖板侧壁垂直方向贯通的梯形凹槽，所述滑块为梯形棱柱；所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王亮，曲晓军，许龙旭，
申请(专利权)人：拓荆科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：