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本实用新型涉及半导体设备领域，提供了一种气弹簧组件及半导体设备腔室，包括：固定座，调节机构，调节机构包括底座、滑块和顶丝，滑块与底座滑动连接且具有预定的滑动行程，预定的滑动行程介于底座的第一位置和第二位置；底座设置有第一螺纹孔，顶丝穿过第一...
该专利属于拓荆科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技股份有限公司授权不得商用。

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