一种用于单晶硅片的退火支架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于单晶硅片的退火支架，包括底座，底座的顶部中心处转动连接有底部支架，底座的内腔固定安装有电机，且电机的输出端与底部支架固定连接，底部支架通过调节机构连接装配有顶部支架，底部支架与顶部支架的相对侧壁均开设有夹持槽。通过底部支架带动单晶硅片进行旋转，对单晶硅片进行冷却降温，顶部支架的高度通过调节机构进行调节，方便对不同尺寸大小的单晶硅片进行夹持固定，同时在调节机构内设置有定位组件，通过定位组件可以保持对顶部支架调节后位置的稳定，在调节机构的固定轴内开设有辅助散热腔和散热槽，通过辅助散热腔与散热槽的配合，便于单晶硅片附近的空气流动，加强对单晶硅片的冷却效果。加强对单晶硅片的冷却效果。加强对单晶硅片的冷却效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶硅片的退火支架


[0001]本技术涉及单晶硅片退火
，具体涉及一种用于单晶硅片的退火支架。

技术介绍

[0002]通过单晶硅所制作的单晶硅片是一种半导体材料，由于在加工的过程中单晶硅片内含有氧，氧会吸取杂质导致影响产品后续的使用质量，通过对单晶硅片进行退火操作，可以使其表面附近的氧挥发，减少其表面杂质的吸附，提高产品质量。现有的单晶硅在退火冷却的过程中多数为通过自然降温冷却，冷却的效率较低。为此，我们提出一种用于单晶硅片的退火支架。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于单晶硅片的退火支架，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于单晶硅片的退火支架，包括底座，所述底座的顶部中心处转动连接有底部支架，所述底座的内腔固定安装有电机，且电机的输出端与底部支架固定连接，所述底部支架通过调节机构连接装配有顶部支架，所述底部支架与顶部支架的相对侧壁均开设有夹持槽；
[0005]所述调节机构包括固定轴、调节螺杆和限位杆，所述固定轴和限位杆均固定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶硅片的退火支架，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)的顶部中心处转动连接有底部支架(2)，所述底座(1)的内腔固定安装有电机(9)，且电机(9)的输出端与底部支架(2)固定连接，所述底部支架(2)通过调节机构(3)连接装配有顶部支架(4)，所述底部支架(2)与顶部支架(4)的相对侧壁均开设有夹持槽(5)；所述调节机构(3)包括固定轴(31)、调节螺杆(32)和限位杆(33)，所述固定轴(31)和限位杆(33)均固定安装在底部支架(2)的表面，所述固定轴(31)的顶部中心处转动连接有调节螺杆(32)，所述调节螺杆(32)与顶部支架(4)相螺接，所述限位杆(33)贯穿顶部支架(4)。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片的退火支架，其特征在于：所述限位杆(33)的数量至少为两个，两个所述限位杆(33)以固定轴(31)为中心处呈左右对称分布。3.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片的退火支架，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜珂，嵇星，张野，
申请(专利权)人：辽宁博芯科半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：