一种单晶硅棒的滚磨设备制造技术

技术编号:46571379 阅读:0 留言:0更新日期:2025-10-10 21:17
本技术公开了一种单晶硅棒的滚磨设备,包括滚磨机床主体,滚磨机床主体内开设有加工腔,加工腔内固定装配有定位机构,定位机构的数量至少为两组,两组定位机构呈左、右对称分布在加工腔内。在定位机构采用激光发射器向对向发射激光的方式对硅棒的夹持位置进行判断,当硅棒在夹具内出现夹持位置的倾斜时,对滚磨机床进行停床,及时对硅棒的夹持位置进行调整,不再需要使用传统的反复停床,采用游标卡尺对硅棒的夹持位置进行测量的检测方式,节约对硅棒进行滚磨过程中夹持位置的检验步骤,提高对硅棒的滚磨加工效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅棒加工,具体涉及一种单晶硅棒的滚磨设备


技术介绍

1、单晶硅棒滚磨是一种用于加工单晶硅棒的精密机械加工方法。通过使用滚磨设备,可以将单晶硅棒按尺寸进行滚磨加工操作。现有的针对单晶硅棒进行滚磨加工的设备机床大多采用两端设置夹具对硅棒进行夹持,然后再按照硅棒端面所画的晶线对硅棒进行滚磨加工,在加工的过程中为了保持硅棒在夹具内保持左、右两端处于相同的水平位置,需要时不时的暂停滚磨设备,采用游标卡尺对硅棒的两端进行测量,确保硅棒在夹具内两端处于水平位置,避免在滚磨的过程中硅棒的夹持位置产生偏移,从而造成后续对硅棒的滚磨质量低下,采用游标卡尺测量硅棒两端的测量方法操作步骤繁琐,费时费力。为此,我们提出一种单晶硅棒的滚磨设备。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种单晶硅棒的滚磨设备,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种单晶硅棒的滚磨设备,包括滚磨机床主体,所述滚磨机床主体内开设有加工腔,所述加工腔内固定装配有定位机构,所述定位机构的数量至少本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶硅棒的滚磨设备,包括滚磨机床主体(1),所述滚磨机床主体(1)内开设有加工腔(2),其特征在于:所述加工腔(2)内固定装配有定位机构(3),所述定位机构(3)的数量至少为两组,两组所述定位机构(3)呈左、右对称分布在加工腔(2)内;

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒的滚磨设备,其特征在于:所述电动伸缩杆(32)的数量为四个,四个所述电动伸缩杆(32)以固定架(31)的中心处呈圆周均匀分布。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒的滚磨设备,其特征在于:所述固定架(31)呈环形。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒的滚磨设备,其特征在于:...

【技术特征摘要】

1.一种单晶硅棒的滚磨设备,包括滚磨机床主体(1),所述滚磨机床主体(1)内开设有加工腔(2),其特征在于:所述加工腔(2)内固定装配有定位机构(3),所述定位机构(3)的数量至少为两组,两组所述定位机构(3)呈左、右对称分布在加工腔(2)内;

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒的滚磨设备,其特征在于:所述电动伸缩杆(32)的数量为四个,四个所述电动伸缩杆(32)以固定架(31)的中心处呈圆周均匀分布。

3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员:张国峰郭党刘亮李立书
申请(专利权)人:辽宁博芯科半导体材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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