一种半导体材料测试的四探针测试仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体材料测试的四探针测试仪，包括测试仪主体和操作台，操作台的顶部固定连接有固定轴，固定轴的外侧壁套接有升降架，升降架的侧壁固定连接有连接架，升降架通过连接架固定装配有探头装配架，探头装配架内嵌入安装有测试探头，操作台的表面嵌入安装有固定板，固定板的表面装配有材料放置台，材料放置台内嵌入安装有固定组件，材料放置台通过固定组件与固定板吸附固定。可以通过移动材料放置台来完成测试位置的改变，操作过程简单、方便，通过本装置可以不再需要使用镊子等工具对待测试材料进行多次移动，节约测试过程，提高测试效率。提高测试效率。提高测试效率。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体材料测试的四探针测试仪


[0001]本技术涉及半导体材料测试
，具体涉及一种半导体材料测试的四探针测试仪。

技术介绍

[0002]四探针测试仪是用于测试半导体材料电阻率以及电导率等性能数据的测试仪器，在使用的过程中通过下压测试探头，将测试探头置于半导体材料的表面使测试探头对其产生压力，完成对半导体材料数据的测试。现有的四探针测试仪在对半导体材料进行测试的过程中需要将半导体材料放置于测试平台上，由于有的待测试材料的厚度较薄，在测试的过程中需要通过手持镊子对半导体材料进行夹持操作，为了保证测试数据的准确性，经常需要对半导体材料的不同位置进行测试操作，而现有的用于放置待测试材料的测试平台多为固定设置，通过手持镊子对待测试材料进行移动的方式较为费时费力。为此，我们提出一种半导体材料测试的四探针测试仪。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种半导体材料测试的四探针测试仪，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体材料测试的四探针测试仪，包括测试仪主体和操作台，所述操作台的顶部固定连接有固定轴，所述固定轴的外侧壁套接有升降架，所述升降架的侧壁固定连接有连接架，所述升降架通过连接架固定装配有探头装配架，所述探头装配架内嵌入安装有测试探头，所述操作台的表面嵌入安装有固定板，所述固定板的表面装配有材料放置台，所述材料放置台内嵌入安装有固定组件，所述材料放置台通过固定组件与固定板吸附固定。
[0005]优选的，所述连接架包括连接板，所述连接板的侧壁通过固定螺丝与升降架的侧壁固定连接，所述连接板的侧壁焊接固定有连接臂，所述连接板通过连接臂与装配架相固定连接，所述连接臂的数量至少为两个。
[0006]优选的，所述材料放置台包括支撑块，所述支撑块的顶部一体成型有支撑架，所述支撑架的顶部固定连接有放置板，所述支撑架的底部螺接有贯穿至放置板内的固定螺栓，所述支撑块的内腔开设有安装腔。
[0007]优选的，所述固定螺栓的数量至少为八个，八个所述的固定螺栓以支撑架的中心处呈圆周均匀分布。
[0008]优选的，所述固定组件包括吸附块，所述吸附块嵌入安装在支撑块的底部，所述吸附块的顶部中心处一体成型有铁芯，所述铁芯的外侧壁缠绕有线圈，所述线圈电连接有控制开关和总开关，所述控制开关和总开关分别固定安装在支撑块的侧壁，所述总开关与蓄电池电连接，所述蓄电池嵌入安装在电池仓内。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：一种半导体材料测试的四探针测试
仪，在操作台的表面设置有可以移动的材料放置台，在测试的过程中将待测试的半导体材料放置于材料放置台的表面后，材料放置台通过内部设置的固定组件与操作台表面的固定板吸附固定，控制升降架下压测试探头后，通过测试探头对半导体材料的表面进行数据的测试，材料放置台通过固定组件与固定板之间吸附固定，当需要对测试材料的测试位置进行调节时，可以通过移动材料放置台来完成测试位置的改变，操作过程简单、方便，通过本装置可以不再需要使用镊子等工具对待测试材料进行多次移动，节约测试过程，提高测试效率。
附图说明
[0010]图1为本技术的立体图。
[0011]图2为图1中的a处细节图。
[0012]图3为本技术材料放置台的立体图。
[0013]图4为本技术材料放置台的结构示意图。
[0014]图5为本技术固定组件的结构示意图。
[0015]图中：1、测试仪主体，2、操作台，3、固定轴，4、升降架，5、连接架，51、连接板，52、固定螺丝，53、连接臂，6、探头装配架，7、测试探头，8、固定板，9、材料放置台，91、支撑块，92、支撑架，93、固定螺栓，94、放置板，95、安装腔，10、固定组件，101、吸附块，102、铁芯，103、线圈，104、控制开关，105、总开关，106、蓄电池，107、电池仓，11导线。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0017]请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本技术提供一种技术方案：一种半导体材料测试的四探针测试仪，包括测试仪主体1和操作台2，测试仪主体1采用现有技术中经常应用的测试仪，其具有对数值进行显示的显示屏，以及对测试参数进行调节的操作按键，将测试参数输入到测试仪主体1内后通过测试探头7对材料进行各项性能数据的测试。
[0018]操作台2的顶部焊接固定有固定轴3，固定轴3的外侧壁套接有升降架4，升降架4的侧壁设置有升降旋钮，通过向不同的方向旋转升降旋钮控制升降架4沿着固定轴3进行高度位置的调节(此为现有技术的成熟应用，在此不再过于赘述)，升降架4的侧壁通过连接架5与探头装配架6固定装配，探头装配架6内装配有测试探头7，测试探头7通过导线11与测试仪主体1电信号连接，通过升降架4带动测试探头7的上下移动，使测试探头7下压至待测试材料的表面，对材料进行测试操作。
[0019]如图2中所示，连接架5包括连接板51，连接板51通过固定螺丝52与升降架4的侧壁固定连接，连接板51的侧壁焊接固定有连接臂53的一端，连接臂53的另一端焊接在探头装配架6的侧壁，连接臂53的数量至少为两个，通过设置两个连接臂53保证装配架6与连接板51之间连接的稳定性。
[0020]操作台2的表面开设有装配槽，装配槽内焊接固定有固定板8，固定板8采样铁质材料铸造而成，固定板8的表面吸附固定有材料放置台9，材料放置台9用于待测试材料的放置，材料放置台9内装配有固定组件10，材料放置台9通过固定组件10与固定板8之间吸附固
定。
[0021]由于一些待测试的材料具有较薄的厚度，在放置到材料放置台9的表面后需要使用镊子等才能对材料进行移动操作，而在进行测试的过程中最好是对材料进行多点位的测试，保证对材料各项数据测试的准确性，本装置采用固定组件10对材料放置台9进行位置的固定，当需要对测试的位置进行调节时，可以手握材料放置台9直接对材料放置台9进行位置的移动，改变位于材料放置台9表面测试材料的测试位置，操作更加简单、方便。
[0022]如图4中所示，材料放置台9包括支撑块91，支撑块91用于对材料放置台9的抓握，支撑块91的顶部一体成型有支撑架92，支撑架92通过固定螺栓93与放置板94相固定连接，放置板94用于待测试材料的放置，通过设置支撑架92加大支撑块91对放置板94的支撑面积，使放置板94与支撑块91之间的连接更加稳定，固定螺栓93的数量至少为八个，通过设置八个固定螺栓93进一步加强支撑架92与放置板94之间的固定稳定，支撑块91的内腔开设有安装腔95，固定组件10装配在安装腔95内。
[0023]如图5中所示，固定组件10包括吸附块101，吸附块101同样为铁材料铸造，吸附块101嵌入安装在支撑块91的底部，吸附块101的顶部一体成型有铁芯102，铁芯1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体材料测试的四探针测试仪，包括测试仪主体(1)和操作台(2)，其特征在于：所述操作台(2)的顶部固定连接有固定轴(3)，所述固定轴(3)的外侧壁套接有升降架(4)，所述升降架(4)的侧壁固定连接有连接架(5)，所述升降架(4)通过连接架(5)固定装配有探头装配架(6)，所述探头装配架(6)内嵌入安装有测试探头(7)，所述操作台(2)的表面嵌入安装有固定板(8)，所述固定板(8)的表面装配有材料放置台(9)，所述材料放置台(9)内嵌入安装有固定组件(10)，所述材料放置台(9)通过固定组件(10)与固定板(8)吸附固定。2.根据权利要求1所述的一种半导体材料测试的四探针测试仪，其特征在于：所述连接架(5)包括连接板(51)，所述连接板(51)的侧壁通过固定螺丝(52)与升降架(4)的侧壁固定连接，所述连接板(51)的侧壁焊接固定有连接臂(53)，所述连接板(51)通过连接臂(53)与装配架(6)相固定连接，所述连接臂(53)的数量至少为两个。3.根据权利要求1所述的一种半导体材料测试的四探针测试仪，其特征在于：所述材料...

【专利技术属性】
技术研发人员：嵇星，王硕，朱粤明，
申请(专利权)人：辽宁博芯科半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：