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本实用新型公开了一种用于单晶硅片的退火支架，包括底座，底座的顶部中心处转动连接有底部支架，底座的内腔固定安装有电机，且电机的输出端与底部支架固定连接，底部支架通过调节机构连接装配有顶部支架，底部支架与顶部支架的相对侧壁均开设有夹持槽。通过底...
该专利属于辽宁博芯科半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过辽宁博芯科半导体材料有限公司授权不得商用。

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