真空加工治具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种真空加工治具，从上往下依次包括密封盖板组件和真空腔体组件，密封盖板组件盖合在真空腔体组件上；腔体内的中间位置设置有静电吸盘，静电吸盘沿着X轴负方向一侧的腔体上设置有与静电吸盘相连接的线缆密封板，静电吸盘沿着Y轴正方向一侧的腔体的外侧设置有两个第一接头，静电吸盘沿着Y轴负方向一侧的腔体的外侧设置有真空过滤系统。本实用新型专利技术的静电吸盘采用静电吸附方式，替代了负压吸附方式，真空环境下加工，隔绝了外部粉尘对加工的影响，充满的特殊气体又可以中和加工过程中产生的有毒气体，真空发生器和过滤器的配合可以有效的过滤加工产生的粉尘，减少粉尘对加工产生的影响。尘对加工产生的影响。尘对加工产生的影响。

【技术实现步骤摘要】
真空加工治具


[0001]本技术涉及真空治具相关
，尤其涉及一种真空加工治具。

技术介绍

[0002]在激光扫描加工过程中，对于有些特殊类产品，在加工过程中会产生有毒气体，这些有毒气体如果大量产生，又不能及时处理的情况下，对操作人员会产生极大的危害，扩散到设备外也会对环境造成影响。
[0003]有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种真空加工治具，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种真空加工治具。
[0005]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0006]真空加工治具，从上往下依次包括密封盖板组件和真空腔体组件，密封盖板组件盖合在真空腔体组件上；密封盖板组件包括盖板，真空腔体组件包括腔体，盖板盖合在腔体上，腔体内的中间位置设置有静电吸盘，静电吸盘沿着X轴负方向一侧的腔体上设置有与静电吸盘相连接的线缆密封板，静电吸盘沿着Y轴正方向一侧的腔体的外侧设置有两个第一接头，静电吸盘沿着Y轴负方向一侧的腔体的外侧设置有真空过滤系统，真空过滤系统沿着X轴的正方向依次包括第一法兰、真空发生器、过滤器和第二法兰，第一法兰沿着X轴负方向的一侧通过第二密封垫与腔体相连接，第一法兰沿着X轴正方向的一侧通过波纹管与真空发生器相连接，第二法兰沿着X轴正方向的一侧通过第二密封垫与腔体相连接，第二法兰沿着X轴负方向的一侧依次通过过滤器和波纹管与真空发生器相连接，真空发生器上沿着Y轴负方向的一侧连接设置有第二接头。
[0007]作为本技术的进一步改进，盖板上的中间位置设置有窗口，窗口上方的盖板上设置有压板，压板和窗口之间设置有第一密封垫，盖板和窗口之间设置有第一密封圈。
[0008]作为本技术的进一步改进，盖板上设置有若干个把手。
[0009]作为本技术的进一步改进，窗口为石英玻璃结构设置。
[0010]作为本技术的进一步改进，静电吸盘正下方的腔体的底部设置有封板，封板和腔体之间设置有第二密封圈。
[0011]作为本技术的进一步改进，腔体四周的顶部从外到内依次设置有第三密封圈和第四密封圈，第三密封圈和第四密封圈均设置在盖板和腔体之间。
[0012]借由上述方案，本技术至少具有以下优点：
[0013]本技术的静电吸盘采用静电吸附方式，替代了负压吸附方式，真空环境下加工，隔绝了外部粉尘对加工的影响，充满的特殊气体又可以中和加工过程中产生的有毒气体，真空发生器和过滤器的配合可以有效的过滤加工产生的粉尘，减少粉尘对加工产生的影响。
[0014]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0016]图1是本技术一种真空加工治具的结构示意图；
[0017]图2是图1中密封盖板组件的结构示意图；
[0018]图3是图2的剖视图；
[0019]图4是图1中真空腔体组件的结构示意图；
[0020]图5是图4的剖视图。
[0021]其中，图中各附图标记的含义如下。
[0022]1 密封盖板组件
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2 真空腔体组件
[0023]1‑
1 盖板
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ1‑
2 把手
[0024]1‑
3 压板
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ1‑
4 第一密封垫
[0025]1‑
5 窗口
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ1‑
6 第一密封圈
[0026]2‑
1 腔体
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ2‑
2 静电吸盘
[0027]2‑
3 线缆密封板
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ2‑
4 第一接头
[0028]2‑
5 第一法兰
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ2‑
6 真空发生器
[0029]2‑
7 过滤器
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ2‑
8 第二法兰
[0030]2‑
9 第二密封垫
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ2‑
10 波纹管
[0031]2‑
11 第二接头
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ2‑
12 封板
[0032]2‑
13 第二密封圈
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ2‑
14 第三密封圈
[0033]2‑
15 第四密封圈
具体实施方式
[0034]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0035]为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0036]实施例
[0037]如图1～图5所示，
[0038]一种真空加工治具，从上往下依次包括密封盖板组件1和真空腔体组件2，密封盖板组件1盖合在真空腔体组件2上；密封盖板组件1包括盖板1
‑
1，真空腔体组件2包括腔体2
‑
1，盖板1
‑
1盖合在腔体2
‑
1上，腔体2
‑
1内的中间位置设置有静电吸盘2
‑
2，静电吸盘2
‑
2沿着X轴负方向一侧的腔体2
‑
1上设置有与静电吸盘2
‑
2相连接的线缆密封板2
‑
3，静电吸盘2
‑
2沿着Y轴正方向一侧的腔体2
‑
1的外侧设置有两个第一接头2
‑
4，静电吸盘2
‑
2沿着Y轴负方向一侧的腔体2
‑
1的外侧设置有真空过滤系统，真空过滤系统沿着X轴的正方向依次包括第一法兰2
‑
5、真空本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.真空加工治具，其特征在于，从上往下依次包括密封盖板组件(1)和真空腔体组件(2)，所述密封盖板组件(1)盖合在真空腔体组件(2)上；所述密封盖板组件(1)包括盖板(1
‑
1)，所述真空腔体组件(2)包括腔体(2
‑
1)，所述盖板(1
‑
1)盖合在腔体(2
‑
1)上，所述腔体(2
‑
1)内的中间位置设置有静电吸盘(2
‑
2)，所述静电吸盘(2
‑
2)沿着X轴负方向一侧的腔体(2
‑
1)上设置有与静电吸盘(2
‑
2)相连接的线缆密封板(2
‑
3)，所述静电吸盘(2
‑
2)沿着Y轴正方向一侧的腔体(2
‑
1)的外侧设置有两个第一接头(2
‑
4)，所述静电吸盘(2
‑
2)沿着Y轴负方向一侧的腔体(2
‑
1)的外侧设置有真空过滤系统，所述真空过滤系统沿着X轴的正方向依次包括第一法兰(2
‑
5)、真空发生器(2
‑
6)、过滤器(2
‑
7)和第二法兰(2
‑
8)，所述第一法兰(2
‑
5)沿着X轴负方向的一侧通过第二密封垫(2
‑
9)与腔体(2
‑
1)相连接，所述第一法兰(2
‑
5)沿着X轴正方向的一侧通过波纹管(2
‑
10)与真空发生器(2
‑
6)相连接，所述第二法兰(2
‑
8)沿着X轴正方向的一侧通过第二密封垫(2
‑
9)与腔体(2
‑
1)相连接，所述第二法兰(2
‑
8)沿着X轴负方向的一侧依次通过过滤器(2
‑
7)和波纹...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，韩秋杰，
申请(专利权)人：苏州德龙激光股份有限公司，
类型：新型
国别省市：