气体纯化物料再生装置及气体纯化器制造方法及图纸

技术编号:34950170 阅读:21 留言:0更新日期:2022-09-17 12:27
本申请涉及一种气体纯化物料再生装置及气体纯化器,气体纯化物料再生装置包括物料储罐、原料气输入管、氢气输入管、电加热衣和控制器;物料储罐包括上盖、隔热棉、密封圈和存料筒,上盖和存料筒的顶端面之间设置有隔热棉和密封圈,上盖与存料筒可拆卸连接;电加热衣包裹在存料筒的外周壁上;原料气输入管和氢气输入管分别连接在上盖上。本实用新型专利技术提供的气体纯化物料再生装置及气体纯化器通过在盛装纯化物料的物料储罐的至少一端设置隔热棉,以及在物料储罐的外周侧壁上设置电加热衣,直接对物料储罐进行加热,并且通过隔热棉防止物料储罐的热量传递到再生装置的其他部分,也免于将物料储罐进行拆卸,提高了气体纯化器的再生效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
气体纯化物料再生装置及气体纯化器


[0001]本技术涉及气体纯化器领域,特别是涉及一种气体纯化物料再生装置及气体纯化器。

技术介绍

[0002]纯化气体是工业生产和医疗产业中具有重要应用的低杂质气体。而在属于高精尖领域的半导体产业中,对气体的纯化要求则更高。高纯气体大多用于超大规模的集成电路及分离器件、光电子等高科技领域,包括氧气、氮气、氢气、氦气和氩气等(纯度通常都高于99.999%)。这样的高纯度要求使得气体纯化生产设备也须满足苛刻的精细度规范。
[0003]通常情况下,简单而言,气体纯化的过程是将待纯化的气体送入到气体纯化器中,经过与气体纯化器中填充的纯化材料的物理或化学反应,去除气体中的杂质,得到纯化气体。经过一段时间的工作,纯化材料的有效性大幅度降低,通常是采用再生的方式,恢复纯化材料的使用效力。现有设备大多采用将气体纯化器中包含纯化物料的部分进行加热再生,需要将储存纯化物料的芯组从主设备上拆卸下来,往往较为麻烦。

技术实现思路

[0004]基于此,有必要针对上述提到的至少一个问题,提供一种气体纯化物料再生装置及气体纯化器。
[0005]第一个方面,本申请提供了一种气体纯化物料再生装置,包括物料储罐、原料气输入管、氢气输入管、电加热衣和控制器;
[0006]所述物料储罐包括上盖、隔热棉、密封圈和存料筒,所述上盖和所述存料筒的顶端面之间设置有所述隔热棉和所述密封圈,所述上盖与所述存料筒可拆卸连接;
[0007]所述电加热衣包裹在所述存料筒的外周壁上;
[0008]所述原料气输入管和所述氢气输入管分别连接在所述上盖上;
[0009]所述电加热衣与所述控制器电连接。
[0010]在第一个方面的某些实现方式中,所述存料筒的外周壁上设有环形凹槽,所述电加热衣设置在所述环形凹槽内。
[0011]结合第一个方面和上述实现方式,在第一个方面的某些实现方式中,所述密封圈为金属密封圈,所述隔热棉为玻璃纤维保温棉。
[0012]结合第一个方面和上述实现方式,在第一个方面的某些实现方式中,所述存料筒的外周壁为波浪状的曲面壁,所述电加热衣与所述曲面壁贴合。
[0013]结合第一个方面和上述实现方式,在第一个方面的某些实现方式中,所述原料气输入管和所述氢气输入管上均设有电磁阀,所述电磁阀分别与所述控制器电连接。
[0014]结合第一个方面和上述实现方式,在第一个方面的某些实现方式中,所述氢气输入管上还设有气体电加热器。
[0015]第二个方面,本技术提供了一种气体纯化器,其特征在于,包括原料气输送
管、氢气输送管和至少两组如第一个方面中任一项所述的气体纯化物料再生装置;
[0016]两组所述气体纯化物料再生装置并联连接在所述原料气输送管和所述氢气输送管上。
[0017]本技术的实施例中提供的技术方案带来如下有益技术效果:
[0018]本技术提供的气体纯化物料再生装置及气体纯化器通过在盛装纯化物料的物料储罐的至少一端设置隔热棉,以及在物料储罐的外周侧壁上设置电加热衣,可以在再生时,直接对物料储罐进行加热,并且通过隔热棉防止物料储罐的热量传递到再生装置的其他部分,保证加热效率,也免于将物料储罐进行拆卸,提高了气体纯化器的再生效率。
[0019]本申请附加的方面和优点将在后续部分中给出,并将从后续的描述中详细得到理解,或通过对本技术的具体实施了解到。
附图说明
[0020]图1为本技术一实施例中气体纯化物料再生装置的结构示意图;
[0021]图2为本技术一实施例中存料筒的平面结构示意图;
[0022]图3为本技术另一实施例中存料筒的平面结构示意图;
[0023]图4为本技术一实施例中气体纯化器的结构示意图。
[0024]附图标记说明:
[0025]100

物料储罐,200

原料气输入管,300

氢气输入管,400

电加热衣,500

电磁阀;
[0026]110

上盖,120

隔热棉,130

密封圈,140

存料筒,150

下盖;141

环形凹槽;
[0027]310

气体电加热器;
[0028]10

原料气输送管,20

氢气输送管。
具体实施方式
[0029]为了便于理解本技术,下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的可能的实施例。但是,本技术可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文已经通过附图描述的实施例。通过参考附图描述的实施例是示例性的,用于使对本技术的公开内容的理解更加透彻全面,而不能解释为对本技术的限制。此外,如果已知技术的详细描述对于示出的本技术的特征是非必要技术的,则可能将这些技术细节予以省略。
[0030]相关领域的技术人员可以理解,除非另外定义,这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语),具有与本技术所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是,诸如通用字典中定义的那些术语,应该被理解为具有与现有技术中的意义一致的意义,并且除非像这里一样被特定定义,否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。
[0031]本
技术人员可以理解,除非特意声明,这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是,本申请的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件,但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。应该理解,这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。
[0032]下面以具体地实施例对本技术的技术方案以及该技术方案如何解决上述的技术问题进行详细说明。
[0033]本申请第一个方面的实施例提供了一种气体纯化物料再生装置,如图1所示,包括物料储罐100、原料气输入管200、氢气输入管300、电加热衣400和控制器;物料储罐100包括上盖110、隔热棉120、密封圈130和存料筒140,上盖110和存料筒140的顶端面之间设置有隔热棉120和密封圈130,上盖110与存料筒140可拆卸连接;电加热衣400包裹在存料筒140的外周壁上;原料气输入管200和氢气输入管300分别连接在上盖110上;电加热衣400与控制器电连接。电加热衣400相当于电热毯,可直接采用市场采购的成品。
[0034]由于气体纯化物料再生需要进行加热,例如在对氮气进行纯化时,需要将其中的甲烷成分通过纯化物料催化去除,使用一段时间后,需要采用加热到200℃以上的氢气,不断经过催化本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体纯化物料再生装置,其特征在于,包括物料储罐、原料气输入管、氢气输入管、电加热衣和控制器;所述物料储罐包括上盖、隔热棉、密封圈和存料筒,所述上盖和所述存料筒的顶端面之间设置有所述隔热棉和所述密封圈,所述上盖与所述存料筒可拆卸连接;所述电加热衣包裹在所述存料筒的外周壁上;所述原料气输入管和所述氢气输入管分别连接在所述上盖上;所述电加热衣与所述控制器电连接。2.根据权利要求1所述的气体纯化物料再生装置,其特征在于,所述存料筒的外周壁上设有环形凹槽,所述电加热衣设置在所述环形凹槽内。3.根据权利要求1所述的气体纯化物料再生装置,其特征在于,所述密封圈为金属密封圈,所述隔热棉...

【专利技术属性】
技术研发人员:李铁邹德承
申请(专利权)人:湖北玖恩智能科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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