可在线再生的气体纯化器制造技术

本实用新型专利技术申请提供的可在线再生的气体纯化器，包括气体管路以及并列在气体管路中的第一纯化罐和第二纯化罐，气体管路包括原料气输入管路、纯化气输出管路、氢气输入管路和再生排气管路；氢气输入管路包括均设有阀门的第一管路、第二管路和第三管路，第一管路和第二管路并列连接在纯化气输出管路上，第三管路与再生排气管路连接。本实用新型专利技术提供的可在线再生的气体纯化器通过在至少两个纯化气罐的输出管路上设置多条联通管路，使得联通管路将纯化气罐的输出端与纯化气输出管路和氢气输入管路并联起来，在完成对纯化气罐的再生后，可利用纯化后的气体驱逐残留在管路中的氢气，使得残留氢气通过再生排气管路排出，有效确保纯化气的高纯度。化气的高纯度。化气的高纯度。

【技术实现步骤摘要】
可在线再生的气体纯化器


[0001]本技术涉及气体纯化器领域，特别是涉及一种可在线再生的气体纯化器。

技术介绍

[0002]应用于半导体产业的纯化气体，对于纯化度的要求很高，并且越高越能够在更尖端的半导体芯片生产制造过程中得到应用，因此，生产纯化气体的生产单位一直在追求更高效率和更高质量生产纯化气体。
[0003]生产纯化气体离不开气体纯化装置，现有的气体纯化装置仍然有大量需要拆解纯化发生器进行再生的。为获取更高质量、纯度更高的纯化气体，需要保持纯化发生器内纯化材料的有效性，使用不久后就需要再生，否则可能造成后续纯化完成度不够，降低纯度。这样的气体纯化装置显然生产效率不够高。
[0004]当然，对于已经具有在线再生功能的气体纯化装置(例如申请号为202020293547.6的技术专利)，再生时采用氢气，再生完成后氢气会残留在管路当中，对于非纯化氢气的纯化气体产品的气体纯化装置，残留氢气显然会降低纯化气体的纯度，对于纯度要求高的纯化气体，这属于生产事故。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对上述提到的至少一个问题，提供一种可在线再生的气体纯化器。
[0006]本技术申请提供的可在线再生的气体纯化器，包括气体管路以及并列在所述气体管路中的第一纯化罐和第二纯化罐，所述气体管路包括原料气输入管路、纯化气输出管路、氢气输入管路和再生排气管路；所述氢气输入管路包括均设有阀门的第一管路、第二管路和第三管路，所述第一管路和所述第二管路并列连接在所述纯化气输出管路上，所述第三管路与所述再生排气管路连接。
[0007]在其中一个实施例中，所述原料气输入管路上设有第一阀门和第二阀门，所述原料气输入管路上的原料气入口通过管路和所述第一阀门和所述第二阀门分别连接在所述第一纯化罐和所述第二纯化罐的进气端。
[0008]在其中一个实施例中，所述纯化气输出管路包括第三阀门和第四阀门，所述第一阀门和所述第二阀门的出口端分别通过所述第三阀门和所述第四阀门连接在所述纯化气输出管路的纯净气出口。
[0009]在其中一个实施例中，所述再生排气管路包括第五阀门和第六阀门，所述第三管路还分别通过所述第五阀门和所述第六阀门连接在所述第一纯化罐和所述第二纯化罐的进气端。
[0010]在其中一个实施例中，所述氢气输入管路还包括加热器、第七阀门和第八阀门，所述第一管路和所述第二管路的交汇点通过所述加热器连接在所述第七阀门和所述第八阀门中间的管路上，所述第七阀门和所述第八阀门分别连接在所述第一纯化罐和所述第二纯
化罐的出气端。
[0011]在其中一个实施例中，所述第二管路上设有气动调节阀；所述氢气输入管路的注氢口附近设有单向阀。
[0012]在其中一个实施例中，所述第一管路和所述第二管路的交汇点与所述纯化气输出管路的纯净气出口之间设置有第九阀门和一个气动调节阀，所述第九阀和所述气动调节阀串联。
[0013]本技术的实施例中提供的技术方案带来如下有益技术效果：
[0014]本技术提供的可在线再生的气体纯化器通过在相互并联的至少两个纯化气罐的输出管路上设置多条联通管路，使得联通管路将纯化气罐的输出端与纯化气输出管路和氢气输入管路并联起来，在完成对纯化气罐的再生后，可利用纯化后的气体驱逐残留在管路中的氢气，使得残留氢气通过再生排气管路排出，有效避免输出的纯化气产品受到污染，确保纯化气的高纯度。
[0015]本申请附加的方面和优点将在后续部分中给出，并将从后续的描述中详细得到理解，或通过对本技术的具体实施了解到。
附图说明
[0016]图1为本技术一实施例中可在线再生的气体纯化器的管路结构示意图。
[0017]附图标记说明：
[0018]110
‑
第一纯化罐，120
‑
第二纯化罐；
[0019]200
‑
原料气输入管路，300
‑
纯化气输出管路，400
‑
氢气输入管路，500
‑
再生排气管路；
[0020]210
‑
第一阀门，220
‑
第二阀门；310
‑
第三阀门，320
‑
第四阀门；410
‑
第一管路，420
‑
第二管路，430
‑
第三管路，440
‑
加热器，450
‑
第七阀门，460
‑
第八阀门；510
‑
第五阀门，520
‑
第六阀门；
[0021]301
‑
第九阀门，302
‑
气动调节阀；401
‑
单向阀。
具体实施方式
[0022]为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的可能的实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文已经通过附图描述的实施例。通过参考附图描述的实施例是示例性的，用于使对本技术的公开内容的理解更加透彻全面，而不能解释为对本技术的限制。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本技术的特征是非必要技术的，则可能将这些技术细节予以省略。
[0023]相关领域的技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本技术所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。
[0024]本
技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一
个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本申请的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。应该理解，这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。
[0025]下面以具体地实施例对本技术的技术方案以及该技术方案如何解决上述的技术问题进行详细说明。
[0026]本技术申请提供的可在线再生的气体纯化器，如图1所示，包括气体管路以及并列在气体管路中的第一纯化罐110和第二纯化罐120，气体管路包括原料气输入管路200、纯化气输出管路300、氢气输入管路400和再生排气管路500；氢气输入管路400包括均设有阀门的第一管路410、第二管路420和第三管路430，第一管路410和第二管路420并列连接在纯化气输出管路300上，第三管路430与再生排气管路500连接。
[0027]每个管路上都设有至少一个阀门，阀门可根据管路的特点进行合理选择，但多数阀门本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可在线再生的气体纯化器，其特征在于，包括气体管路以及并列在所述气体管路中的第一纯化罐和第二纯化罐，所述气体管路包括原料气输入管路、纯化气输出管路、氢气输入管路和再生排气管路；所述氢气输入管路包括均设有阀门的第一管路、第二管路和第三管路，所述第一管路和所述第二管路并列连接在所述纯化气输出管路上，所述第三管路与所述再生排气管路连接。2.根据权利要求1所述的可在线再生的气体纯化器，其特征在于，所述原料气输入管路上设有第一阀门和第二阀门，所述原料气输入管路上的原料气入口通过管路和所述第一阀门和所述第二阀门分别连接在所述第一纯化罐和所述第二纯化罐的进气端。3.根据权利要求2所述的可在线再生的气体纯化器，其特征在于，所述纯化气输出管路包括第三阀门和第四阀门，所述第一阀门和所述第二阀门的出口端分别通过所述第三阀门和所述第四阀门连接在所述纯化气输出管路的纯净气出口。4.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊宏琳，邹德承，蔡文亮，
申请(专利权)人：湖北玖恩智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：