一种进气系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种进气系统，包括：主管道；抽真空管道，抽真空管道上设有抽真空阀门，抽真空管道用于把主管道内的气体抽出，主管道或抽真空管道上连接有真空度检测元件；原料进气管道，原料进气管道上设有进气阀门，原料进气管道用于把气体原料进气至主管道；供气管道，供气管道上设有供气阀门，供气管道用于把主管道中的气体原料供应至外设的使用系统。本技术方案通过在进料前先抽真空，抽出主管道内的杂质气体，同时真空度检测元件检测主管道内的真空度，当真空度达到要求后再进原料，可保证进气系统的密封性，避免其它杂质进入系统，使气体原料在进气时大大较少混入杂质的可能，从而可减小气体原料纯度的降低，保持气体原料的纯度。的纯度。的纯度。

【技术实现步骤摘要】
一种进气系统


[0001]本技术涉及气体进料
，特别涉及一种进气系统。

技术介绍

[0002]在气体生产处理工艺或气体应用中，需要把气体原料进料至使用系统内。一般的气体原料在进料时要求不高，但是在一些特殊情况下有特别的要求，比如对于纯度要求高的气体，需要进料过程中注意避免其他杂质混入，保持原料的纯度以免影响后续的处理使用。目前的进气系统容易存在混入其他杂质导致气体原料纯度降低的问题，本领域技术人员希望有一种可以保持原料纯度的进气系统。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的是提出一种进气系统，旨在解决现有技术中的进气系统存在气体原料纯度降低的技术问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提出一种进气系统，包括：
[0005]主管道；
[0006]抽真空管道，所述抽真空管道的一端与所述主管道连接，所述抽真空管道上设有抽真空阀门，所述抽真空管道用于把所述主管道内的气体抽出，所述主管道或所述抽真空管道上连接有真空度检测元件；
[0007]原料进气管道，所述原料进气管道的一端与所述主管道连接，所述原料进气管道上设有进气阀门，所述原料进气管道用于把气体原料进气至所述主管道；
[0008]供气管道，所述供气管道的一端与所述主管道连接，所述供气管道上设有供气阀门，所述供气管道用于把所述主管道中的气体原料供应至外设的使用系统。
[0009]在进料前，先关闭进气阀门和供气阀门，打开抽真空阀门，通过抽真空管道先对主管道抽真空，真空度检测元件检测主管道内的真空度，当真空度达到预设的要求时，关闭抽真空阀门，打开进气阀门和供气阀门，气体原料从原料进气管道进入主管道内，并从供气管道排出至外设的使用系统。本技术方案通过在进料前先抽真空，抽出主管道内的杂质气体，同时真空度检测元件检测主管道内的真空度，当真空度达到要求后再进原料，可保证进气系统的密封性，避免其它杂质进入系统，使气体原料在进气时大大较少混入杂质的可能，从而可减小气体原料纯度的降低，保持气体原料的纯度。
[0010]优选地，所述进气系统还包括尾气管道，所述尾气管道的一端与所述主管道连接，所述尾气管道上设有尾气阀门，所述尾气管道用于排出所述主管道内的尾气。
[0011]对于有毒有害可燃的气体，需要保证安全性，避免泄漏产生危险。本技术方案中当进料完成后，关闭进气阀门和供气阀门，打开尾气阀门，主管道内进料后残留的气体原料尾气从尾气管道排出并进行后续处理，不直接排放至空气中，可提高安全性。
[0012]优选地，所述尾气管道的另一端连接有尾气处理装置，所述尾气处理装置用于对尾气进行无害处理，经过尾气处理装置处理的尾气可排出大气，安全且无害。
[0013]优选地，所述进气系统还包括吹扫管道，所述吹扫管道的一端与所述主管道连接，所述吹扫管道上设有吹扫阀门，所述吹扫管道用于吹扫所述主管道。
[0014]尾气经过排放到尾气管道处理后，关闭尾气阀门，打开抽真空阀门抽真空；再关闭抽真空阀门，打开吹扫阀门，从吹扫管道向主管道内吹入用于吹扫的气体，置换主管道内的气体；再关闭吹扫阀门，打开尾气阀门，主管道内的气体进入尾气管道；然后再关闭尾气阀门，打开抽真空阀门抽真空，重复上述操作至少一次，置换主管道内的气体，可以将主管道中的有害物质全部置换干净，保证操作安全。
[0015]优选地，所述吹扫管道的另一端连接有氮气源或氦气源。氮气或氦气无害安全，对置换主管道内的气体效果较好。
[0016]优选地，所述真空度检测元件与所述抽真空阀门通信连接。这样抽真空阀门可根据真空度检测元件的检测结果进行自动切换，减少人工操作，提高效率。
[0017]优选地，所述抽真空管道的另一端连接有真空泵。
[0018]优选地，所述原料进气管道的数量为多个，多个所述原料进气管道并联设置。多个并联设置的原料进气管道可以提高进料速度，和增加进料量，提高进料效率。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0020]图1为本技术进气系统的结构示意图。
[0021]附图中：1
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主管道、2
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抽真空管道、21
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抽真空阀门、22
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真空度检测元件、23
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真空泵、3
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原料进气管道、31
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进气阀门、32
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原料气瓶、4
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供气管道、41
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供气阀门、42
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使用系统、5
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尾气管道、51
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尾气阀门、52
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尾气处理装置、6
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吹扫管道、61
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吹扫阀门。
[0022]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]需要说明，若本技术实施例中有涉及方向性指示，诸如上、下、左、右、前、后等，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0025]另外，若本技术实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的
结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
[0026]如图1所示，一种进气系统，包括主管道1、抽真空管道2、原料进气管道3和供气管道4。
[0027]抽真空管道2的一端与主管道1连接，抽真空管道2的另一端连接有真空泵23，抽真空管道2上设有抽真空阀门21，抽真空管道2用于把主管道1内的气体抽出，主管道1或抽真空管道2上连接有真空度检测元件22，真空度检测元件22可以为压力真空表或真空计。
[0028]原料进气管道3的一端与主管道1连接，原料进气管道3的另一端连接原料气瓶32或原料供应管路等可充入气体原料，原料进气管道本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种进气系统，其特征在于，包括：主管道(1)；抽真空管道(2)，所述抽真空管道(2)的一端与所述主管道(1)连接，所述抽真空管道(2)上设有抽真空阀门(21)，所述抽真空管道(2)用于把所述主管道(1)内的气体抽出，所述主管道(1)或所述抽真空管道(2)上连接有真空度检测元件(22)；原料进气管道(3)，所述原料进气管道(3)的一端与所述主管道(1)连接，所述原料进气管道(3)上设有进气阀门(31)，所述原料进气管道(3)用于把气体原料进气至所述主管道(1)；供气管道(4)，所述供气管道(4)的一端与所述主管道(1)连接，所述供气管道(4)上设有供气阀门(41)，所述供气管道(4)用于把所述主管道(1)中的气体原料供应至外设的使用系统(42)。2.如权利要求1所述的进气系统，其特征在于，所述进气系统还包括尾气管道(5)，所述尾气管道(5)的一端与所述主管道(1)连接，所述尾气管道(5)上设有尾气阀门(51)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅铸红，陈艳珊，谢武中，
申请(专利权)人：广东华特气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：