一种退火炉炉压控制方法及退火炉技术

本发明专利技术公开了一种退火炉炉压控制方法及退火炉，涉及退火炉领域，退火炉下侧固定安装有支撑架，且防爆处理箱与退火炉体的相对侧面固定安装有气体预处理箱，旋转轴通过丝杠套使阻塞块在限位板的作用下竖直移动对气体的流通进行控制，控制机构连接有驱动其进行旋转的动力源，气杆通过爆破锤进行爆破，防爆处理箱内部竖直设置有增流口，且增流口与退火炉内连通，增流口上侧密封安装有封闭板，气杆移动安装在防爆处理箱内部且位于封闭板上侧，气杆通过转动杆使遮蔽网收放，防爆机构连接有驱动其移动的动力源，通过直齿条和旋转齿轮间的啮合使防爆机构和控制机构联动工作，不仅实现对气压的均匀混合，而且实现对退火炉的防爆处理，提高工作的安全性。提高工作的安全性。提高工作的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种退火炉炉压控制方法及退火炉


[0001]本专利技术涉及退火炉领域，更具体地说，它涉及一种退火炉炉压控制方法及退火炉。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的，退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的，退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构。
[0003]退火炉对多种气氛进行置换或输入的过程中，由于气体的种类不同提供的气压强度也不同，在气体输入混合的过程中由于气体混合不均匀导致退火炉内部气压不均匀，且如果外部气体预热不足直接通入到退火炉内部，也会因为温度差而受热不均导致炉内气压波动频繁，且波动范围较大，当退火炉内部炉压波动较大时甚至会导致炉体爆炸。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种退火炉炉压控制装置，使得退火炉在加工的过程中，便于气体预热充足且混合均匀，且通过设置防爆处理装置，提高加工的安全性。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案：一种退火炉炉压控制装置，其特征在于：包括退火炉体、防爆处理箱、支撑架、热量交换器和气体预处理箱，还包括：
[0006]退火炉体，退火炉下侧固定安装有支撑架，退火炉体的进气端固定安装有防爆处理箱，且防爆处理箱与退火炉体的相对侧面固定安装有气体预处理箱；
[0007]控制机构，控制机构包括旋转轴，阻塞块，丝杠套，限位板和旋转扇，旋转轴通过丝杠套使阻塞块在限位板的作用下竖直移动对气体的流通进行控制，控制机构连接有驱动其进行旋转的动力源，此处的动力源为电机；
[0008]防爆机构，防爆机构包括气杆，转动杆，爆破锤和遮蔽网，气杆通过爆破锤进行爆破，同时，气杆通过转动杆使遮蔽网收放，防爆机构连接有驱动其移动的动力源，此处的动力源为气缸；
[0009]联动机构，联动机构包括直齿条和旋转齿轮，通过直齿条和旋转齿轮间的啮合使防爆机构和控制机构联动工作。
[0010]优选地，所述防爆处理箱上侧的退火炉体上固定安装有装置板，装置板下侧固定安装有气缸，气缸下端配合安装有气杆。
[0011]优选地，所述防爆处理箱内部竖直设置有增流口，且增流口与退火炉内连通，增流口上侧密封安装有封闭板，气杆移动安装在防爆处理箱内部且位于封闭板上侧，位于防爆处理箱内部的气杆下端固定设置有爆破锤，爆破锤上侧且位于防爆处理箱内部的气杆上固定安装有连接板，连接板四周转动安装有若干个转动杆，且相邻的两个转动杆之间安装有遮蔽网，除了靠近气体预处理箱一侧的转动杆除外，其他的转动杆另一端分别转动连接移动块，且移动块水平移动安装在防爆处理箱内部。
[0012]优选地，所述气体预处理箱内部不连通设置有若干个进气口，装置箱内部的进气口交汇处设置有流通腔，且流通腔与进气口连通设置，流通腔内部密封设置有阻塞块，阻塞块的圆心位置转动安装有旋转轴，旋转轴上端安装有电机，旋转轴上局部设置有丝杠套，且丝杠套能够与阻塞块配合安装。
[0013]优选地，所述阻塞块上端固定安装有限位板，且与限位板相对应的气体预处理箱内部设置有限位槽，限位板能够移动安装在限位槽内部，限位槽内部设置有第二弹簧，且第二弹簧的另一端固定安装在限位板上。
[0014]优选地，所述流通腔下侧的气体预处理箱内部设置有出气口，出气口一端与流通腔连通，且出气口另一端与退火炉内部连通，出气口中移动安装有旋转扇，且旋转扇与旋转轴固定安装。
[0015]优选地，所述旋转轴上端固定安装有旋转齿轮，且旋转齿轮一侧啮合安装有直齿条，直齿条另一端转动连接转动杆，且直齿条水平移动安装在防爆处理箱和气体预处理箱内部，阻塞块上侧的旋转轴上配合安装有第一弹簧。
[0016]优选地，所述气体预处理箱外侧设置有热量交换器，且进气管安装在热量交换器中，防爆处理箱一侧设置有第一出气管，且第一出气管与增流口连通，退火炉体上设置有第二出气管，且第二出气管与炉内连通。
[0017]优选地，根据上述一种退火炉炉压控制装置用的控制方法，包括以下步骤：
[0018]S1：在对气体的置换过程中，控制进气管和第二出气管打开，通过热量交换器对进行气体预热；
[0019]S2：通气一端时间后，启动电机，电机通过控制机构使气体流通混合均匀；
[0020]S3：当炉压突变将要爆炸时，打开第二出气管，同时启动气缸，气缸通过防爆机构使炉内气体通过第一出气管分流；
[0021]S4：防爆机构通过联动机构使控制机构关闭气体流入。
[0022]与现有技术相比，本专利技术具备以下有益效果：
[0023]1.本专利技术所述的一种退火炉炉压控制方法及退火炉，旋转轴、丝杠套和阻塞块的配合使用，旋转轴通过丝杠套使阻塞块控制流通腔与进气口连通和封闭，实现对气体流通的控制，增强气体的纯度和增长预热时间，通过旋转轴和旋转扇的配合使用，便于均匀混合气体，实现炉内气压的均匀分布。
[0024]2.本专利技术所述的一种退火炉炉压控制方法及退火炉，通过转动杆、遮蔽网和气杆的配合使用，气杆通过转动杆使遮蔽网呈伞状打开设置在封闭板上侧，防止气体从增流口流出时气体流出带动炉内的一些工件被冲飞到空中，从而导致操作人员安全受到威胁，防止气压过大受限于第二出气管的流通使得气体堵塞而导致第二出气管爆裂，甚至是退火炉体爆炸，通过直齿条和旋转齿轮的配合使用，封闭流通腔与进气口的连通，停止新入气体输入到炉内。
附图说明
[0025]图1为本专利技术提供的一种退火炉炉压控制装置立体的结构示意图；
[0026]图2为本专利技术提供的一种退火炉炉压控制装置图1中俯视的结构示意图；
[0027]图3为本专利技术提供的一种退火炉炉压控制装置图2中A－A处剖视的结构示意图；
[0028]图4为本专利技术提供的一种退火炉炉压控制装置图2中B－B处剖视的结构示意图；
[0029]1、退火炉体；2、防爆处理箱；3、气体预处理箱；4、气缸；5、气杆；6、电机；7、第一出气管；8、进气管；9、支撑架；10、第二出气管；11、装置板；12、进气口；13、流通腔；14、阻塞块；15、第一弹簧；16、旋转轴；17、丝杠套；18、限位板；19、限位槽；20、第二弹簧；21、旋转扇；22、出气口；23、直齿条；24、旋转齿轮；25、移动块；26、爆破锤；27、封闭板；28、增流口；29、遮蔽网；30、转动杆；31、连接板；32、热量交换器。
具体实施方式
[0030]参照图1－图4对本专利技术一种退火炉炉压控制方法及退火炉实施例做进一步说明。
[0031]见图1、图2和图4，一种退火炉炉压控制装置，其特征在于：包括退火炉体1、防爆处理箱2、支撑架9、热量交换器32和气体预处理箱3，还包括：
[0032]退火炉体1，退火炉下侧固定安装有支撑架9，退火炉体1的进气端固定安装有防爆处理箱2，且防爆处理箱2与退火炉体1的相对侧面固定安装有气体预处理箱3；
[0033]控制机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种退火炉炉压控制装置，其特征在于：包括退火炉体(1)、防爆处理箱(2)、支撑架(9)、热量交换器(32)和气体预处理箱(3)，还包括：退火炉体(1)，退火炉下侧固定安装有支撑架(9)，退火炉体(1)的进气端固定安装有防爆处理箱(2)，且防爆处理箱(2)与退火炉体(1)的相对侧面固定安装有气体预处理箱(3)；控制机构，控制机构包括旋转轴(16)，阻塞块(14)，丝杠套(17)，限位板(18)和旋转扇(21)，旋转轴(16)通过丝杠套(17)使阻塞块(14)在限位板(18)的作用下竖直移动对气体的流通进行控制，控制机构连接有驱动其进行旋转的动力源，此处的动力源为电机(6)；防爆机构，防爆机构包括气杆(5)，转动杆(30)，爆破锤(26)和遮蔽网(29)，气杆(5)通过爆破锤(26)进行爆破，同时，气杆(5)通过转动杆(30)使遮蔽网(29)收放，防爆机构连接有驱动其移动的动力源，此处的动力源为气缸(4)；联动机构，联动机构包括直齿条(23)和旋转齿轮(24)，通过直齿条(23)和旋转齿轮(24)间的啮合使防爆机构和控制机构联动工作。2.根据权利要求1所述的一种退火炉炉压控制装置，其特征在于：所述防爆处理箱(2)上侧的退火炉体(1)上固定安装有装置板(11)，装置板(11)下侧固定安装有气缸(4)，气缸(4)下端配合安装有气杆(5)。3.根据权利要求2所述的一种退火炉炉压控制装置，其特征在于：所述防爆处理箱(2)内部竖直设置有增流口(28)，且增流口(28)与退火炉内连通，增流口(28)上侧密封安装有封闭板(27)，气杆(5)移动安装在防爆处理箱(2)内部且位于封闭板(27)上侧，位于防爆处理箱(2)内部的气杆(5)下端固定设置有爆破锤(26)，爆破锤(26)上侧且位于防爆处理箱(2)内部的气杆(5)上固定安装有连接板(31)，连接板(31)四周转动安装有若干个转动杆(30)，且相邻的两个转动杆(30)之间安装有遮蔽网(29)，除了靠近气体预处理箱(3)一侧的转动杆(30)除外，其他的转动杆(30)另一端分别转动连接移动块(25)，且移动块(25)水平移动安装在防爆处理箱(2)内部。4.根据权利要求1所述的一种退火炉炉压控制装置，其特征在于：所述气体预处理箱(3)内部不连通设置有若干个进气口(12)，装置箱内部的进气口(12)交汇处设置有流通腔(13)，且流通腔(13)与进...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘彬，
申请(专利权)人：恒源工业炉靖江有限公司，
类型：发明
国别省市：