一种连续退火炉的气氛置换系统技术方案

本发明专利技术公开了一种连续退火炉的气氛置换系统，涉及退火炉领域，包括退火炉壳体、内胆、热交换器、抽气泵和预处理管，内胆固定安装在退火炉壳体内部，预处理管固定安装在退火炉壳体的一端，热交换器和抽气泵固定安装在退火炉壳体上，卷绳轮通过移动绳使移动刷对内胆进行除湿，通过滑动球与移动块的配合安装使挤压杆带动挤压板对移动刷进行挤压干燥，预处理包括旋转机构和抽气机构，主动齿轮通过旋转齿轮使旋转板带动抽气头对工件进行旋转抽气，第一旋转筒和第二旋转筒在导向柱的移动作用下带动第一旋转刷和第二旋转刷对工件进行相向旋转清理，不仅实现对工件的预处理清理杂质颗粒和空气，而且实现对退火炉的除湿，提高工作效率。提高工作效率。提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种连续退火炉的气氛置换系统


[0001]本专利技术涉及退火炉领域，更具体地说，它涉及一种连续退火炉的气氛置换系统。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。
[0003]在连续退火炉工作中，圆管型钢材在进行连续退火时，由于退火炉的连续工作且在对退火炉的气氛置换过程中，退火炉内的气体会存在多种气体，退火炉在气氛只管过程中由于炉压波动频繁，而且会有一些外部气体随着气氛置换过程中渗入到炉内，这些气体一般含量很少，但是在带钢进入炉内时，表面会存在空气的钻着层，从而将钻着层的空气带入到炉内，这些气体在加上气氛置换过程中渗入的气体会导致炉内杂气含量猛地升高，这些气体会影响钢材的质量以及退火炉的安全，而且，在连续退火的过程中，对于双层连续退火炉来说，不断工作会使内胆长时间温差凝结有大量的水汽，大量的水汽凝结在炉胆上不仅会使炉体生锈，严重来说甚至会由于炉体受热不均而导致爆炸，因此，综上所述，需要对设备进行相关创新设计。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种连续退火炉的气氛置换系统，使得连续退火炉在气氛置换的过程中，减少工件携带的空气和水蒸气的附着，提高加工质量。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案：一种连续退火炉的气氛置换系统，其特征在于：包括退火炉壳体、内胆、热交换器、抽气泵和预处理管，还包括：
[0006]退火炉壳体，内胆固定安装在退火炉壳体内部，预处理管固定安装在退火炉壳体的一端，热交换器和抽气泵固定安装在退火炉壳体上，支撑架设置在退火炉壳体下侧；
[0007]清理件，清理件包括除湿机构和挤压机构，除湿机构包括卷绳轮，移动绳和移动刷，卷绳轮通过移动绳使移动刷对内胆进行除湿，挤压机构包括移动块，挤压板，挤压杆和滑动球，通过滑动球与移动块的配合安装使挤压杆带动挤压板对移动刷进行挤压干燥；
[0008]预处理件，预处理包括旋转机构和抽气机构，抽气机构包括主动齿轮，旋转齿轮，旋转板和抽气头，主动齿轮通过旋转齿轮使旋转板带动抽气头对工件进行旋转抽气，旋转机构包括第一旋转刷，第二旋转刷，第一旋转筒，第二旋转筒和导向柱，第一旋转筒和第二旋转筒在导向柱的移动作用下带动第一旋转刷和第二旋转刷对工件进行相向旋转清理。
[0009]优选地，所述退火炉壳体内侧壁且靠近预处理管的一侧设置有移动槽，且移动槽中移动安装有挤压杆，挤压杆靠近预处理管的一端安装有滑动球，且挤压杆另一端固定安装挤压板，安装在移动槽内部的挤压杆在竖直方向上配合安装有弹簧。
[0010]优选地，所述退火炉壳体和内胆之间远离滑动球的一侧移动安装有移动刷，且移动刷移动安装在退火炉壳体内侧壁上，移动刷靠近滑动球的一侧固定连接移动块，移动块
上侧平滑设置有滑动槽，且滑动柱能够限位配合安装在滑动槽中。
[0011]优选地，所述预处理管内部的退火炉壳体上设置有进料口，且靠近进料口一侧的预处理管内侧壁上转动安装有旋转齿轮，且旋转齿轮内侧壁上固定安装有旋转板，旋转板内侧壁上固定安装有抽气头，抽气头一端连通第二输气管，且第二输气管另一端与外部过滤装置连通，且第二输气管安装在抽气泵上。
[0012]优选地，所述旋转板远离进料口的一端固定安装第一旋转刷，第一旋转刷转动安装在预处理管内侧壁上，第一旋转刷另一端固定安装第一旋转筒，第一旋转筒上设置有第一导向槽，第一导向槽中滑动安装导向柱，第一旋转筒上侧的预处理管内侧壁上设置有滑移槽，且导向柱一端滑动安装在滑移槽中，第一旋转筒内部同心安装有第二旋转筒，且第二旋转筒上设置有第二导向槽，且导向柱另一端滑动安装在第二导向槽中，第二旋转筒远离第一旋转筒的一端固定安装第二旋转刷，且第二旋转刷旋转安装在预处理管内侧壁上。
[0013]优选地，所述旋转齿轮下侧的预处理管内部设置有主动齿轮，且主动齿轮与旋转齿轮啮合安装，退火炉壳体与内胆之间且与主动齿轮相对于的位置转动安装有卷绳轮，且卷绳轮与主动齿轮固定轴接，且移动绳另一端固定安装在卷绳轮上，且主动齿轮安装有电机。
[0014]优选地，所述退火炉壳体上一端安装有进气管，且退火炉壳体另一端安装有出气管，出气管通过第一输气管与热交换器连通，且进气管与热交换器连通。
[0015]与现有技术相比，本专利技术具备以下有益效果：
[0016]1.本专利技术所述的一种连续退火炉的气氛置换系统，卷绳轮、移动绳和移动刷的配合使用，使得移动块带动移动刷对内胆外侧壁上和退火炉壳体内壁上粘附的水蒸气进行清理，通过移动块和滑动球的配合使用，使得挤压板对其下侧的移动刷进行挤压，使移动刷在移动清理的过程中吸附的水分挤压出来，便于移动刷干燥和进行下一次吸水清理。
[0017]2.本专利技术所述的一种连续退火炉的气氛置换系统，通过旋转齿轮和主动齿轮的配合使用，实现对工件表面粘附的空气进行旋转抽取，防止外部空气进入到退火炉中与气氛置换过程中渗入的气体结合进而造成大范围内的气压波动，对生产造成质量问题，通过第二旋转筒、第一旋转筒和导向柱的配合使用，实现对工件表面的双向全面清理，通过对工件表面粘附的杂质颗粒进行清理，一方面对工件表面附着的杂质颗粒进行清理，防止颗粒在退火过程中与工件焊接在一起，造成工件表面凹凸不平，另一方面通过对工件表面的清理，减少颗粒堆积在工件表面形成的孔隙对空气的储存，加强对空气的去除，有利于气氛置换的效果。
附图说明
[0018]图1为本专利技术提供的一种连续退火炉的气氛置换系统立体的结构示意图；
[0019]图2为本专利技术提供的一种连续退火炉的气氛置换系统图1中俯视的结构示意图；
[0020]图3为本专利技术提供的一种连续退火炉的气氛置换系统图2中A－A的剖视结构示意图；
[0021]图4为本专利技术提供的一种连续退火炉的气氛置换系统图3中B处的局部放大结构示意图；
[0022]图5为本专利技术提供的一种连续退火炉的气氛置换系统图3中C处的局部放大结构示
意图；
[0023]图6为本专利技术提供的一种连续退火炉的气氛置换系统图3中D的剖视结构示意图；
[0024]图7为本专利技术提供的一种连续退火炉的气氛置换系统图3中E处的局部放大结构示意图；
[0025]图8为本专利技术提供的一种连续退火炉的气氛置换系统图6中第一旋转筒的结构示意图；
[0026]图9为本专利技术提供的一种连续退火炉的气氛置换系统图6中第二旋转筒的结构示意图；
[0027]1、退火炉壳体；2、出气管；3、进气管；4、预处理管；5、热交换器；6、第一输气管；7、支撑架；8、抽气泵；9、抽气头；10、第二输气管；12、内胆；13、移动刷；14、移动块；15、移动绳；16、第一旋转刷；17、第二旋转筒；18、第二旋转刷；19、进料口；20、滑动槽；24、滑动球；25、挤压板；26、挤压杆；27、移动槽；28、弹簧；29、第一旋转筒；30、导向柱；31、滑移槽；32、第一导向槽；33、第二导向槽；34、卷绳轮；35、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种连续退火炉的气氛置换系统，其特征在于：包括退火炉壳体(1)、内胆(12)、热交换器(5)、抽气泵(8)、支撑架(7)和预处理管(4)，还包括：退火炉壳体(1)，内胆(12)固定安装在退火炉壳体(1)内部，预处理管(4)固定安装在退火炉壳体(1)的一端，热交换器(5)和抽气泵(8)固定安装在退火炉壳体(1)上，支撑架(7)设置在退火炉壳体(1)下侧；清理件，清理件包括除湿机构和挤压机构，除湿机构包括卷绳轮(34)，移动绳(15)和移动刷(13)，卷绳轮(34)通过移动绳(15)使移动刷(13)对内胆(12)进行除湿，挤压机构包括移动块(14)，挤压板(25)，挤压杆(26)和滑动球(24)，通过滑动球(24)与移动块(14)的配合安装使挤压杆(26)带动挤压板(25)对移动刷(13)进行挤压干燥；预处理件，预处理包括旋转机构和抽气机构，抽气机构包括主动齿轮(36)，旋转齿轮(37)，旋转板(38)和抽气头(9)，主动齿轮(36)通过旋转齿轮(37)使旋转板(38)带动抽气头(9)对工件进行旋转抽气，旋转机构包括第一旋转刷(16)，第二旋转刷(18)，第一旋转筒(29)，第二旋转筒(17)和导向柱(30)，第一旋转筒(29)和第二旋转筒(17)在导向柱(30)的移动作用下带动第一旋转刷(16)和第二旋转刷(18)对工件进行相向旋转清理。2.根据权利要求1所述的一种连续退火炉的气氛置换系统，其特征在于：所述退火炉壳体(1)内侧壁且靠近预处理管(4)的一侧设置有移动槽(27)，且移动槽(27)中移动安装有挤压杆(26)，挤压杆(26)靠近预处理管(4)的一端安装有滑动球(24)，且挤压杆(26)另一端固定安装挤压板(25)，安装在移动槽(27)内部的挤压杆(26)在竖直方向上配合安装有弹簧(28)。3.根据权利要求2所述的一种连续退火炉的气氛置换系统，其特征在于：所述退火炉壳体(1)和内胆(12)之间远离滑动球(24)的一侧移动安装有移动刷(13)，且移动刷(13)移动安装在退火炉壳体(1)内侧壁上，移动刷(13)靠近滑动球(24)的一侧固定连接移动块(14)，移动块(14)上侧平滑设置有滑动槽(20)，且滑动柱能够限位配合安...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘彬，
申请(专利权)人：恒源工业炉靖江有限公司，
类型：发明
国别省市：