一种用于晶圆陶瓷载盘移送设备的吸附机构制造技术

本实用新型专利技术提出一种用于晶圆陶瓷载盘移送设备的吸附机构，包括支承容纳构件、转接定位构件、遮罩防护构件、真空吸附构件及气流贯通构件，该吸附机构采用内设容纳通孔的支承横杆对贯通气管进行定位，同时在转接座架中开设与容纳通孔连通的定位腔体，使得贯通气管有足够的空间与吸附盘片上的贯通端头进行连接，支承横杆的配接豁口处设置具有定位通孔的定位端板，对各贯通气管分别进行定位，还设置遮罩背板及防护面板进行遮罩防护，使得贯通气管排列有序，并避免外露，不与周围部件发生干涉，有利于提升其运行过程的安全性，减少设备故障。减少设备故障。减少设备故障。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆陶瓷载盘移送设备的吸附机构


[0001]本技术涉及半导体生产设备，尤其涉及一种用于晶圆陶瓷载盘移送设备的吸附机构。

技术介绍

[0002]在一种陶瓷载盘移送设备的运行过程中，采用吸附机构对陶瓷载盘进行吸附抓取操作，常用的吸附机构外部结构较为复杂，有较多外凸部位，在移动过程中容易与周围部件发生干涉，从而造成故障。因此，有必要对这种吸附机构进行结构优化，以克服上述缺陷。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种用于晶圆陶瓷载盘移送设备的吸附机构，以减少设备故障，提升移送效率。
[0004]本技术为解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]一种用于晶圆陶瓷载盘移送设备的吸附机构，包括：
[0006]支承容纳构件，该支承容纳构件与驱动机构配合，可在驱动机构的带动下运动，其内部具有容纳空间；
[0007]转接定位构件，该转接定位构件安装于支承容纳构件上，可随支承容纳构件一同运动，其内部具有定位空间，定位空间与容纳空间连通；
[0008]遮罩防护构件，该遮罩防护构件安装于转接定位本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆陶瓷载盘移送设备的吸附机构，其特征在于，包括：支承容纳构件，该支承容纳构件与驱动机构配合，可在驱动机构的带动下运动，其内部具有容纳空间；转接定位构件，该转接定位构件安装于支承容纳构件上，可随支承容纳构件一同运动，其内部具有定位空间，定位空间与容纳空间连通；遮罩防护构件，该遮罩防护构件安装于转接定位构件上，可随转接定位构件一同运动；真空吸附构件，该真空吸附构件安装于遮罩防护构件上，可随遮罩防护构件一同运动；气流贯通构件，该气流贯通构件位于支承容纳构件的容纳空间及转接定位构件的定位空间内，并与真空设备及真空吸附构件连通，由真空吸附构件对陶瓷载盘进行真空吸附。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆陶瓷载盘移送设备的吸附机构，其特征在于，支承容纳构件包括：支承横杆，该支承横杆一端与驱动机构配合，另一端向驱动机构外部伸出，其内部开设有容纳通孔，容纳通孔沿支承横杆的长度方向延伸，支承横杆侧壁开设有配接豁口，配接豁口与容纳通孔连通。3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆陶瓷载盘移送设备的吸附机构，其特征在于，转接定位构件包括：转接座架，该转接座架外壁开设有配接嵌槽，配接嵌槽的形状与配接...

【专利技术属性】
技术研发人员：张旭东，郭晓婷，
申请(专利权)人：嘉兴微拓电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：