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本实用新型提出一种用于晶圆陶瓷载盘移送设备的吸附机构，包括支承容纳构件、转接定位构件、遮罩防护构件、真空吸附构件及气流贯通构件，该吸附机构采用内设容纳通孔的支承横杆对贯通气管进行定位，同时在转接座架中开设与容纳通孔连通的定位腔体，使得贯通气...
该专利属于嘉兴微拓电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴微拓电子科技股份有限公司授权不得商用。

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