一种采样装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种采样装置。根据本发明专利技术实施例的采样装置包括依次连接的吸收瓶、缓冲瓶和吸湿瓶；第一连接单元，分别与所述吸收瓶和所述缓冲瓶相连接，所述第一连接单元固定连接所述吸收瓶和所述缓冲瓶；以及第二连接单元，分别与所述缓冲瓶和所述吸湿瓶相连接，所述第二连接单元固定连接所述缓冲瓶和所述吸湿瓶，其中，所述吸收瓶与所述缓冲瓶相连通；所述缓冲瓶与所述吸湿瓶相连通；外界气体依次经过所述吸收瓶、所述缓冲瓶和所述吸湿瓶；所述外界气体在所述吸收瓶中完成采样。根据本发明专利技术实施例的采样装置，具有更好的稳定性，降低了倾倒的风险。的风险。的风险。

【技术实现步骤摘要】
一种采样装置


[0001]本专利技术涉及气体采样
，特别涉及一种采样装置。

技术介绍

[0002]空气传播分子污染物(Airborne Molecular Contaminant，AMC)也简称“分子污染”，它包括了洁净室空气中出现的一系列污染物，具有以气体、蒸汽及空气浮尘状态出现；化学特性可以为有机或者无机；包括酸、碱、聚合物添加剂、有机金属化合物、凝缩剂与添加剂等特征。
[0003]监测空气传播分子污染物含量不仅是保证fab(半导体厂)中空气质量需求，也是集成电路制作工艺中至关重要的一环。当前使用的AMC 采样装置包括冲击式吸收管、缓冲瓶、吸湿瓶和采样泵等部分。在实际使用过程中，现有的采样装置存在易倾倒、吸收不充分、易组装错误等问题。
[0004]因此，希望能有一种新的采样装置，能够克服上述问题。

技术实现思路

[0005]鉴于上述问题，本专利技术的目的在于提供一种采样装置，从而提高装置的稳定性，降低装置的倾倒风险。
[0006]根据本专利技术的一方面，提供一种采样装置，包括依次连接的吸收瓶、缓本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种采样装置，其特征在于，包括：依次连接的吸收瓶、缓冲瓶和吸湿瓶；第一连接单元，分别与所述吸收瓶和所述缓冲瓶相连接，所述第一连接单元固定连接所述吸收瓶和所述缓冲瓶；以及第二连接单元，分别与所述缓冲瓶和所述吸湿瓶相连接，所述第二连接单元固定连接所述缓冲瓶和所述吸湿瓶，其中，所述吸收瓶与所述缓冲瓶相连通；所述缓冲瓶与所述吸湿瓶相连通；外界气体依次经过所述吸收瓶、所述缓冲瓶和所述吸湿瓶；所述外界气体在所述吸收瓶中完成采样。2.根据权利要求1所述的采样装置，其特征在于，所述吸收瓶包括：吸收瓶主体；以及导流单元，位于所述吸收瓶主体中。3.根据权利要求2所述的采样装置，其特征在于，所述导流单元包括螺旋状导板、平行导流板、开孔导流板中的至少一种。4.根据权利要求2所述的采样装置，其特征在于，所述吸收瓶还包括：进气导管，所述进气导管的第一端用于接收所述外界气体，所述进气导管的第二端位于所述吸收瓶主体的底部，其中，所述外界气体经由所述进气导管的第二端进入所述吸收瓶主体中，并在所述吸收瓶主体中移动；所述导流单元设置在所述外界气体在所述吸收瓶主体中的移动路径上。5.根据权利要求1所述的采样装置，其特征在于，所述第一连接单元通过连接结构将所述吸收瓶和所述缓冲瓶机械连接，并限制所述吸收瓶和所述缓冲瓶的相对移动；和/或所述第二连接单元通过连接结构将所述缓冲瓶和所述吸湿瓶机械连接，并限制所述缓冲瓶和所述吸湿瓶的相对移动。6.根据权利要求5所述的采样装置，其特征在于，所述吸收瓶包括：吸收瓶主体；以及第一连接部，位于所述吸收瓶主体上；所述缓冲瓶包括：缓冲瓶主体；第二连接部，位于所述缓冲瓶主体上，所述第二连接部与所述第一连接部相匹配；以及第三连接部，位于所述缓冲瓶主体上；所述吸湿瓶包括：吸湿瓶主体；以及第四连接部，位于所述吸湿瓶主体上，所述第四连接部与所述第三连接部相匹配，其中，所述第一连接单元包括所述第一连接部和所述第二连接部；所述第二连接单元包括所述第三连接部和所述第四连接部。7.根据权利要求6所述的采样装置，其特征在于，所述第一连接部与所述第二连接部连接后...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾妮，何栋，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：