光学参数检测系统及方法技术方案

技术编号:34905548 阅读:61 留言:0更新日期:2022-09-15 06:50
本申请提供一种光学参数检测系统,用于检测待测物镜的光学参数,包括:波前传感器,波前传感器收发测试光;光引导组件,光引导组件包括转台和设置于转台上的转折镜;转台旋转带动转折镜旋转以将测试光以不同角度反射至待测物镜,并将待测物镜处的测试光以不同角度反射至波前传感器;以及球面反射镜,待测物镜的检测位置位于光引导组件与球面反射镜之间,球面反射镜位于待测物镜的像侧且可沿待测物镜的光轴移动,用于将待测物镜出射的测试光反射至待测物镜;波前传感器基于转台的旋转角度检测待测物镜在不同视场下的波像差并根据波像差及球面反射镜的位移获得待测物镜的光学参数。本申请还提供一种光学参数检测方法。本申请还提供一种光学参数检测方法。本申请还提供一种光学参数检测方法。

【技术实现步骤摘要】
光学参数检测系统及方法


[0001]本申请涉及光学参数检测领域,尤其涉及一种光学参数检测系统及应用于该光学参数检测系统的光学参数检测方法。

技术介绍

[0002]在不同的光学系统中,通常需要根据光学系统的结构、功能等选择具有不同光学参数的物镜。物镜的光学参数包括但不限于物镜的波像差、视场、渐晕、色差等。
[0003]上述的物镜的光学参数通常可通过不同的检测系统或不同的检测方法进行测量。例如可采用双程透射法测量物镜的波像差、视场;采用焦距仪测量物镜的焦距;采用畸变测试卡(具有规则的点阵图形)测量物镜的畸变信息;采用数值孔径计测量测量物镜的数值孔径;采用工件台检测物镜的场曲信息等等。
[0004]一方面,不同的光学参数需要不同的仪器或方法进行测量,不利于提升检测的便捷性。另一方面,前述的各类检测系统检测精度也较低。例如,采用畸变测试卡检测畸变信息时,由于点阵图形的图形对称度以及点阵间隔误差约3μm,导致畸变信息的测量误差无法进一步提高;采用工件台测量场曲信息时,测试精度受限于工件台定位误差,只能到微米级。

技术实现思路

[0005]本申请一方面提供一种光学参数检测系统,用于检测待测物镜的光学参数,包括:
[0006]波前传感器,所述波前传感器收发测试光;
[0007]光引导组件,所述光引导组件包括转台和设置于所述转台上的转折镜;所述转台旋转带动所述转折镜旋转以将所述测试光以不同角度反射至所述待测物镜,并将所述待测物镜处的所述测试光以不同角度反射至所述波前传感器;以及
>[0008]球面反射镜,所述待测物镜的检测位置位于所述光引导组件与所述球面反射镜之间,所述球面反射镜位于所述待测物镜的像侧且可沿所述待测物镜的光轴移动,用于将所述待测物镜出射的所述测试光反射至所述待测物镜;所述波前传感器基于所述转台的旋转角度检测所述待测物镜在不同视场下的波像差并根据所述波像差及所述球面反射镜的位移获得所述待测物镜的光学参数。
[0009]本申请另一方面提供一种光学参数检测方法,应用于如上述的光学参数检测系统,所述光学参数检测方法包括视场检测步骤,所述视场检测步骤包括:
[0010]移动所述反射镜至所述待测物镜的共焦位置,波像差波前传感器发出测试光;
[0011]通过光引导组件多次改变所述测试光入射至所述待测物镜时的角度;以及,
[0012]所述波像差波前传感器检测待测物镜的中心视场和轴外视场的波像差,并基于所述波像差的检测结果确定待测物镜的视场。
[0013]上述光学参数检测系统,包括波前传感器、光引导组件及球面反射镜,光引导组件包括转台和设置于所述转台上的转折镜,所述球面反射镜位于所述待测物镜的像侧且可沿
所述待测物镜的光轴移动,波前传感器可基于所述转台的旋转角度检测所述待测物镜在不同视场下的波像差并根据所述波像差及所述球面反射镜的位移获得所述待测物镜的视场等光学参数。因此上述光学参数检测系统可以实现对不只一个光学参数的测量,在检测不同光学参数时无需更换检测仪器,有利于提升检测便捷性。且上述光学参数检测装置精确度较高。
附图说明
[0014]图1为本申请实施例一的光学参数检测系统的结构示意图。
[0015]图2为利用本申请实施例一的光学参数检测系统检测待测物镜波像差和视场时的步骤流程示意图。
[0016]图3为第二测试光的视场示意图。
[0017]图4为利用本申请实施例一的光学参数检测系统检测待测物镜数值孔径和远心度时的步骤流程示意图。
[0018]图5为利用本申请实施例一的光学参数检测系统检测待测物镜畸变信息和焦距时的步骤流程示意图。
[0019]图6为利用本申请实施例一的光学参数检测系统检测待测物镜场曲时的步骤流程示意图。
[0020]图7为本申请实施例二的光学参数检测系统的结构示意图。
[0021]图8为利用本申请实施例二的光学参数检测系统检测待测物镜垂轴色差和轴向色差时的步骤流程示意图。
[0022]主要元件符号说明
[0023]光学参数检测系统
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100、200
[0024]波前传感器
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110、210
[0025]出光端面
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111、211
[0026]平面标准镜
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112、212
[0027]光引导组件
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120、220
[0028]转台
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121、221
[0029]转折镜
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122、222
[0030]球面反射镜
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130、230
[0031]平行平板
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140、240
[0032]激光干涉测距仪
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150、250
[0033]分光组件
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16、26
[0034]三面反射镜
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161、261
[0035]分光反射镜组
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162、262
[0036]第一光源
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270
[0037]第二光源
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280
[0038]待测物镜
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300
[0039]光轴
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310
[0040]第一端
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320
[0041]第二端
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330
[0042]步骤 S11、S12、S13、S14、S15、S21、S22、S23、S31、S32、S33、S34、S35、S41、S42、S43、S44、S45、S51、S52、S53、S61、S62、S63
[0043]如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本申请。
具体实施方式
[0044]实施例一
[0045]请参阅图1,本实施例中的光学参数检测系统100,用于检测待测物镜300的光学参数。本实施例中,待测物镜300为无限共轭物镜。且待测物镜300可为非浸液物镜或浸液物镜。
[0046]光学参数检测系统本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学参数检测系统,用于检测待测物镜的光学参数,其特征在于,包括:波前传感器,所述波前传感器收发测试光;光引导组件,所述光引导组件包括转台和设置于所述转台上的转折镜;所述转台旋转带动所述转折镜旋转以将所述测试光以不同角度反射至所述待测物镜,并将所述待测物镜处的所述测试光以不同角度反射至所述波前传感器;以及球面反射镜,所述待测物镜的检测位置位于所述光引导组件与所述球面反射镜之间,所述球面反射镜位于所述待测物镜的像侧且可沿所述待测物镜的光轴移动,用于将所述待测物镜出射的所述测试光反射至所述待测物镜;所述波前传感器基于所述转台的旋转角度检测所述待测物镜在不同视场下的波像差并根据所述波像差及所述球面反射镜的位移获得所述待测物镜的光学参数。2.如权利要求1所述的光学参数检测系统,其特征在于,还包括设置在所述待测物镜远离所述球面反射镜一侧并于光轴垂直的平行平板。3.如权利要求2所述的光学参数检测系统,其特征在于,还包括安装在所述球面反射镜一侧且位于所述待测物镜光轴外的激光干涉测距仪,所述激光干涉测距仪与所述球面反射镜之间设有三面反射镜,所述三面反射镜与所述球面反射镜可同步位移,所述激光干涉测距仪用于测量所述三面反射镜的位置;所述三面反射镜包括两两垂直的第一反射面、第二反射面及第三反射面,所述第一反射面的法线与所述待测物镜的光轴平行,所述第二反射面的法线与所述平行平板平行,所述激光干涉测距仪发出的检测光经分光和/或反射后分别经所述三面反射镜的不同反射面传递至所述球面反射镜,所述第一反射面对应的光路为所述待测物镜的场曲测试光路,所述第二反射面对应的光路为所述待测物镜的畸变和焦距测试光路。4.如权利要求3所述的光学参数检测系统,其特征在于,所述波前传感器为基于双光束干涉的菲索干涉仪;或者,所述波前传感器包括夏克

哈特曼传感器以及与所述夏克

哈特曼传感器配合使用的光源。5.如权利要求4所述的光学参数检测系统,其特征在于,所述光源用于产生不同波长的所述测试光,所述夏克

哈特曼传感器根据所述不同波长的所述测试光对应的测试结果偏差获得所述待测物镜的垂轴色差;所述激光干涉测距仪根据不同测试光下检测到的所述球面反射镜的位置获得所述待测物镜的轴向色差。6.一种光学参数检测方法,其特征在于,应用于如权利要求1

5任意一项所述的光学参数检测系统,所述光学参数检测方法包括视场检测步骤,所述视场检测步骤包括:移动所述球面反射镜至所述待测物镜的共焦位置,波像差波前传感器发出测试光;通过光引导组件多次改变所述测试光入射至所述待测物镜时的角度;以及,所述波像差波前传感器检测待测物镜的中心视场和轴外视场的波像差,并基于所述波像差的检测结果确定待测...

【专利技术属性】
技术研发人员:苗亮陈新东张鑫马庆坤
申请(专利权)人:长春长光华大智造测序设备有限公司
类型:发明
国别省市:

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