一种半导体生产用线材的导向器制造技术

本申请涉及半导体生产设备技术领域，提供一种半导体生产用线材的导向器，用于输送半导体生产用的线材，线材穿设在引线导管中，其中导向器包括：导向装置，其上开设有导向通道，引线导管位于导向通道内，导向装置通过在导向通道内通气而将引线导管限位于导向通道的中间；冷却装置，其内设置有传输通道，线材穿设在传输通道内，并通过传输通道外的气体对线材进行冷却；导气装置，其连接导向装置和冷却装置，并将经过导向装置的气体进行导流并散热；散热装置，其设置在导向装置和冷却装置的一侧，并连通冷却装置和导向装置，并将经过冷却装置的气体输送到导向装置中。解决焊接前的线材温度过高的问题，实现气体的循环使用，节约生产成本。节约生产成本。节约生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产用线材的导向器


[0001]本申请涉及半导体元器件加工
，更具体地说，是涉及一种半导体生产用线材的导向器。

技术介绍

[0002]大功率半导体晶体管在生产过程中，为了提高产品的性能及竞争力，提高芯片与框架的粘接性能，降低粘接面的焊接空洞、虚焊等芯片粘接质量问题，目前采用的是点焊料生产工艺，通过线材作为焊料不断输入到焊接位置进行点焊。
[0003]粘片过程中通过加热底板产生高温，将焊料熔接到框架基岛表面，此时加热底板表面的温度会对传送过程的线材造成温度影响，会影响线材传送过程的稳定性，由于高温而引起线材的融化、氧化等问题。而且线材需要利用导向装置对引线导管进行导向，现有的导向装置只采用引线导管，线材通过导向装置的过程当中，容易接触到导向装置的内边缘，导致存在摩擦；摩擦会使得线材外表面被刮伤形成刮痕造成质量隐患，同时，在摩擦过程中引线导管容易被磨损造成损坏；再者，相互摩擦容易产生碎屑异物，会沾到电路板上或沾到芯片的表面，影响了产品质量。
[0004]现有的生产半导体的焊接设备中，由于线材与导管之间的摩擦而导致线材刮伤、导向部分易摩擦，且产生碎屑而影响到产品质量；由于焊接前的线材温度过高而导致线材融化、氧化等问题而影响到产品质量。
[0005]因此，现有技术还有待于改进和发展。

技术实现思路

[0006]本申请的目的在于提供一种半导体生产用线材的导向器，解决现有技术中由于引线导管的摩擦而导致导向部分易摩擦受力而使设备压力输出不足，且产生碎屑而影响到产品质量，由于焊接前的线材温度过高而导致线材融化、氧化等问题而影响到产品质量的问题。
[0007]为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：本申请提供一种半导体生产用线材的导向器，用于输送半导体生产用的线材，线材穿设在引线导管中，其中导向器包括：导向装置，导向装置上开设有导向通道，引线导管位于导向通道内，导向装置通过在导向通道内通气而将引线导管限位于导向通道的中间；冷却装置，冷却装置内设置有传输通道，线材穿设在传输通道内，并通过传输通道外的气体对线材进行冷却；导气装置，导气装置连接导向装置和冷却装置，并将经过导向装置的气体进行导流并散热；散热装置，散热装置设置在导向装置和冷却装置的一侧，并连通冷却装置和导向装置，并将经过冷却装置的气体输送到导向装置中。
[0008]在一个实施例中，导向装置包括：第一进风通道，第一进风通道与散热装置相连接，并用于输入气体；第一空腔，第一空腔设置在导向通道上，并与第一进风通道相连通；第一导向部，第一导向部上贯穿开设有第一定中孔，第一定中孔与导向通道同心设置，第一导向部的周向对称分布有出气口，出气口连通第一空腔和第一定中孔；引线导管穿设在第一定中孔中。
[0009]在一个实施例中，第一导向部包括：若干导向块，相邻的导向块之间形成出气口，若干导向块围成第一定中孔。
[0010]在一个实施例中，导气装置内贯穿设置有导气通道，导气通道的一端连接第一定中孔的下端，另一端连接传输通道，引线导管穿设在导气通道内；导气装置还包括：第二空腔，第二空腔设置在导气通道背离导向装置的一端；第二导向部，第二导向部上贯穿开设有第二定中孔，第二定中孔与导气通道同心设置，第二导向部的周向对称分布有进气口，进气口连通第二空腔和第二定中孔；第一出风通道，第一出风通道连通第二空腔，并用于抽出第二空腔内的气体。
[0011]在一个实施例中，导气装置还包括：散热圆片，散热圆片沿上下方向间隔设置在导气通道的外侧。
[0012]在一个实施例中，冷却装置包括：沿上下方向依次设置在传输通道外侧的进气腔、出气腔、换气腔，进气腔与换气腔之间连通有第一气道，换气腔与出气腔之间连通有第二气道，在进气腔设置冷却进气口，在出气腔设置冷却出气口。
[0013]在一个实施例中，散热装置包括：散热本体，散热本体内设置有散热流道，散热流道连通冷却出气口和第一进风通道；散热鳍片，散热鳍片设置在散热本体上，并位于散热流道的外侧。
[0014]在一个实施例中，冷却进气口上通过管道连接有循环气泵，循环气泵通过管道连接第一出风通道。
[0015]在一个实施例中，循环气泵与第一出风通道之间的管道上连接有换向电磁阀，换向电磁阀用于将第一出风通道连通循环气泵，或者将外部冷却空气连通循环气泵。
[0016]在一个实施例中，散热流道和冷却出气口之间连通有调压阀。
[0017]本申请提供的一种半导体生产用线材的导向器的有益效果至少在于：通过将线材穿设在引线导管中，且将引线导管置于导向通道内，并在导向通道内通气使引线导管位于导向通道的中间位置，不与通道的边缘进行接触，利用气流的作用将引线导管限定在导向通道的中间位置，从而避免了与导向装置的实体部分接触而导致设备压力输出不足，而且不会产生摩擦现象，避免了产生线材被刮伤和碎屑而影响到产品质量。通过将进行导向后的线材穿设过冷却装置，传输通道与导向通道相通并可同心设置，线材在传输通道内被传送的过程中被冷却，实现了对传输通道内的线材的充分冷却，降温效果好，使线材既实现了在传输通道的中间位置进行输送，也实现冷却效果，避免了焊接前的线材温度过高而导致线材融化、氧化等问题而影响到产品质量。通过冷却装置内的冷气对传输通道内的线材进行冷却后进入到散热装置，散热装置将冷气输送到导向装置，并在输送过程中对冷气进行散热，使冷却的气体在带出冷却装置中的线材的热量后，可以将热量及时散热，并再次进入
到导向装置，通过该气体所产生的气流对引线导管进行包围而使引线导管在周围气流的作用下被限定在导向通道的中间位置，在导向装置中可以实现对线材的再次冷却，从而使输送的冷气被充分利用，节约了能源。通过在导向装置和冷却装置之间设置导气装置，引线导管穿设过导气装置，并可以使从导向装置中所流出的冷气沿着导气装置进行流动，由于导向装置有一定的延伸距离，在导向装置内的气流可以对位于导气装置内的引线导管进行作用，使线材能稳定地在导向装置内输送到冷却装置中，且该段距离内冷气对线材持续降温，保证了在焊接前线材稳定位于通道中间移动，从而不会与各部件产生摩擦以及得到足够冷却降温，提高了生产质量。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本申请实施例提供的一种用半导体生产用线材的导向器的主要结构示意图；图2为本申请实施例提供的一种半导体生产用线材的导向器的主要结构的爆炸图；图3为图2的A部放大图；图4为本申请实施例提供的一种半导体生产用线材的导向器的冷却装置的气体流向示意图；图5为本申请实施例提供的一种半导体生产用线材的导向器的散热装置的爆炸图；图6为本申请实施例提供的一种半导体生产用线材的导向器的导气装置的第二种结构的爆炸图；图7为图6的B部放大图；图8为本申请实施例提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体生产用线材的导向器，用于输送半导体生产用的线材，线材穿设在引线导管中，其特征在于，包括：导向装置，所述导向装置上开设有导向通道，所述引线导管位于导向通道内，所述导向装置通过在所述导向通道内通气而将所述引线导管限位于所述导向通道的中间；冷却装置，所述冷却装置内设置有传输通道，所述线材穿设在传输通道内，并通过传输通道外的气体对所述线材进行冷却；导气装置，所述导气装置连接所述导向装置和所述冷却装置，并将经过所述导向装置的气体进行导流并散热；散热装置，所述散热装置设置在所述导向装置和所述冷却装置的一侧，并连通所述冷却装置和所述导向装置，并将经过所述冷却装置的气体输送到导向装置中。2.如权利要求1所述的半导体生产用线材的导向器，其特征在于，所述导向装置包括：第一进风通道，所述第一进风通道与所述散热装置相连接，并用于输入气体；第一空腔，所述第一空腔设置在所述导向通道上，并与所述第一进风通道相连通；第一导向部，所述第一导向部上贯穿开设有第一定中孔，所述第一定中孔与所述导向通道同心设置，所述第一导向部的周向对称分布有出气口，所述出气口连通所述第一空腔和所述第一定中孔；所述引线导管穿设在所述第一定中孔中。3.如权利要求2所述的半导体生产用线材的导向器，其特征在于，所述第一导向部包括：若干导向块，相邻的导向块之间形成出气口，所述若干导向块围成所述第一定中孔。4.如权利要求2所述的半导体生产用线材的导向器，其特征在于，所述导气装置内贯穿设置有导气通道，所述导气通道的一端连接所述第一定中孔的下端，另一端连接所述传输通道，所述引线导管穿设在所述导气通道内；所述导气装置还包括：第二空腔，所述第二空腔设置在所述导气通...

【专利技术属性】
技术研发人员：林品旺，雒继军，张亮亮，肖志华，谢李君，
申请(专利权)人：佛山市蓝箭电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：