一种晶棒自动检测流水线制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于晶棒流水检测作业的晶棒自动检测流水线，流水线主体上设有用于运输晶棒的传送带；流水线主体上设有电阻率测量仪、截断机、寿命检测仪、晶向检测仪、开方机和磨倒机，电阻率测量仪设置在截断机前方的传送带的一侧，寿命检测仪和晶向检测仪依次设置在开方机对应的传送带的一侧；碳氧测量系统，碳氧测量系统包括机械臂和设置在机械臂上的碳氧测量仪，机械臂用于夹取和运输晶棒，碳氧测量仪用于向晶棒射出红外线以进行检测。本实用新型专利技术的晶棒自动检测流水线通过将检测仪器设置在流水线上，实现了晶棒的全自动检测，有效的降低了人工成本，减少了人为误差和检测时间，提升了生产效率。提升了生产效率。提升了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶棒自动检测流水线


[0001]本技术涉及单晶检测
，具体涉及一种晶棒自动检测流水线。

技术介绍

[0002]在单晶拉制行业中，单晶的氧碳含量、电阻率、寿命以及晶向等数据都需要进行检测。晶棒首先需要经过人工初测测量表皮电阻，以确定截断的长度以及大致的合格晶棒长度，然后将晶棒进行截断操作，截下的头部和尾部需要使用人工搬运，最后使用人工检测的方式，进行晶棒头尾氧碳、寿命电阻率等参数的检测及数据录入，检测过程漫长而繁琐，人工操作也容易产生检测误差。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术提供一种晶棒自动检测流水线，用以解决人工检测晶棒费时费力的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0005]根据本技术实施例的一种晶棒自动检测流水线，包括：
[0006]用于晶棒流水检测作业的流水线主体，流水线主体上设有用于运输晶棒的传送带；
[0007]流水线主体上设有电阻率测量仪、截断机、寿命检测仪、晶向检测仪、开方机和磨倒机，电阻率测量仪设置在截断机前方的传送带的一侧，寿命检测仪和晶向检测仪依次设置在开方机对应的传送带的一侧；
[0008]碳氧测量系统，碳氧测量系统包括机械臂和设置在机械臂上的碳氧测量仪，机械臂用于夹取和运输晶棒，碳氧测量仪用于向晶棒射出红外线以进行检测。
[0009]在本技术的一个实施例中，流水线主体形成为多段，包括第一流水线主体和第二流水线主体，碳氧测量系统设置在第一流水线主体和第二流水线主体之间，第一流水线主体与碳氧测量系统连接处形成为出料端，出料端设置有晶棒定位装置。
[0010]在本技术的一个实施例中，碳氧测量系统还包括：
[0011]检测台，检测台连接在出料端和第二流水线之间；
[0012]固定架，固定架设置在检测台上方，固定架上设置有与检测台长度方向一致的滑动轨道，滑动轨道延伸至出料端；
[0013]机械臂用于与滑动轨道滑动连接以夹持晶棒，机械臂包括至少一个。
[0014]在本技术的一个实施例中，机械臂上设置有功率可调节的同步电机。
[0015]在本技术的一个实施例中，机械臂与晶棒接触的一端套设有隔热件。
[0016]在本技术的一个实施例中，传送带为聚四氟乙烯制件。
[0017]在本技术的一个实施例中，晶棒自动检测流水线还包括：控制器，控制器分别与碳氧测量系统、电阻率测量仪、截断机、开方机、磨倒机、寿命检测仪及晶向检测仪电连接。
[0018]在本技术的一个实施例中，机械臂与控制器电连接。
[0019]在本技术的一个实施例中，控制器为PLC控制器。
[0020]在本技术的一个实施例中，晶棒自动检测流水线还包括：显示装置，显示装置与控制器连接。
[0021]本技术的上述技术方案至少具有如下有益效果之一：
[0022]1、本技术的晶棒自动检测流水线，将检测仪器集成到流水线上，实现了晶棒的全自动检测，有效减少了检测时间，减少了人为误差，提高了生产效率；
[0023]2、本技术的晶棒自动检测流水线，将检测仪器生成的数据集成至显示装置上，可以及时的反馈数据，进行数据交互，进一步提升了生产效率。
附图说明
[0024]图1为本技术实施例提供的一种晶棒自动检测流水线的结构示意图。
[0025]附图标记：100、第一流水线主体；101、第二流水线主体；102、晶棒定位装置；110、传送带；200、碳氧测量系统；210、检测台；220、固定架；230、机械臂；240、碳氧测量仪；300、电阻率测量仪；400、截断机；500、寿命检测仪；600、晶向检测仪；700、开方机；800、磨倒机；900、晶棒。
具体实施方式
[0026]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]除非另作定义，本技术中使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。
[0028]现有的晶棒检测过程中，晶棒首先需要经过人工初测测量表皮电阻，以确定截断的长度以及大致的合格晶棒长度，然后将晶棒进行截断操作，截下的头部和尾部需要使用人工搬运，最后使用人工检测的方式，进行晶棒头尾氧碳、寿命电阻率等参数的检测及数据录入，检测过程漫长而繁琐，人工操作也容易产生检测误差。
[0029]下面首先结合附图具体描述本技术实施例的晶棒自动检测流水线。
[0030]如图1所示，图1为本技术实施例的一种晶棒自动检测流水线，包括：用于晶棒流水线检测作业的流水线主体，流水线主体上设有用于运输晶棒的传送带110，流水线主体上设有电阻率测量仪300、截断机400、寿命检测仪500、晶向检测仪600、开方机700、磨倒机800；电阻率测量仪300设置在截断机400前方的传送带110的一侧，寿命检测仪500和晶向检测仪600依次设置在开方机700对应的传送带110的一侧；碳氧测量系统200，碳氧测量系统
200包括机械臂230和设置在机械臂230上的碳氧测量仪240，机械臂230用于夹取和运输晶棒900，碳氧测量仪240用于向晶棒900射出红外线以进行检测。具体来说，高温的晶棒900可以放置在流水线主体的机架上，机架上的传送带110可以将晶棒900依次输送至各个检测仪器下方进行检测。下面详细描述晶棒900在流水线上的检测流程，首先，传送带110将晶棒900传送至碳氧测量系统200前方，机械臂230将晶棒900由传送带110夹取到碳氧测量系统200内，机械臂230上的碳氧测量仪240可以检测晶棒900的碳氧含量，然后传送带110可以将晶棒900输送到截断机400上，截断机400一侧的电阻率测量仪300可以检测晶棒900表皮的电阻率，并可以根据设定偏差值自动报警，之后截断机400可以将晶棒900截成数段，然后传送带110可以将多段晶棒900分别输送到开方机700上，开方机700两侧的寿命检测仪500和晶向检测仪600可以分别检测晶棒900的少子寿命和晶向，再然后开方机700将圆柱状的晶棒900切割成方棒，最后，传送带110将晶棒90本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒自动检测流水线，其特征在于，包括：用于所述晶棒流水检测作业的流水线主体，所述流水线主体上设有用于运输所述晶棒的传送带；所述流水线主体上设有电阻率测量仪、截断机、寿命检测仪、晶向检测仪、开方机和磨倒机，所述电阻率测量仪设置在所述截断机前方的所述传送带的一侧，所述寿命检测仪和所述晶向检测仪依次设置在所述开方机对应的所述传送带的一侧；碳氧测量系统，所述碳氧测量系统包括机械臂和设置在所述机械臂上的碳氧测量仪，所述机械臂用于夹取和运输晶棒，所述碳氧测量仪用于向所述晶棒射出红外线以进行检测。2.根据权利要求1所述的晶棒自动检测流水线，其特征在于，所述流水线主体形成为多段，包括第一流水线主体和第二流水线主体，所述碳氧测量系统设置在所述第一流水线主体和所述第二流水线主体之间，所述第一流水线主体与所述碳氧测量系统连接处形成为出料端，所述出料端设置有晶棒定位装置。3.根据权利要求2所述的晶棒自动检测流水线，其特征在于，所述碳氧测量系统还包括：检测台，所述检测台连接在所述出料端和所述第二流水线之间；固定架，所述固定架设置在所述检测台上方，所述固定架上设...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨超，武绚丽，宋克冉，
申请(专利权)人：曲靖晶龙电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：