一种FOG盘片检测用工作台制造技术

本发明专利技术涉及盘片检测领域，尤其涉及一种FOG盘片检测用工作台。本发明专利技术提供一种使用方便的FOG盘片检测用工作台。一种FOG盘片检测用工作台，包括有支撑架、工作台、刻度框、测量接触块、第一压缩弹簧、盘片固定机构和区域选择稳定检测机构，刻度框上滑动式连接有测量接触块，测量接触块右部与刻度框之间连接有第一压缩弹簧，第一压缩弹簧套在测量接触块上，支撑架顶部连接有工作台，工作台上设有盘片固定机构，工作台上设有区域选择稳定检测机构。沿弧形滑轨使得测量接触块做周向运动对FOG盘片进行大范围检测，且通过移动衔接框即可完成对测量接触块的调节，使得测量接触块能够对FOG盘片不同位置进行检测，实现了操作简单，使用方便的效果。便的效果。便的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种FOG盘片检测用工作台


[0001]本专利技术涉及盘片检测领域，尤其涉及一种FOG盘片检测用工作台。

技术介绍

[0002]盘片在加工过程中因为制成的需要而进行环境的升温或是降温。因此，在经过加热及冷却的循环过程下，基板容易变形，使得盘片的形状翘曲不平整，进而造成盘片的品质下降。为了保持盘片的品质，则需要利用盘片检测装置来测量盘片是否变形。现有技术的检测装置多为固定设置，在对盘片进行检测时，需要人们不停更换盘片需要检测的位置，才能使检测装置对盘片进行检测，因此使用起来较不方便。
[0003]如何设计一种使用方便的FOG盘片检测用工作台是本专利需要解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术的检测装置多为固定设置，在对盘片进行检测时，需要人们不停更换盘片需要检测的位置，因此使用起来较不方便的缺点，本专利技术的技术问题：提供一种使用方便的FOG盘片检测用工作台。
[0005]本专利技术的技术实施方案是：一种FOG盘片检测用工作台，包括有支撑架、工作台、刻度框、测量接触块、第一压缩弹簧、盘片固定机构和区域选择稳定检测机构，刻度框上滑动式连接有测量接触块，测量接触块右部与刻度框之间连接有第一压缩弹簧，第一压缩弹簧套在测量接触块上，支撑架顶部连接有工作台，工作台上设有盘片固定机构，盘片固定机构向内移动将FOG盘片夹紧固定，工作台上设有区域选择稳定检测机构，区域选择稳定检测机构与刻度框连接，区域选择稳定检测机构转动带动刻度框、测量接触块和第一压缩弹簧转动对FOG盘片进行检测，同时区域选择稳定检测机构向右移动调节测量接触块对FOG盘片不同位置进行检测。
[0006]进一步的是，盘片固定机构包括有固定杆、夹紧器和第二压缩弹簧，工作台左右两侧的内侧均连接有两个固定杆，左侧的两个固定杆之间滑动式连接有夹紧器，右侧的两个固定杆之间滑动式连接有夹紧器，夹紧器向内移动夹紧FOG盘片，左侧的两个固定杆均与左侧的夹紧器之间连接有第二压缩弹簧，右侧的两个固定杆均与右侧的夹紧器之间连接有第二压缩弹簧，第二压缩弹簧套在固定杆上。
[0007]进一步的是，区域选择稳定检测机构包括有直滑轨、第一滑动器、弧形滑轨、第二滑动器和调节组件，工作台顶部左右两侧均连接有直滑轨，直滑轨上均滑动式连接有第一滑动器，两个第一滑动器顶部之间连接有弧形滑轨，弧形滑轨上滑动式连接有第二滑动器，第二滑动器下部设有调节组件，调节组件向右移动调节测量接触块对FOG盘片不同位置进行检测。
[0008]进一步的是，调节组件包括有衔接框、调节杆和第一卡销，第二滑动器下部连接有调节杆，调节杆上均匀间隔开有五个第一限位孔，调节杆上滑动式连接有衔接框，衔接框前壁右侧与刻度框连接，衔接框顶部均匀间隔开有四个第二限位孔，左侧的第一限位孔与左
侧的第二限位孔内侧之间放置有第一卡销，取出第一卡销，衔接框向右移动带动刻度框、测量接触块和第一压缩弹簧向右移动，调节测量接触块对FOG盘片不同位置进行检测。
[0009]进一步的是，还包括有用于人们知晓FOG盘片表面的凸起处的画线标记机构，画线标记机构包括有固定轴、转动杆、第三滑轨、第一下压架、第一画线笔和第三压缩弹簧，刻度框前壁左侧连接有固定轴，固定轴上转动式连接有转动杆，转动杆右部开有第一滑槽，转动杆左部开有第二滑槽，测量接触块在第一滑槽内滑动，衔接框前壁中部连接有第三滑轨，第三滑轨上滑动式连接有第一下压架，第一下压架在第二滑槽内滑动，第一下压架下部滑动式连接有第一画线笔，刻度框通过转动杆带动第一下压架向下移动，第一下压架带动第一画线笔向下移动在FOG盘片表面的凸起部分画条线，第一画线笔顶部与第一下压架之间连接有第三压缩弹簧，第三压缩弹簧位于第一下压架下部内侧。
[0010]进一步的是，还包括有用于人们进一步知晓FOG盘片表面的凸起处的检测阻力机构，检测阻力机构包括有伸缩推动杆、挤压杆、挤压架和第四压缩弹簧，第一下压架左侧连接有伸缩推动杆，伸缩推动杆与第三滑轨滑动式连接，调节杆前壁左侧滑动式连接有挤压杆，挤压杆与衔接框滑动式连接，挤压杆上部与伸缩推动杆左端滑动式连接，挤压杆下部滑动式连接有挤压架，第一下压架通过伸缩推动杆带动挤压杆向左移动，挤压杆带动挤压架向左移动与弧形滑轨接触产生阻力，从而提醒人们该为FOG盘片的表面凸起处，挤压架与挤压杆之间连接有第四压缩弹簧，第四压缩弹簧位于挤压架内侧。
[0011]进一步的是，还包括有用于在FOG盘片表面的凹陷部分画条线的第二画线调节机构，第二画线调节机构包括有第一齿条、齿轮、第二齿条、第二画线笔和第五压缩弹簧，第一下压架右侧连接有第一齿条，第一齿条与第三滑轨滑动式连接，衔接框前壁中部转动式连接有齿轮，第一齿条与齿轮啮合，刻度框左壁滑动式连接有第二齿条，第二齿条与齿轮啮合，第二齿条下部滑动式连接有第二画线笔，第二画线笔顶部与第二齿条之间连接有第五压缩弹簧，第五压缩弹簧位于第二齿条下部内侧，第一下压架带动第一齿条向上移动，第一齿条通过齿轮带动第二齿条、第二画线笔和第五压缩弹簧向下移动，第二画线笔在FOG盘片表面的凹陷部分画条线。
[0012]进一步的是，还包括有用于对弧形滑轨进行定位的限位机构，限位机构包括有固定板、第二卡销和第六压缩弹簧，两个第一滑动器外侧均连接有固定板，固定板上均滑动式连接有第二卡销，左侧的固定板顶部与左侧的第二卡销之间连接有第六压缩弹簧，右侧的固定板顶部与右侧的第二卡销之间连接有第六压缩弹簧，第六压缩弹簧套在第二卡销上，工作台顶部左右两侧的中部均开有卡槽，第二卡销向后移动卡进卡槽内，对弧形滑轨进行定位。
[0013]进一步的是，第二卡销底部为弧形设置，第二卡销向前移动时，工作台向上挤压第二卡销与卡槽分离。
[0014]本专利技术具有如下优点：沿弧形滑轨使得测量接触块做周向运动对FOG盘片进行大范围检测，且通过移动衔接框即可完成对测量接触块的调节，使得测量接触块能够对FOG盘片不同位置进行检测，实现了操作简单，使用方便的效果；第一画线笔在FOG盘片表面的凸起部分画条线，以便人们知晓FOG盘片表面的凸起处；弧形滑轨与挤压架之间产生阻力，使得人们能够感知，从而提醒人们该为FOG盘片的表面凸起处；第二画线笔在FOG盘片表面的凹陷部分画条线，以便人们知晓FOG盘片表面的凹陷处；通过设置的第二卡销卡进卡槽内，
从而对弧形滑轨进行定位，使得弧形滑轨位于FOG盘片正上方。
附图说明
[0015]图1为本专利技术的第一种立体结构示意图。
[0016]图2为本专利技术的第二种立体结构示意图。
[0017]图3为本专利技术的A处放大立体结构示意图。
[0018]图4为本专利技术的盘片固定机构立体结构示意图。
[0019]图5为本专利技术的区域选择稳定检测机构立体结构示意图。
[0020]图6为本专利技术的区域选择稳定检测机构第一种部分立体结构示意图。
[0021]图7为本专利技术的区域选择稳定检测机构第二种部分立体结构示意图。
[0022]图8为本专利技术的第二滑动器和调节杆立体结构示意图。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种FOG盘片检测用工作台，包括有刻度框(3)、测量接触块(4)和第一压缩弹簧(5)，刻度框(3)上滑动式连接有测量接触块(4)，测量接触块(4)右部与刻度框(3)之间连接有第一压缩弹簧(5)，第一压缩弹簧(5)套在测量接触块(4)上，其特征是：支撑架(1)、工作台(2)、盘片固定机构(6)和区域选择稳定检测机构(7)，支撑架(1)顶部连接有工作台(2)，工作台(2)上设有盘片固定机构(6)，盘片固定机构(6)向内移动将FOG盘片夹紧固定，工作台(2)上设有区域选择稳定检测机构(7)，区域选择稳定检测机构(7)与刻度框(3)连接，区域选择稳定检测机构(7)转动带动刻度框(3)、测量接触块(4)和第一压缩弹簧(5)转动对FOG盘片进行检测，同时区域选择稳定检测机构(7)向右移动调节测量接触块(4)对FOG盘片不同位置进行检测。2.按照权利要求1所述的一种FOG盘片检测用工作台，其特征是：盘片固定机构(6)包括有固定杆(61)、夹紧器(62)和第二压缩弹簧(63)，工作台(2)左右两侧的内侧均连接有两个固定杆(61)，左侧的两个固定杆(61)之间滑动式连接有夹紧器(62)，右侧的两个固定杆(61)之间滑动式连接有夹紧器(62)，夹紧器(62)向内移动夹紧FOG盘片，左侧的两个固定杆(61)均与左侧的夹紧器(62)之间连接有第二压缩弹簧(63)，右侧的两个固定杆(61)均与右侧的夹紧器(62)之间连接有第二压缩弹簧(63)，第二压缩弹簧(63)套在固定杆(61)上。3.按照权利要求2所述的一种FOG盘片检测用工作台，其特征是：区域选择稳定检测机构(7)包括有直滑轨(71)、第一滑动器(72)、弧形滑轨(73)、第二滑动器(74)和调节组件，工作台(2)顶部左右两侧均连接有直滑轨(71)，直滑轨(71)上均滑动式连接有第一滑动器(72)，两个第一滑动器(72)顶部之间连接有弧形滑轨(73)，弧形滑轨(73)上滑动式连接有第二滑动器(74)，第二滑动器(74)下部设有调节组件，调节组件向右移动调节测量接触块(4)对FOG盘片不同位置进行检测。4.按照权利要求3所述的一种FOG盘片检测用工作台，其特征是：调节组件包括有衔接框(75)、调节杆(76)和第一卡销(79)，第二滑动器(74)下部连接有调节杆(76)，调节杆(76)上均匀间隔开有五个第一限位孔(77)，调节杆(76)上滑动式连接有衔接框(75)，衔接框(75)前壁右侧与刻度框(3)连接，衔接框(75)顶部均匀间隔开有四个第二限位孔(78)，左侧的第一限位孔(77)与左侧的第二限位孔(78)内侧之间放置有第一卡销(79)，取出第一卡销(79)，衔接框(75)向右移动带动刻度框(3)、测量接触块(4)和第一压缩弹簧(5)向右移动，调节测量接触块(4)对FOG盘片不同位置进行检测。5.按照权利要求4所述的一种FOG盘片检测用工作台，其特征是：还包括有用于人们知晓FOG盘片表面的凸起处的画线标记机构(9)，画线标记机构(9)包括有固定轴(91)、转动杆(92)、第三滑轨(95)、第一下压架(96)、第一画线笔(97)和第三压缩弹簧(98)，刻度框(3)前壁左侧连接有固定轴(91)，固定轴(91)上转动式连接有转动杆(92)，转动杆(92)右部开有第一滑槽(93)，转动杆(92)左部开有第二滑槽(94)，测量接触块(4)在第一滑槽(93)内滑动，衔接框(75)前壁中部连接有第三滑轨(95)，第三滑轨(95)上滑动式连接有第一下压架(96)，第一下压架(96)在第二滑槽(94)内滑动...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈烨，罗哲，罗恩韬，李衡峰，王松林，陈志斌，
申请(专利权)人：江华贵得科技有限公司，
类型：发明
国别省市：