防绕镀装置及镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种防绕镀装置及镀膜设备，防绕镀装置包括防着门与导轮，防着门与镀膜装置转动连接，且转动轴线与镀膜载具的传输方向垂直，导轮转动连接于防着门的下部，导轮受镀膜载具的推动沿镀膜载具的上平面转动，防着门能够绕与镀膜装置的转动连接处摆动，而打开传输口，或者脱离镀膜载具的推动，而回摆并封堵传输口；镀膜设备包括上述的防绕镀装置。本实用新型专利技术中，防着门受镀膜载具的推力而摆动，并在自重下回摆而封堵传输口，从而实现传输口在镀膜载具在进出镀膜腔过程中打开，并在输送完成后关闭的效果，实现对镀膜腔的隔离，能够有效防止绕镀，增大腔体内防着板的维护周期，提升镀膜设备的上线时间。提升镀膜设备的上线时间。提升镀膜设备的上线时间。

【技术实现步骤摘要】
防绕镀装置及镀膜设备


[0001]本技术涉及镀膜
，尤其涉及一种防绕镀装置及镀膜设备。

技术介绍

[0002]待镀件的镀膜过程通常在镀膜腔内进行，待镀件在输送及镀膜过程中，镀膜源持续工作，蒸镀的薄膜离子从镀膜腔绕镀至其他腔体，相关技术中，在各腔体内设置固定式的防着板，用于附着绕镀的材料粒子，当防着板上附着的薄膜过多时，薄膜吸附水汽，或者掉落并产生大量粉尘，造成镀膜品质下降，并且，由于防着板需完整覆盖腔体内表面，其面积较大，后期清理与维护较为困难，影响镀膜设备的上线时间。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种防绕镀装置，能够有效防止绕镀，并提升镀膜设备上线时间。
[0004]本技术还提出一种具有上述防绕镀装置的镀膜设备。
[0005]根据本技术的第一方面实施例的防绕镀装置，用于镀膜装置，所述镀膜装置的内部具有镀膜腔，所述镀膜装置的侧部设置有与所述镀膜腔连通的传输口，所述传输口用于传输镀膜载具，包括：
[0006]防着门，上部与所述镀膜装置转动连接，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.防绕镀装置，用于镀膜装置，所述镀膜装置的内部具有镀膜腔，所述镀膜装置的侧部设置有与所述镀膜腔连通的传输口，所述传输口用于传输镀膜载具，其特征在于，包括：防着门，上部与所述镀膜装置转动连接，且转动轴线与所述镀膜载具的传输方向垂直；导轮，至少设置有两个且转动连接于所述防着门的下部，所述导轮分设于所述防着门的两端；其中，所述导轮的外边缘相对于所述防着门的边缘突出，所述导轮受所述镀膜载具的推动沿所述镀膜载具的上平面转动，所述防着门能够绕与所述镀膜装置的转动连接处摆动，而打开所述传输口，或者脱离所述镀膜载具的推动，而回摆并封堵所述传输口。2.根据权利要求1所述的防绕镀装置，其特征在于，所述导轮位于所述防着门的正下方。3.根据权利要求1所述的防绕镀装置，其特征在于，还包括支撑架，所述支撑架的一端连接于所述防着门的底部，并朝向和/或背离所述镀膜载具的传输方向设置，所述导轮转动连接于所述支撑架的另一端。4.根据权利要求1至3中任一项所述的防绕镀装置，其特征在于，还包括转轴，所述转轴突出设置于所述防着门的两端，所述转轴与所述镀膜装置转动连接。5.根据权利要求1至3中任一项所述的防绕镀装置，其特征在于，所述防着门设置有多个气孔，与所述镀膜腔相邻的腔体通过所述气孔与所述镀膜腔连通。6.镀膜设备，其特征在于，包括：至少一...

【专利技术属性】
技术研发人员：余仲，卢贤正，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：